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    分断装置およびカートリッジの取付構造
    2.
    发明专利
    分断装置およびカートリッジの取付構造 审中-公开

    公开(公告)号：JP2021186971A

    公开(公告)日：2021-12-13

    申请号：JP2020090671

    申请日：2020-05-25

    Applicant: 三星ダイヤモンド工業株式会社

    Inventor： 奥田 修

    IPC: B28D5/00

    Abstract: 【課題】ブレード用カートリッジを強固かつ確実に固定でき、且つ、ブレード用カートリッジの着脱を容易に行うことが可能な分断装置、および、カートリッジを装置に取り付けるための取付構造を提供する。 【解決手段】分断装置は、基板の表面に平行な取付面201と、取付面201に対向する対向面122aを備え、対向面122aが取付面201に対して接近および離間するように回動支持されたレバー部材120と、対向面201から突出部131が突出するようにレバー部材120に配置され、突出部131からの弾性付勢によりカートリッジ20の基準面60aを取付面201に押しつける突出部131を有するプランジャと、カートリッジ20に対する突出部131からの付勢を高める方向にレバー部材120を回動させて所定の位置に固定する固定機構を備える。 【選択図】図13

    ブレード用カートリッジおよび基板分断装置
    3.
    发明专利
    ブレード用カートリッジおよび基板分断装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2021186969A

    公开(公告)日：2021-12-13

    申请号：JP2020090663

    申请日：2020-05-25

    Applicant: 三星ダイヤモンド工業株式会社

    Inventor： 奥田 修

    IPC: C03B33/033 ,  B28D5/00

    Abstract: 【課題】刃先が基板に対して平行である状態をより確実に維持できるブレード用カートリッジおよびブレード用カートリッジが取り付けられる基板分断装置を提供することを目的とする。 【解決手段】基板分断装置の基板Fを分断するブレード10を保持するブレード用カートリッジ20は、ブレード10の一方の側面に平行な挟持面30aを有するベース30、90と、ブレード10の他方の側面に平行な挟持面40aを有する保持プレート40と、ブレード10を2つの挟持面30a、40aで挟んだ状態で保持プレート40をベース30、90に固定する固定ネジ50と、ベース30、90に配置され、ブレード10の刃先11と反対側の端部13を押さえる押さえネジ70と、を備える。 【選択図】図4

    スクライブヘッド及びスクライブ装置
    7.
    发明专利
    スクライブヘッド及びスクライブ装置 有权

    公开(公告)号：JPWO2020066411A1

    公开(公告)日：2021-09-16

    申请号：JP2019033258

    申请日：2019-08-26

    Applicant: 三星ダイヤモンド工業株式会社

    Inventor： 中垣 智貴

    IPC: B26F3/00 ,  C03B33/027 ,  H01L21/301 ,  B28D5/00

    Abstract: スクライブ加工時にロッドに軸交差方向の力が加わらないようにする。 本発明のスクライブヘッド(1)は、スクライビングツール(4)を保持するホルダ保持材(6)と、ホルダ保持材(6)を被加工物に対して近接離反させるエアシリンダー(3)と、ホルダ保持材(6)及びエアシリンダー(3)を支持する支持体(7)と、を備え、エアシリンダー(3)は、シリンダ本体(3b)と、シリンダ本体(3b)から出退自在とされた軸体を有し、軸体はシリンダ本体(3b)に対してエアシールされる構成を有しており、軸体がシリンダ本体(3b)から進出することで、ホルダ保持材(6)が被加工物に対して近づき、軸体がシリンダ本体(3b)へ退行することで、ホルダ保持材(6)が被加工物から離反するようになっており、軸体の先端とホルダ保持材(6)が非連結とされており、軸体の長手方向に沿った力のみ、ホルダ保持材(6)へ伝達可能に構成されている。

    メタル膜付き基板の分断方法
    8.
    发明专利
    メタル膜付き基板の分断方法 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2020066408A1

    公开(公告)日：2021-09-09

    申请号：JP2019033240

    申请日：2019-08-26

    Applicant: 三星ダイヤモンド工業株式会社

    Inventor： 村上 健二 ,  武田 真和 ,  田村 健太

    IPC: B28D5/00 ,  B28D1/24 ,  B26F3/00 ,  H01L21/301

    Abstract: メタル膜付き基板を好適に分断できる方法を提供する。メタル膜付き基板を分断する方法が、薄膜層が設けられた基材の第1の主面側を所定の分断予定位置においてダイシングすることにより、基材を露出させるダイシング工程と、露出した基材をスクライブすることによりスクライブラインを形成し、スクライブラインから分断予定位置に沿って基材の内部に対し垂直クラックを伸展させるスクライブ工程と、メタル膜が設けられた第2の主面側から基板に対しブレークバーを当接させることによって垂直クラックをさらに伸展させることで、基板のメタル膜以外の部分を分断予定位置において分断する第1ブレーク工程と、第1の主面側から基板に対しブレークバーを当接させることによってメタル膜を分断予定位置において分断する第2ブレーク工程と、を備えるようにした。

    移動するガラスリボンを係合するための装置及び方法
    9.
    发明专利
    移動するガラスリボンを係合するための装置及び方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2021521084A

    公开(公告)日：2021-08-26

    申请号：JP2020555503

    申请日：2019-04-10

    Applicant: コーニング インコーポレイテッド

    Inventor： アーレンス,ジェフリー ハワード ,  チェン,ナンフゥ ,  ジャン,ルイ

    IPC: C03B17/06 ,  B28D5/00 ,  B28D7/04 ,  B26F3/00 ,  B25J13/08 ,  C03B33/03

    Abstract: ガラスシートを成形する方法は、ガラスリボンを成形することを含む。ロボットアームは、予めプログラムされたサイクルによってエンドエフェクタを移動させるように動作する。該サイクルは、ガラスリボンのセグメントをエンドエフェクタに係合すること、係合されたセグメントをガラスリボンから分離してガラスシートを生成すること、及びガラスシートをガラスリボンから離れるように移動させることを含む。予めプログラムされたサイクルは、所定の時点でのエンドエフェクタの所定の位置を指定する。ロボットアームが予めプログラムされたサイクルで動作している間、エンドエフェクタによってガラスリボンに働いている力を示すパラメータが検知される。検知されたパラメータが目標値から逸脱すると、エンドエフェクタの位置は、対応する時点における所定の位置とは異なるように変更される。ガラスリボンに加えられる過度の力をリアルタイムで軽減することができる。

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