公开(公告)号：KR101629064B1

公开(公告)日：2016-06-21

申请号：KR1020130018781

申请日：2013-02-21

申请人： 주식회사 엘지화학

发明人： 윤석일 ,  곽상민 ,  엄준근 ,  박세정 ,  이남정 ,  이중훈

IPC分类号： G02B5/30 ,  G02F1/1335

CPC分类号： G02B5/208 ,  G02B5/3075 ,  G02B5/3091 ,  G02F1/133528

摘要： 본발명은유리전이온도가 120℃이상이고, 알킬 (메트)아크릴레이트계반복단위및 스티렌계반복단위를포함하는아크릴계수지; 및 1% 열분해온도가상기아크릴계수지의유리전이온도대비 2.5배이상인 UV 흡수제를포함하는광학필름및 이를포함하는편광판에관한것이다.

公开(公告)号：KR101233879B1

公开(公告)日：2013-02-15

申请号：KR1020127016368

申请日：2005-01-14

申请人： 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하

发明人： 피올카,다미안 ,  데구엔테,마르쿠스

IPC分类号： G02B5/30 ,  G02B1/08 ,  G02F1/01

CPC分类号： G02B5/3083 ,  G02B1/08 ,  G02B5/3025 ,  G02B5/3075 ,  G02B27/286 ,  G02F1/0136 ,  G02F1/0147 ,  G03F7/70058 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70566

摘要： 광활성 물질로 구성되는 편광변조 광학소자(1)가 광축의 방향에서 측정되었을 때 두께가 광학소자 전 영역에서 변화하는 두께프로파일을 갖는다. 편광변조 광학소자(1)는 제1 선형편광 광선의 진동면과 제2 선형편광 광선의 진동면이 각각 제1 회전각 및 제2 회전각 만큼 회전되고, 제1 회전각과 제2 회전각이 상이하다.

公开(公告)号：KR101165862B1

公开(公告)日：2012-07-17

申请号：KR1020067010502

申请日：2005-01-14

申请人： 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하

发明人： 피올카다미안 ,  데구엔테마르쿠스

IPC分类号： G02B5/30 ,  G02B1/08 ,  G02F1/01

CPC分类号： G02B5/3083 ,  G02B1/08 ,  G02B5/3025 ,  G02B5/3075 ,  G02B27/286 ,  G02F1/0136 ,  G02F1/0147 ,  G03F7/70058 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70566

摘要： 광활성 물질로 구성되는 편광변조 광학소자(1)가 광축의 방향에서 측정되었을 때 두께가 광학소자 전 영역에서 변화하는 두께프로파일을 갖는다. 편광변조 광학소자(1)는 제1 선형편광 광선의 진동면과 제2 선형편광 광선의 진동면이 각각 제1 회전각 및 제2 회전각 만큼 회전되고, 제1 회전각과 제2 회전각이 상이하다.
편광변조 광학소자, 광학소자, 두께프로파일, 비회전.

公开(公告)号：KR1020080109130A

公开(公告)日：2008-12-17

申请号：KR1020070057058

申请日：2007-06-12

申请人： 한국과학기술원

发明人： 공홍진 ,  이신욱 ,  김태형 ,  최진

IPC分类号： G02B26/00

CPC分类号： G02B5/3025 ,  G02B5/3075 ,  G02B27/286 ,  G03F7/70566

摘要： A three-fold polarization modulator for modulating input light of a high numerical aperture lens is provided to increase yield of a lithography process by controlling the polarized light of incident light and has light power distribution of the circular shape on the focal plane. In a three-fold polarization modulator for modulating input light of a high numerical aperture lens, three-fold polarization modulator(32) passes incident light and modulates it to be the other polarization state in three areas respectively. A high numerical aperture lens(31) passes modulated incident light and generates a focusing light having light power distribution of the circular shape on the focal plane.

摘要翻译： 提供用于调制高数值孔径透镜的输入光的三重偏振调制器，以通过控制入射光的偏振光来增加光刻处理的产量，并且在焦平面上具有圆形形状的光功率分布。 在用于调制高数值孔径透镜的输入光的三重偏振调制器中，三重偏振调制器（32）分别通过入射光并将其调制成三个区域中的另一个极化状态。 高数值孔径透镜（31）通过调制的入射光，并产生在焦平面上具有圆形形状的光功率分布的聚焦光。

公开(公告)号：KR101866720B1

公开(公告)日：2018-06-11

申请号：KR1020187006648

申请日：2015-09-25

申请人： 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니

发明人： 앰버그레그에이 ,  웡티모시엘 ,  아우더컬크앤드류제이 ,  윈즈성

IPC分类号： B32B37/02 ,  G02B7/02 ,  G02B5/30 ,  B32B37/06 ,  B32B37/08 ,  B32B38/00 ,  B32B27/08

CPC分类号： G02B27/0172 ,  B29C45/14 ,  B29C55/04 ,  B29D11/00644 ,  B29D11/0073 ,  B29D11/00865 ,  B29K2069/00 ,  B29K2995/003 ,  B29K2995/0034 ,  B29L2009/00 ,  B29L2011/00 ,  G02B1/041 ,  G02B5/005 ,  G02B5/04 ,  G02B5/0891 ,  G02B5/3041 ,  G02B5/305 ,  G02B5/3058 ,  G02B5/3066 ,  G02B5/3075 ,  G02B5/3083 ,  G02B5/3091 ,  G02B13/0055 ,  G02B17/0856 ,  G02B17/0896 ,  G02B21/04 ,  G02B21/28 ,  G02B23/2407 ,  G02B27/0068 ,  G02B27/0093 ,  G02B27/0176 ,  G02B27/0905 ,  G02B27/0983 ,  G02B27/144 ,  G02B27/145 ,  G02B27/148 ,  G02B27/22 ,  G02B27/2228 ,  G02B27/2235 ,  G02B27/283 ,  G02B27/286 ,  G02B2027/011 ,  G02B2027/013 ,  G02B2027/0134 ,  G02B2027/0138 ,  G02B2027/0154 ,  G02C7/02 ,  G02C7/081 ,  G03B21/00 ,  G03B21/28 ,  G06F3/013 ,  H05K999/99

摘要： 광학필름및 광학적층물의제조방법들이기술된다. 광학적층물을제조하는방법은, 도구축을중심으로위치되며도구축에대해회전비대칭인외부표면을갖는열성형도구를제공하는단계; 광학필름을가열하여연화된광학필름을생성하는단계; 도구축으로부터멀리적어도직교하는제1 및제2 방향들을따라연화된필름을연신하면서연화된광학필름을외부표면에순응시켜(conforming), 순응된필름의광학축에대해회전비대칭인순응된광학필름을생성하는단계 - 여기서광학축은도구축과일치함 -; 순응된광학필름을냉각하여광학축에대해회전대칭인대칭광학필름을생성하는단계; 및대칭광학필름상에광학렌즈를성형하여광학적층물을생성하는단계를포함한다.

公开(公告)号：KR101836557B1

公开(公告)日：2018-03-08

申请号：KR1020140135723

申请日：2014-10-08

申请人： 우시오덴키 가부시키가이샤

发明人： 츠루오카가즈유키 ,  아라키류헤이

IPC分类号： G02B5/30 ,  G02B27/28

CPC分类号： G02B5/3075 ,  G02B5/3058 ,  G02B27/0006

摘要： 산화성가스에의한열화를방지한구조로함으로써자외역의광의편광용에적합하게사용되는그리드편광소자를제공한다. 다수의선상부(21)로이루어지는줄무늬형상의그리드층(2)을투명기판(1) 상에설치한구조의그리드편광소자는, 자외선을편광시키는것이가능하고, 그리드층(2)은, 산소활성종이나오존과같은자외선에의해생성되는산화성가스를차단하는가스차단층(3)으로덮여있다. 가스차단층(3)은, 편광시키는광의파장에있어서투명이다.

摘要翻译： 本发明提供一种格栅偏光元件，其通过使结构体防止因氧化性气体引起的劣化而适合用于使紫外线区域的光偏振。 在透明基板1上设置由多个线状部21构成的条状栅格层2的结构的栅格偏光元件可以使紫外线偏光，栅格层2由氧 并且覆盖有阻挡紫外线产生的氧化气体如活性物质或臭氧的阻气层3。 气体阻挡层3在要被偏振的光的波长下是透明的。

公开(公告)号：KR1020170063805A

公开(公告)日：2017-06-08

申请号：KR1020177011135

申请日：2015-09-25

申请人： 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니

发明人： 윈즈성 ,  오더커크앤드류제이 ,  웡티모시엘 ,  맥도웰에린에이 ,  엠버그레그에이

IPC分类号： G02B17/08 ,  G02B5/30 ,  G02B13/00 ,  G02B5/00

CPC分类号： G02B5/3075 ,  B29C45/14 ,  B29C55/04 ,  B29D11/00644 ,  B29D11/0073 ,  B29D11/00865 ,  B29K2069/00 ,  B29K2995/003 ,  B29K2995/0034 ,  B29L2009/00 ,  B29L2011/00 ,  G02B1/041 ,  G02B5/005 ,  G02B5/04 ,  G02B5/0891 ,  G02B5/3041 ,  G02B5/305 ,  G02B5/3058 ,  G02B5/3066 ,  G02B5/3083 ,  G02B5/3091 ,  G02B13/0055 ,  G02B17/0856 ,  G02B17/0896 ,  G02B21/04 ,  G02B21/28 ,  G02B23/2407 ,  G02B27/0068 ,  G02B27/0093 ,  G02B27/0172 ,  G02B27/0176 ,  G02B27/0905 ,  G02B27/0983 ,  G02B27/144 ,  G02B27/145 ,  G02B27/148 ,  G02B27/22 ,  G02B27/2228 ,  G02B27/2235 ,  G02B27/283 ,  G02B27/286 ,  G02B2027/011 ,  G02B2027/013 ,  G02B2027/0134 ,  G02B2027/0138 ,  G02B2027/0154 ,  G02C7/02 ,  G02C7/081 ,  G03B21/00 ,  G03B21/28 ,  G06F3/013

摘要： 이미지표면및 조리개표면(stop surface)을포함하는광학시스템들이기술된다. 제1, 제2 및제3 광학렌즈들, 부분반사기, 다층반사편광기및 1/4 파장지연기(quarter wave retarder)는이미지표면과조리개표면사이에배치된다. 이미지표면과조리개표면사이에복수의주 표면들이배치되는데, 이때각각의주 표면은직교하는제1 및제2 축들을따라이미지표면을향해볼록하다. 적어도 6개의상이한주 표면들은 6개의상이한볼록부들을갖는다.

摘要翻译： 描述了包括图像表面和停止表面的光学系统。 第一，第二和第三光学透镜，部分反射器，多层反射偏振器和四分之一波长延迟器设置在图像表面和虹膜表面之间。 多个主表面设置在图像表面和虹膜表面之间，其中每个主表面沿着第一和第二正交轴向着图像表面凸出。 至少六个不同的主表面具有六个不同的凸部。

公开(公告)号：KR1020160105663A

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：KR1020150028633

申请日：2015-02-27

申请人： 삼성에스디아이 주식회사

发明人： 정은환 ,  신동윤 ,  김원 ,  한인천

IPC分类号： G02B5/30 ,  G02B1/10 ,  B32B27/36

CPC分类号： G02B5/3075 ,  B32B27/36 ,  G02B1/10 ,  G02B5/3041

摘要： 본발명의편광판은편광자, 상기편광자일면에형성된제1코팅층, 상기편광자이면에형성된제2코팅층및 상기제1코팅층상에형성된점착제층을포함하고, 상기점착제층은자외선흡수기를포함한다.

摘要翻译： 根据本发明，偏振片包括：偏振片; 形成在所述偏振器的一个表面上的第一涂层; 形成在所述偏振器的后部的第二涂层; 以及形成在第一涂层上的粘合剂层。 粘合剂层包括紫外线吸收剂。 因此，本发明可以具有优异的紫外线阻隔性和耐久性。

公开(公告)号：KR1020150105266A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：KR1020150032441

申请日：2015-03-09

申请人： 주식회사 엘지화학

发明人： 민성준 ,  임은정 ,  오동현 ,  김정운 ,  유정선 ,  김진홍

IPC分类号： G02F1/01 ,  G02B5/30 ,  C09K19/60

CPC分类号： G02F1/13439 ,  B60J3/04 ,  B60J7/00 ,  B60J7/043 ,  E06B9/24 ,  E06B2009/2464 ,  G02B5/282 ,  G02B5/3016 ,  G02B26/06 ,  G02F1/133509 ,  G02F1/133512 ,  G02F1/137 ,  G02F1/13737 ,  G02F1/155 ,  G02F1/167 ,  G02F2001/133521 ,  G02F2001/13756 ,  G02F2001/1676 ,  G02F2201/083 ,  G02F2201/44 ,  G02F2203/055 ,  G02F1/01 ,  C09K19/60 ,  G02B5/3075

摘要： 본 출원은, 광학 소자에 관한 것이다. 본 출원의 예시적인 광학 소자는 외부 신호 인가 여부에 의하여 투과도를 가변할 수 있고, 또한 적외선 영역의 광에 대하여 낮은 투과도를 가지는 복합층을 이용하여 외부 신호를 인가할 수 있으므로, 열을 차단하여 에너지를 절감할 수 있다. 이러한 광학 소자는 다양한 광학 장치, 예를 들어 선루프 등에 유용하게 사용될 수 있다.

摘要翻译： 本申请涉及光学装置。 根据本发明的实施例的光学装置可以根据外部信号的应用状态来改变透射率，并且还可以通过使用关于红外区域的光具有低透射率的复合层来施加外部信号，从而节省 能量通过阻止热量。 光学装置有效地用于各种光学装置，例如天窗等。

公开(公告)号：KR1020150040343A

公开(公告)日：2015-04-14

申请号：KR1020157005671

申请日：2013-09-19

申请人： 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하

发明人： 생거,잉고 ,  슐레세너,프랑크

IPC分类号： G03F7/20 ,  G02B27/28

CPC分类号： G03F7/70191 ,  G02B5/3075 ,  G02B17/002 ,  G02B26/0816 ,  G02B27/286 ,  G03F7/70116 ,  G03F7/70566 ,  G02B27/28

摘要： 본발명은마이크로리소그래피투영노광장치용광학시스템및 마이크로리소그래피노광방법에관한것이다. 마이크로리소그래피투영노광장치용광학시스템은복수의미러소자(200a, 200b, 200c, ... , 400a, 400b, 400c, ...)를갖는적어도하나의미러장치(200, 400) - 이러한미러소자는상기미러장치에의해반사된광의각도분포를변경하기위하여서로독립적으로조절될수 있음 - ; 및광 전파방향으로상기미러장치(200, 400)의다운스트림에배열되는편광영향광학장치(110, 210, 310, 320, 330)를포함하고, 상기편광영향광학장치(110, 210, 310, 320, 330)는적어도 2개의반사로상기장치(110, 210, 310, 320, 330) 상에입사하는광 빔을반사하고, 2개의반사는상기미러장치(200, 400)에의해반사되는광의적어도하나의각도분포에대하여공통평면에서발생하지않는다.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于微光刻投影曝光装置的光学系统和一种微光刻曝光方法。 用于微光刻投影曝光装置的光学系统包括具有多个反射镜元件的至少一个反射镜装置，其中这些反射镜元件可以彼此独立地调节，以改变由反射镜装置反射的光的角分布，以及偏振 - 在光传播方向上布置在反射镜装置的下游的荧光光学布置，其中所述偏振影响光学布置反射入射在所述布置上的光束，所述至少两个反射不会发生在共同的平面中，用于在 反射镜布置反射的光的最小角度分布。