公开(公告)号：KR102239323B1

公开(公告)日：2021-04-13

申请号：KR1020190076075A

申请日：2019-06-26

Applicant: 한국과학기술연구원 ,  한국산업기술대학교 산학협력단

Inventor： 전대영 ,  남득현 ,  이동수 ,  안승언

IPC: G01L1/14 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  G01L9/00

CPC classification number: G01L1/14 ,  G01L9/0072 ,  G01L9/0098 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서는 제1 기판, 제1 전극, 제2 전극, 카본 나노튜브 시트 및 제2 기판을 포함한다. 상기 제1 전극은 상기 제1 기판 상에 배치된다. 상기 제2 전극은 상기 제1 기판 상에 배치되고 상기 제1 전극과 제1 방향으로 이격된다. 상기 카본 나노튜브 시트는 상기 제1 기판 상에 배치되고, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 배치된다. 상기 제2 기판은 상기 제1 전극, 상기 제2 전극 및 상기 카본 나노튜브 시트 상에 배치된다. 상기 카본 나노튜브 시트는 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 연장되는 복수의 카본 나노튜브 스트링들을 포함한다.