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公开(公告)号：JP2022501833A
公开(公告)日：2022-01-06
申请号：JP2021518481
申请日：2019-09-27
Applicant: ラム リサーチ コーポレーション , LAM RESEARCH CORPORATION
Inventor： シュー・リン , スティーブンソン・トーマス・アール. , フォード・グレイソン , スリニバサン・サティシュ
IPC: H01L21/205 , C22C29/06 , C23C16/42 , H01L21/3065
Abstract: 【課題】 【解決手段】ウエハを処理するためのプラズマ処理チャンバの部品として用いるための構成要素が提供される。構成要素は、タングステン、タンタル、およびホウ素のうちの少なくとも1つでドープした炭化ケイ素の部品本体を備える。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2022501832A
公开(公告)日：2022-01-06
申请号：JP2021518441
申请日：2019-10-03
Applicant: ラム リサーチ コーポレーション , LAM RESEARCH CORPORATION
Inventor： ユー・ジンイ , タン・サマンサ・シャンファ , ヘオ・セオンジュン , ユアン・ゲー , カナカサバパシー・シバ・クリシュナン
IPC: H01L21/31 , C23C16/44 , H01L21/3065
Abstract: 基板処理チャンバの表面を洗浄する方法は、a)四塩化ケイ素(SiCU 4 )、四塩化炭素(CCl 4 )、炭化水素(C x H y 、式中xおよびyは整数)および分子状塩素(Cl 2 )、三塩化ホウ素(BCl 3 )、および塩化チオニル(SOCl 2 )からなる群から選択される第1のガスを供給すること;b)基板処理チャンバ内でプラズマを打って基板処理チャンバの表面をエッチングすること;c)プラズマを消失させて基板処理チャンバを空にすること;d)フッ素種を含む第2のガスを供給すること;e)基板処理チャンバ内でプラズマを打って基板処理チャンバの表面をエッチングすること;ならびにf)プラズマを消失させて基板処理チャンバを空にすることを含む。 【選択図】図4
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公开(公告)号：JP2022501829A
公开(公告)日：2022-01-06
申请号：JP2021517274
申请日：2019-09-26
Applicant: ラム リサーチ コーポレーション , LAM RESEARCH CORPORATION
Inventor： ドリュアリィ・ジョン・スティーブン , カンプ・トム・エー. , ヤン・ハオクアン , ドーアティ・ジョン・エドワード , タン・アリ・スシプト , ツェン・ミン−クエイ , フリーマン・ブルース
IPC: H01L21/31 , C23C16/44 , H01L21/3065
Abstract: 【解決手段】プラズマエッチングチャンバなどの処理チャンバは、堆積動作およびエッチング動作を実行可能であり、堆積動作およびエッチング動作の副生成物は、処理チャンバに流体結合されている真空ポンプシステム内に蓄積する可能性がある。真空ポンプシステムは、複数の粗引きポンプを有することができ、それによりエッチングガスを粗引きポンプに迂回させることができ、堆積前駆体を別の粗引きポンプに迂回させることができる。迂回ラインが、未使用の堆積前駆体を別個の粗引きポンプへ送ることができる。堆積副生成物の形成は、1つまたは複数のガスエジェクタまたはベンチュリポンプを真空ポンプシステム内のプライマリポンプの出口に組み込むことによって防止することができる。特定の清浄な化学物質を使用したウエハレス自動洗浄動作などの洗浄動作は、エッチング動作の前または後に堆積副生成物を除去することができる。 【選択図】 図2A
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公开(公告)号：JP2022501809A
公开(公告)日：2022-01-06
申请号：JP2021513458
申请日：2020-04-29
Applicant: エルジー・ケム・リミテッド
IPC: C07D405/14 , C07D409/14 , C07D209/86 , C09K11/06 , H01L51/50
Abstract: 本発明は、有機発光素子を提供する。
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公开(公告)号：JP2022501795A
公开(公告)日：2022-01-06
申请号：JP2021518480
申请日：2019-10-01
Applicant: オックスフォード インストルメンツ ナノテクノロジー ツールス リミテッド
Inventor： プラウドフット ゲーリー , ウォーターズ ガレス , ピーター アニカ , クーク マイク , オマホニー アイリーン
IPC: H01L21/3065 , H01L21/31 , H01L21/316 , C23C16/503 , C23C16/455 , H05H1/46
Abstract: プラズマ処理ツールのためのプラズマ発生電極アレイ(200)を説明する。プラズマ処理ツールは、処理チャンバと、材料がその上に堆積される及び/又はエッチングされることになる基板(104)を使用時に支持するために処理チャンバにある基板台(111)とを含む。電極アレイは、複数の接地電極(201,211,221,231,241,251,261)と少なくとも1つの活性電極(212,222,232,242,252,262)とを含み、複数の接地電極は、少なくとも1つの活性電極と電気接触しておらず、かつ接地電極と活性電極が使用時に基板台に対して実質的に平行である第1の平面内で第1の方向(x)に沿って互いに交互するように配置される。接地電極と活性電極は、第1の方向に沿って互いに離間し、接地及び活性電極の各々は、そのベースからその遠位端まで第1の平面に対して実質的に垂直である第2の方向(z)に延びる。接地電極及び少なくとも1つの活性電極は、接地電極の遠位端が少なくとも1つの活性電極の遠位端よりも第2の方向に沿ってより遠くに位置決めされ、そのために使用中に接地電極の遠位端が少なくとも1つの活性電極の遠位端よりも第2の方向に基板台により近いように配置される。 【選択図】図2
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2022501788A
公开(公告)日：2022-01-06
申请号：JP2021517665
申请日：2019-09-27
Applicant: ポスコ , POSCO , リサーチ インスティチュート オブ インダストリアル サイエンス アンド テクノロジー
Inventor： チェ、 クォン ヤン , イ、 サン ヒョク , ソン、 チュン フン , ナム、 サン チョル , パク、 ジョン イル
Abstract: リチウム二次電池用正極活物質、その製造方法およびそれを含むリチウム二次電池に関し、正極活物質は少なくとも一つの1次粒子が組み立てられた2次粒子を含み、下記化学式1で表されるリチウムニッケルコバルトマンガン系酸化物、および2次粒子の内部に位置する平均粒径(D50)がナノメートルの大きさである金属酸化物粒子を含む。 [化学式1] Li a [Ni x Co y Mn z ] t M 1−t O 2−p X p (上記化学式1において、各置換基の定義は詳細な説明と同様である)
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公开(公告)号：JP2022501787A
公开(公告)日：2022-01-06
申请号：JP2021517664
申请日：2018-12-13
Applicant: ポスコ , POSCO , リサーチ インスティチュート オブ インダストリアル サイエンス アンド テクノロジー
Inventor： ユ、 スン ジェ , キム、 ヨン ジュン , ウ、 ジュン ギュ , カン、 ユン テ
Abstract: 本発明の一実施形態は、炭素系物質に複数個のナノシリコン粒子が埋め立てられ、多数の気孔を含む多孔性シリコン−炭素系複合体であり、前記炭素系物質は、黒鉛粒子、易黒鉛化炭素(soft carbon)、難黒鉛化炭素(hard carbon)またはこれらの組み合わせを含み、前記炭素系物質で易黒鉛化炭素(soft carbon)は、炭素層の形状であるリチウム二次電池用負極活物質を提供する。
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公开(公告)号：JP2022501775A
公开(公告)日：2022-01-06
申请号：JP2021515652
申请日：2019-09-18
Applicant: ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング , ROBERT BOSCH GMBH
Inventor： フリードリヒ クノイレ , アンドレアス ヘフェリン
IPC: H01M8/12 , H01M8/1213 , C25B9/63 , C25B9/23 , H01M8/1226
Abstract: 本発明は、燃料電池ユニット及び/又は電解槽ユニット、特に固体酸化物燃料電池ユニットの電極ユニット(12)を支持するための電極支持装置であって、電極ユニット(12)用の少なくとも1つの電極接触面(16)を備えた電極支持装置に関する。電極支持装置が、電極ユニット(12)を電極接触面(16)に固定するための、電極接触面(16)に配置された少なくとも1つの形状接続ユニット(18)を含むことが提案される。
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公开(公告)号：JP2022501590A
公开(公告)日：2022-01-06
申请号：JP2021515076
申请日：2019-09-09
Applicant: 住友化学株式会社
Inventor： ベーレント,ジョナサン , オサリバン,メラニー
IPC: G01N33/532 , C12N15/11 , C07K16/00 , C07K14/575 , G01N33/552
Abstract: 発光材料を含有する発光粒子コアと、発光粒子コアに結合した第1および第2の表面基とを有する発光マーカー粒子。第1の表面基は、極性基を含有し、生体分子に結合しない不活性基である。第2の表面基は生体分子結合基を含有する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2022501588A
公开(公告)日：2022-01-06
申请号：JP2021514521
申请日：2019-05-09
Applicant: アイセンス,インコーポレーテッド
IPC: G01N27/327 , C08F126/06 , C08F8/32 , C08L39/08 , G01N27/416
Abstract: 本発明は、特有の構造を有することによって既存に比べて簡易な工程で製造が可能であり、遷移金属複合体の固定化率が増加し、官能基またはリンカーの導入が容易である、遷移金属複合体を含む酸化−還元重合体、その製造方法、および前記酸化−還元重合体を含む電気化学的バイオセンサに関する。 【選択図】図2
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