公开(公告)号：JP4411688B2

公开(公告)日：2010-02-10

申请号：JP15463099

申请日：1999-06-02

Applicant: Jsr株式会社

Inventor： 欣司 山田 ,  政彦 海老沢 ,  聡子 袴塚 ,  通則 西川 ,  真由美 角田

IPC: C08G77/06 ,  H01L21/312 ,  C08G77/18 ,  C08G77/50 ,  C08L83/04 ,  C09D183/06 ,  C09D183/14 ,  H01B3/46

公开(公告)号：JP4320855B2

公开(公告)日：2009-08-26

申请号：JP22478099

申请日：1999-08-09

Applicant: Jsr株式会社

Inventor： 欣司 山田 ,  政彦 海老沢 ,  聡子 袴塚 ,  通則 西川 ,  真由美 角田

IPC: B05D5/12 ,  C08L83/14 ,  C08G77/50 ,  C08L83/04 ,  H01L21/312 ,  H01L21/768 ,  H01L23/522

公开(公告)号：JP4304774B2

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：JP19730199

申请日：1999-07-12

Applicant: Jsr株式会社

Inventor： 欣司 山田 ,  政彦 海老沢 ,  智隆 篠田 ,  聡子 袴塚 ,  通則 西川 ,  真由美 角田

IPC: C09D183/04 ,  H01L21/312 ,  H01L21/316