公开(公告)号：KR102229164B1

公开(公告)日：2021-03-17

申请号：KR1020190130064A

申请日：2019-10-18

申请人： 주식회사 에스에프에이

发明人： 강병두 ,  한경록 ,  박지훈 ,  이종찬 ,  강창호

IPC分类号： C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  H01L51/00 ,  H01L51/56

CPC分类号： C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  H01L51/001 ,  H01L51/56

摘要： 고온 증착 소스가 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 고온 증착 소스는, 증착물질을 구비하는 크루시블(crucible); 크루시블의 일측에 배치되어 증발된 증착물질을 배출하는 노즐; 적어도 일부가 크루시블의 내부에 배치되도록 크루시블의 일측에 결합되며, 노즐과 연통되는 적어도 하나의 오리피스(orifice)와, 증착물질이 1차로 통과하는 제1 증착물질 통과공이 마련되되 오리피스로부터 제1 증착물질 통과공까지의 이격거리를 조절할 수 있는 이너 플레이트(inner plate) 모듈을 구비하는 이너 플레이트 유닛을 포함한다.