公开(公告)号：KR102072127B1

公开(公告)日：2020-01-31

申请号：KR1020197003678

申请日：2012-06-18

申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

发明人： 쿠리타,신이치 ,  김,범수

IPC分类号： H01L51/56

公开(公告)号：KR102071442B1

公开(公告)日：2020-01-30

申请号：KR1020157013851

申请日：2013-10-25

申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

发明人： 푸,신유 ,  간디코타,스리니바스 ,  젤라토스,아비에리노스브이. ,  누리,아티프 ,  창,메이 ,  톰슨,데이비드 ,  가나엠,스티브쥐.

IPC分类号： H01L21/285 ,  C23C16/455 ,  C23C16/14

公开(公告)号：KR102069262B1

公开(公告)日：2020-01-22

申请号：KR1020197023793

申请日：2014-04-28

申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

发明人： 무어,로버트,비. ,  실베티,데이비드 ,  워스,폴 ,  하리스,랜디

IPC分类号： C25D17/00 ,  C25D17/06 ,  C25D21/12

公开(公告)号：KR102062596B1

公开(公告)日：2020-01-06

申请号：KR1020147011439

申请日：2012-09-28

申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

发明人： 모함메드,발라라비엔. ,  레인,존더블유. ,  그레고르,마리우쉬제이. ,  힐리,댄조셉

IPC分类号： H01L21/66 ,  H01L21/205

公开(公告)号：KR102061305B1

公开(公告)日：2019-12-31

申请号：KR1020147032960

申请日：2013-03-21

申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

发明人： 고엘,아쉬쉬 ,  수브라마니,아난타 ,  이웨트,모리스,이.

IPC分类号： H01L21/205 ,  H01L21/324

公开(公告)号：KR102057176B1

公开(公告)日：2019-12-18

申请号：KR1020177032410

申请日：2014-03-10

申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

发明人： 최,영진 ,  박,범수 ,  최,수영

IPC分类号： H01L51/52 ,  H01L51/00 ,  H01L51/56

公开(公告)号：KR102053834B1

公开(公告)日：2019-12-09

申请号：KR1020167027506

申请日：2014-01-14

申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

发明人： 캔트웰,더모트

IPC分类号： G06N3/08 ,  G06N3/063 ,  G06N20/00

公开(公告)号：KR102051026B1

公开(公告)日：2019-12-02

申请号：KR1020147033306

申请日：2013-04-24

申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

发明人： 추,밍웨이 ,  왕,롱준 ,  파티반드라,나그,비. ,  탕,시안민 ,  아그라왈,비베크 ,  츠사이,청-시웅,매튜 ,  라쉬드,무함마드 ,  세이갈,디네쉬 ,  라자,프라부람고팔 ,  나라마수,옴카람 ,  수브라마니,아난타

IPC分类号： H01L33/12 ,  H01L21/203

公开(公告)号：KR102047069B1

公开(公告)日：2019-11-20

申请号：KR1020147027249

申请日：2013-02-26

申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

发明人： 레이,유 ,  간디코타,스리니바스 ,  푸,신유 ,  탕,웨이 ,  누리,아티프

IPC分类号： H01L29/78 ,  H01L21/336 ,  H01L21/205

公开(公告)号：KR102045095B1

公开(公告)日：2019-11-14

申请号：KR1020147016365

申请日：2012-11-14

申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

发明人： 창,쇼우-성 ,  첸,헝치흐 ,  카루피아,라크쉬마난 ,  버터필드,폴디. ,  론덤,에릭에스.

IPC分类号： H01L21/304 ,  H01L21/66