公开(公告)号：JP4742884B2

公开(公告)日：2011-08-10

申请号：JP2006018010

申请日：2006-01-26

Applicant: Jsr株式会社

Inventor： 光一郎 吉田 ,  裕臣 水野 ,  智樹 永井 ,  大輔 清水

IPC: G03F7/039 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JP4650175B2

公开(公告)日：2011-03-16

申请号：JP2005259839

申请日：2005-09-07

Applicant: Jsr株式会社

Inventor： 光一郎 吉田 ,  裕臣 水野 ,  智樹 永井 ,  大輔 清水

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027