基板検査装置
    1.
    实用新型

    公开(公告)号:JP3235083U

    公开(公告)日:2021-11-25

    申请号:JP2021003559

    申请日:2021-09-14

    IPC分类号: G01B11/25

    摘要: 【課題】簡易なキャリブレーションによって三次元形状計測を実行可能な技術を提供する。 【解決手段】少なくとも物体側がテレセントリック光学系である光学系によって、位相が異なる複数の縞模様のパターンである測定パターンを投影部60に投影させ、撮影部70で撮影された前記測定パターンの画像に基づいて、撮像素子の座標毎の位相を測定位相として取得し、予め特定された位相とZ方向の位置との関係に基づいて、測定位相に対応したZ方向の位置を特定し、検査対象のZ方向の位置として取得し、撮像素子の座標と、X方向およびY方向の位置と、が予め一対一に対応づけられており、当該対応に基づいて、前記撮像素子の各座標に撮影された前記検査対象の前記X方向および前記Y方向の位置を取得する基板検査装置が構成される。 【選択図】図2

    形状計測システム、及び形状計測方法

    公开(公告)号:JPWO2020170932A1

    公开(公告)日:2021-11-04

    申请号:JP2020005548

    申请日:2020-02-13

    IPC分类号: G01B11/25 G01B11/24

    摘要: 対象物の形状を高精度で計測する。 形状計測システムは、光を対象物に照射し、前記対象物からの反射光を受光する距離計測ヘッドと、前記反射光に基づいて距離検出波形を生成する距離計測装置と、前記距離検出波形を解析して前記対象物までの計測距離値を算出する制御装置と、を備え、前記制御装置は、前記距離検出波形の特徴量を算出し、補正式に前記特徴量を入力して前記計測距離値の誤差を補正する処理、及び信頼度重み付け式に前記特徴量を入力して前記計測距離値の誤差の信頼度重み付けを行う処理の少なくとも一方を行うことを特徴とする。

    溶接システム及びそれを用いたワークの溶接方法

    公开(公告)号:JPWO2020129618A1

    公开(公告)日:2021-11-04

    申请号:JP2019047219

    申请日:2019-12-03

    IPC分类号: G01B11/25 B23K9/12 B23K31/00

    摘要: 溶接システム100は、溶接装置10と外観検査装置20とを備えている。外観検査装置20は、溶接箇所201の形状を計測する形状計測部21と、形状データに基づいて画像データを生成する画像処理部23と、画像データと判定モデルとに基づいて溶接箇所201の形状の良否を判定する判定部27と、判定部27での判定結果が不良の場合、形状不良情報を抽出するフィードバック部29と、を有している。溶接装置10の出力制御部15は、フィードバック部29で抽出された形状不良情報に基づいて、ワーク200の溶接条件を修正する。

    変位計測装置
    5.
    发明专利
    変位計測装置 审中-公开

    公开(公告)号:JP2021170042A

    公开(公告)日:2021-10-28

    申请号:JP2021128932

    申请日:2021-08-05

    IPC分类号: G01B11/25

    摘要: 【課題】小さい処理負荷または記憶容量でマーカ(ひいては物体)の奥行き方向の変位を計測可能な変位計測装置および変位計測方法を提供する。 【解決手段】内部マーカ作成部は、基準方向に対して基準の傾きβだけ傾いた方向に形成され、かつ予め周期pが定められる基準の周期模様を含んだ内部マーカ画像35を作成する。モアレ画像作成部は、第1の時点および第2の時点で撮像部によって撮像された各計測用マーカ画像36に対して、同一の内部マーカ画像35を重ね合わせることで2個のモアレ画像37をそれぞれ作成する。モアレ縞傾き算出部は、基準方向に対して各モアレ画像37に含まれるモアレ縞が成す傾きθをそれぞれ算出する。変位計測装置は、この傾きθを用いて所定の演算処理を行うことで、第1の時点と第2の時点との間で撮像部の光軸方向に生じたマーカの変位量を算出する。 【選択図】図5

    少なくとも1つの保管ユニットの充填レベルを決定する方法及び装置

    公开(公告)号:JP2021523370A

    公开(公告)日:2021-09-02

    申请号:JP2020563553

    申请日:2019-05-08

    IPC分类号: G01B11/25

    摘要: 少なくとも1つの保管ユニット(112)における充填レベルを決定する方法が提案されている。該方法は、以下のステップ、 a) 複数の照射特徴(118)を含む少なくとも1つの照射パターン(116)で保管ユニット(112)を照射し、保管ユニット(112)の少なくとも1つの反射画像を決定する、ステップ; b) 反射画像の少なくとも1つの第1反射特徴及び少なくとも1つの第2反射特徴を選択する、ステップ; c) 第1反射特徴については、第1反射特徴による、光センサ(124)のマトリックスを有する少なくとも1つのセンサ要素(120)の照射に応答して少なくとも2つの第1センサ信号を生成し、第2反射特徴については、第2反射特徴による、センサ要素(120)の照射に応答して少なくとも2つの第2センサ信号を生成し、光センサ(124)はそれぞれ感光エリアを有する、ステップ; d) ステップc)で生成された2つの第1センサ信号を評価し、それにより、第1反射特徴の少なくとも1つの第1縦方向座標z1を決定し、及び、ステップc)で生成された2つの第2センサ信号を評価し、それにより、第2反射特徴の少なくとも1つの第2縦方向座標z2を決定する、ステップ; e) 反射画像における第1反射特徴の少なくとも1つの位置(x1、y1)及び第2反射特徴の少なくとも1つの位置(x2、y2)を決定し、第1反射特徴の少なくとも1つの第1ベクトル(x1、y1、z1)及び第2反射特徴の少なくとも1つの第2ベクトル(x2、y2、z2)を決定する、ステップ; f) 第1ベクトルと第2ベクトルから少なくとも1つの高さマップを決定し、そこから保管ユニットの充填レベルを決定する、ステップ、 を含む。 【選択図】図1

    三次元形状計測装置、三次元形状計測方法及びプログラム

    公开(公告)号:JP2021117158A

    公开(公告)日:2021-08-10

    申请号:JP2020011900

    申请日:2020-01-28

    IPC分类号: G01B11/26 G06T7/521 G01B11/25

    摘要: 【課題】カラーハイライト方式による三次元形状計測において、計測対象に含まれる傾斜の方向を精度良く判別する技術を提供する。 【解決手段】照明手段と、撮影手段と、計測手段を有する三次元形状計測装置において、前記撮影手段は、前記撮影手段の撮影方向又は前記照明光の照射方向の、前記計測対象に対する鉛直軸回りの角度が異なる複数の画像であって、前記計測対象の所定の部位における前記照明光の反射光の強度又は波長のいずれかを含む反射の態様が異なる、前記複数の画像を取得し、前記計測手段は、前記撮影手段が取得した前記複数の画像に基づいて、前記所定の部位の三次元形状を計測する。 【選択図】図1