公开(公告)号：JP5155031B2

公开(公告)日：2013-02-27

申请号：JP2008161133

申请日：2008-06-20

申请人： エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ.

发明人： ヴォーゲル，ハーマン

IPC分类号： G01B13/12

CPC分类号： G01B13/12

公开(公告)号：JP2011523069A

公开(公告)日：2011-08-04

申请号：JP2011512953

申请日：2009-06-08

申请人： マーポス、ソチエタ、ペル、アツィオーニMarposs S.P.A.

发明人： ハンス、エッガー ,  ベルナー、チャンネン

IPC分类号： G01B13/12

CPC分类号： G01B13/12 ,  G01B13/14

摘要： 物体（１）のベース領域（５）からテーパ領域（１．１）の所定の直径（Ａ）を有する断面までの距離を測定するための方法であって、テーパ領域が仰角または俯角を形成するとともに円形断面形状を有する方法において、直径（Ａ）を有する測定体（３）がベース領域（５）上に配置される。 この配置は、物体（１）の直径（Ａ）を有する断面領域と測定体（３）との間に隙間（６，Ｘ）の形態を成す距離が形成されるように行なわれる。 隙間（６，Ｘ）を通じて流体媒質が押し進められ、流体媒質の圧力及び／又は流量が測定される。 距離値は、測定された圧力及び／又は流量に基づいて評価ユニット（９）で決定される。

公开(公告)号：JP2010114445A

公开(公告)日：2010-05-20

申请号：JP2009251601

申请日：2009-11-02

申请人： Asml Netherlands Bv ,  エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

发明人： LABETSKI DZMITRY ,  VAN DE VIJVER YURI JOHANNES GABRIEL

IPC分类号： H01L21/027 ,  G01B13/12 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03B27/52 ,  G01B13/12 ,  G03F9/7057

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gas gage improving sensibility measuring partial differences of profiles for wafers for usage in a lithographic device. SOLUTION: The gas gauge includes a gas delivery pipe arranged so as to divide a distance up to an object. The gas delivery pipe includes a gas conduit, and supplies a proper measuring gas through the gas conduit. The measuring gas is discharged from the gas delivery pipe through an outlet under a pressure to collide with the object in an interaction region and the pressure of a rebounded gas is measured by a pressure detector. The gas having a small atomic number is used. A pressure sensor includes a thin film arranged in the gas delivery pipe at least partially surrounding the gas conduit in a gas outlet or a vicinity of the gas outlet. The pressure sensor includes a thin-film disk arranged around the gas conduit. The pressure sensor is disposed substantially on a common surface, and isolated from the gas conduit but includes a plurality of proper pressure elements for surrounding the gas conduit. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

摘要翻译： 要解决的问题：提供气量计，其提高测量用于光刻设备的晶片的轮廓的偏差的灵敏度。 解决方案：气量计包括气体输送管，该气体输送管被布置为将一段距离分隔成物体。 气体输送管包括气体导管，并通过气体管道供应适当的测量气体。 测量气体从气体输送管通过出口压力与相互作用区域中的物体碰撞，并且通过压力检测器测量回弹气体的压力。 使用原子序数小的气体。 压力传感器包括布置在气体输送管中的薄膜，至少部分地围绕气体出口或气体出口附近的气体导管。 压力传感器包括布置在气体导管周围的薄膜盘。 压力传感器基本上设置在公共表面上，并且与气体导管隔离，但包括用于包围气体导管的多个适当的压力元件。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2010054413A

公开(公告)日：2010-03-11

申请号：JP2008221075

申请日：2008-08-29

申请人： Taco Co Ltd ,  Taco株式会社

发明人： ITO HARUO ,  MAKINO HIROSHI

IPC分类号： G01B13/12 ,  B23Q17/00

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem that it takes a time to discriminate a distance, because many times necessary for completion of a back pressure rise are needed if the distance to an object to be detected becomes not more than 10 μm. SOLUTION: In a deposition distance determination device, a regulator 1 to be set a detection pressure is mounted inside or outside, and a two port solenoid valve 2 to cut a supply air is mounted. Further, in secondary side of the two port solenoid valve 2, a pressure transducer 3 (a pressure sensor, a pressure switch, a pressure transducer or the like) is mounted. A control circuit which controls the two port solenoid valve 2 and the pressure transducer 3 is installed. A piping into a detecting orifice which is prepared a detection surface of the object to be detected is mounted. And from the orifice 5 to the object to be detected, air is made to flow. For the two port solenoid valve 2, either normal open type or normal close type can be used, in this case, what is necessary is to control so as to intercept air, whenever performing detection on the control circuit. For an error due to temperature of the pressure transducer 3, correction can be made by using air temperature sensor inside the piping, and temperature sensor at outside of the piping. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

摘要翻译： 要解决的问题为了解决需要时间来区分距离的问题，因为如果到被检测物的距离不大于10μm，则需要多次完成背压升高 。 解决方案：在沉积距离确定装置中，将设置检测压力的调节器1安装在内部或外部，并且安装用于切断供给空气的双端口电磁阀2。 此外，在二端口电磁阀2的二次侧安装有压力传感器3（压力传感器，压力开关，压力传感器等）。 安装控制两端口电磁阀2和压力传感器3的控制电路。 安装到准备检测对象物的检测面的检测孔中的配管。 并且从孔口5到要检测的物体，使空气流动。 对于双端口电磁阀2，可以使用正常开启型或正常关闭型，在这种情况下，每当在控制电路上进行检测时，需要进行控制以截取空气。 对于由于压力传感器3的温度引起的误差，可以通过使用管道内的空气温度传感器和管道外部的温度传感器进行校正。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2008008685A

公开(公告)日：2008-01-17

申请号：JP2006177283

申请日：2006-06-27

申请人： Nippon Pneumatics Fluidics System Co Ltd ,  日本空圧システム株式会社

发明人： ARAI SATOSHI ,  HARA KEISUKE ,  MAYAMA JUNICHIRO ,  KONDO TADANOBU

IPC分类号： G01B13/12

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a position checking apparatus having a short cycle time and a high pressure resistance, which prevents any nozzle from clogging or any rust from arising when stopping supplying a detection pressure and a blow-use air. SOLUTION: The position checking apparatus comprises: a detection pressure channel 23 being in communication with both an upstream port 24 which is connected to a pressure source 25, and a downstream port 22 which is connected to a detection hole 21 disposed at a table 20; a detection orifice 26 disposed in the detection pressure channel 23; and a differential pressure detecting means 27 for detecting a difference pressure between anteroposterior regions of the detection orifice 26. The differential pressure means 27 detects the difference pressure between the anteroposterior regions of the detection orifice 26 which varies according to a clearance between the detection hole 21 disposed at the table 20 and an detection work W mounted on the table 20. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

摘要翻译： 要解决的问题：提供一种具有短循环时间和高耐压性的位置检查装置，其防止在停止提供检测压力和吹风用空气时任何喷嘴堵塞或产生任何锈蚀。 解决方案：位置检查装置包括：检测压力通道23与连接到压力源25的上游端口24和连接到设置在压力源25上的检测孔21的下游端口22连通。 表20; 设置在检测压力通道23中的检测孔26; 以及用于检测检测孔26的前后区域之间的差压的差压检测装置27.差压装置27检测检测孔26的前后区域之间的差压，其根据检测孔21之间的间隙而变化 放置在工作台20上，并安装在工作台20上的检测工件W.版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP3975195B2

公开(公告)日：2007-09-12

申请号：JP2003421214

申请日：2003-12-18

申请人： エーエスエムエル ホールデイング エヌ.ブイ.

发明人： エム サンダー ウィリー ,  ジェイ ヴァイオレット ケヴィン ,  エム ボガースキー ケネス ,  エヌ ガルバート ダニエル ,  エフ ガジェツコ ボグスラフ

IPC分类号： G01B13/12 ,  G01F1/00 ,  G03F7/20 ,  G05D7/01 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/709 ,  G01B13/12 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/7085 ,  G05D7/0186

公开(公告)号：JP2007218901A

公开(公告)日：2007-08-30

申请号：JP2006345668

申请日：2006-12-22

申请人： Asml Holding Nv ,  エーエスエムエル ホールデイング エヌ.ブイ.

发明人： LYONS JOSEPH H ,  KOCHERSPERGER PETER C ,  WALSH JAMES ,  MALI RAJAN

IPC分类号： G01L19/00 ,  G01B13/12

CPC分类号： G01B13/12

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gas gauge proximity sensor having a choked flow orifice for sensing a difference between a reference surface standoff and a measurement surface standoff.
SOLUTION: Unlike an existing proximity sensor, the gas gauge proximity sensor of the present invention replaces the use of a mass flow controller with the choked flow orifice. The use of the choked flow orifice provides a reduction in device cost and an improved system reliability. A gas supply forces gas into the proximity sensor. The gas flow is forced through the choked flow orifice so as to achieve a sonic condition at which a mass flow rate becomes largely independent of pressure variations. The flow of gas proceeds from the choked flow orifice into a sensor flow channel system. A mass flow sensor within the sensor flow channel system monitors the flow rate to detect the measurement standoffs that can be used to initiate a control action.
COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

摘要翻译： 要解决的问题：提供一种具有扼流流孔的气量计接近传感器，用于感测参考表面支座与测量表面支座之间的差异。 解决方案：与现有的接近传感器不同，本发明的气量计接近传感器取代了具有扼流流量孔口的质量流量控制器的使用。 使用扼流流量孔节省设备成本并提高系统的可靠性。 气体供应迫使气体进入接近传感器。 气流被迫通过扼流流量孔，以达到质量流量在很大程度上独立于压力变化的声音条件。 气流从阻塞流动孔进入传感器流道系统。 传感器流道系统内的质量流量传感器监测流量以检测可用于启动控制动作的测量间隔。 版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2006189429A

公开(公告)日：2006-07-20

申请号：JP2005362149

申请日：2005-12-15

申请人： Asml Holding Nv ,  エーエスエムエル ホールディング ナームローゼ フェンノートシャップASML Holding N.V.

发明人： GALBURT DANIEL N ,  GAJDECZKO BOGUSLAW F

IPC分类号： G01B13/12 ,  G01B21/00 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/70775 ,  G01B13/02 ,  G03F9/7023 ,  G03F9/7057 ,  G03F9/7088

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and system that can make an air gauge operate always at an advantageous standoff and can perform measurement so as to maximize the performance and useful measuring range.
SOLUTION: The system includes the air gauge configured to detect the distance to a surface of the object and a sensor configured to measure at least one from the group including a relative position of the air gauge and a relative position of the surface of the object. Outputs of the air gauge and the sensor are combined to produce a combined air gauge reading.
COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

摘要翻译： 要解决的问题：提供一种方法和系统，可以使空气压缩机始终处于有利的隔离状态，并可进行测量，以最大化性能和有用的测量范围。 解决方案：系统包括空气计，其被配置为检测到物体表面的距离;以及传感器，该传感器构造成测量至少一个包括空气计的相对位置和组中相对位置 物体。 气压表和传感器的输出结合起来，产生一个组合的空气量规读数。 版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

公开(公告)号：JP2006102565A

公开(公告)日：2006-04-20

申请号：JP2004288893

申请日：2004-09-30

申请人： Dainippon Printing Co Ltd ,  大日本印刷株式会社

发明人： SUZUKI NAOHIKO

IPC分类号： B05D3/00 ,  B05C5/02 ,  B05C11/00 ,  B05D1/26 ,  G01B13/12

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To measure a gap of a die head and a coating surface without injuring the die head or the coating surface.
SOLUTION: Measurement blocks 110 are provided on both ends of the die head 100 and air is delivered from an air hole 111 of the measurement block 110. A pressure resistance value of air generated when the air is delivered is measured by a differential pressure gage 120 and a gap dimension is operated from the pressure resistance value. A signal measured by the differential pressure gage is transmitted to a control device 170 and the control device 170 operates a die head movement mechanism 180 such that difference of a previously set pre-set value and the measurement value is eliminated.
COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

摘要翻译： 要解决的问题：为了测量模头和涂层表面的间隙而不损伤模头或涂层表面。 解决方案：测量块110设置在模头100的两端，空气从测量块110的空气孔111输送。当输送空气时产生的空气的耐压值通过差动 压力计120，并且从耐压值操作间隙尺寸。 通过差压计测量的信号被传送到控制装置170，并且控制装置170操作模头移动机构180，使得消除了预先设定的预设值和测量值的差异。 版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

公开(公告)号：JP2006064692A

公开(公告)日：2006-03-09

申请号：JP2005210532

申请日：2005-07-20

申请人： Asml Holding Nv ,  エーエスエムエル ホールディング ナームローゼ フェンノートシャップASML Holding N.V.

发明人： GALBURT DANIEL N ,  EBERT EARL W ,  LYONS JOSEPH H

IPC分类号： G01B13/12 ,  G01F1/00 ,  H01L21/027

CPC分类号： G01B13/04

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fluid gauge proximity sensor which is substantially not influenced by external noise, capable to operate in any environment, regardless of the sort or the exposure wavelength of a resist on a surface of a workpiece.
SOLUTION: This fluid flow proximity gauge comprises a source of a modulated unidirectional fluid flow or alternating fluid flow; at least one path, having a nozzle and a flow sensor or pressure sensor mounted thereon; the fluid exists at a gap between the nozzle and a target; the flow sensor or the pressure sensor outputs an amplitude modulated signal that varies in accordance with the size of the gap.
COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

摘要翻译： 要解决的问题：提供基本不受外部噪声影响的流量计接近传感器，能够在任何环境中操作，而不管工件表面上的抗蚀剂的种类或曝光波长如何。 解决方案：该流体流量接近表包括调制的单向流体流或交替流体流的源; 至少一个路径，具有安装在其上的喷嘴和流量传感器或压力传感器; 流体存在于喷嘴和靶之间的间隙处; 流量传感器或压力传感器输出根据间隙大小而变化的幅度调制信号。 版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI