가공 장치
    3.
    发明公开
    가공 장치 审中-公开

    公开(公告)号:KR20180048670A

    公开(公告)日:2018-05-10

    申请号:KR20187006103

    申请日:2016-08-12

    摘要: 본발명의가공장치(100)는광원(33); 그리고초점맞춤수단(9)의상류부에서주어진위치와평행한공간적으로어긋난나가는광 빔(7)을얻는광학계(2)를포함하고있고, 상기광학계(2)는이동가능한거울(19)을포함하고있고, 이이동가능한거울의법선은 3차원공간에궤적을그릴수 있고, 상기광학계(2)는상기이동가능한거울(19)의모든가능한위치와방향에대해서상기제1 입사광 빔(4)과이동가능한거울(19)에대한상기법선이 0°와 15°사이의각도(15)로분리되도록구성되어있고; 그리고상기광학계(2)가상기이동가능한거울(19)을이동시키는구동수단(6); 제1 반사광 빔(23)과평행한제2 입사광 빔(8)을상기이동가능한거울(19)에제공할수 있는역반사시스템(21); 가공장치(100)가나가는광 빔(7)을목표물(10)에초점을맞추는초점맞춤수단(9)을포함하고있다.

    편광판, 화상 표시 장치 및 화상 표시 장치에 있어서의 명소 콘트라스트의 개선 방법
    6.
    发明公开
    편광판, 화상 표시 장치 및 화상 표시 장치에 있어서의 명소 콘트라스트의 개선 방법 审中-公开
    偏光板图像显示装置及改善图像显示装置中的光照对比度的方法

    公开(公告)号:KR20180008904A

    公开(公告)日:2018-01-24

    申请号:KR20187001115

    申请日:2013-12-26

    发明人: KURODA TAKASHI

    摘要: 명소콘트라스트를향상시킬수 있는편광판, 화상표시장치및 시인성개선방법을제공한다. 본발명의일 형태에의하면, 편광자(11)와, 편광자(11)의편면에설치된, 면내에복굴절성을갖는광 투과성필름(12)을구비하는편광판(10)이며, 광투과성필름(12)의면 내에있어서의굴절률이가장큰 방향인지상축방향의굴절률을 n라하고, 상기면 내에있어서의상기지상축방향과직교하는방향인진상축방향의굴절률을 n라하며, 광투과성필름(12)의평균굴절률을 N이라고했을때, 광투과성필름(12)이, 하기식(1)의관계를만족하고, n>N>n…(1) 상기광 투과성필름의진상축방향과, 편광자(11)의흡수축방향의양쪽이수평방향을따르도록, 편광자(11) 및광 투과성필름(12)이배치되는것을특징으로하는편광판(10)이제공된다.

    摘要翻译: [要解决的问题]提供了能够改善亮点对比度的偏振片和图像显示装置; 以及用于改善可视性的方法。 根据本发明的一个实施方式,提供了一种偏光板10,其包括:偏光器11; 以及设置在偏振片11的一个表面上的在平面中具有双折射特性的透光膜12,其中透光膜12满足以下表达式(1)的关系:其中,在慢轴方向上的折射率 即透光膜12的面内的折射率最大的方向为nx,作为与面内的慢轴方向正交的方向的快轴方向的折射率为ny, 透光膜12的折射率为N, 并且其中偏振器11和透光膜12被放置成使得透光膜的快轴方向和偏振器11的吸收轴方向都沿着水平方向。

    조명 광학계
    9.
    发明公开
    조명 광학계 审中-实审
    照明光学系统

    公开(公告)号:KR1020170119736A

    公开(公告)日:2017-10-27

    申请号:KR1020177029947

    申请日:2011-06-16

    IPC分类号: H01L21/027 G03F7/20

    摘要: 실시형태중 하나는, 편광변환부재의후속광학계에의한리타데이션의영향을작게억제해서, 소요의편광상태의광으로피조사면을조명할수 있는조명광학계에관한것이다. 일실시형태에의하면, 광원(LS)으로부터의광에의해피조사면(M)을조명하는조명광학계(1~12)는, 입사광의편광상태를변환하여, 조명광학계의조명동공에소정의편광상태의동공강도분포를형성하는편광변환부재(5A)와, 편광변환부재보다피조사면측의광로중에배치되며, 편광변환부재와피조사면사이의후속광학계에의한리타데이션의영향을저감하기위해서, 동공강도분포를형성하는광 중제 1 방향으로편광된직선편광의광이소요의타원편광의광으로변환되고, 또한제 1 방향과비스듬하게교차하는제 2 방향(X 방향또는 Y 방향)으로편광한직선편광의광의편광상태가유지되도록통과시키는위상변조부재(5B)를구비하고있다.

    摘要翻译: 一个示例性的形式中,本发明涉及一种照明光学系统,其以抑制延迟的影响,可以照亮与由偏振转换bujaeui后续光学系统中的干扰光的偏振状态被照射的表面。 根据一个实施例,所述照明光学系统(1-12),用于照明快乐照射从所述光源(LS)的光的表面(M)转换入射光的偏振状态,预定偏振的照明系统的照明光瞳 设置在成形的状态下的光瞳强度分布的光路和偏振转换构件(5A),偏振转换元件的被照射面侧,以减少所造成的偏振转换元件和所述表面之间的随后的光学系统中的延迟的影响被照射 在光学jungje第一方向上形成的光的光瞳强度分布偏振的线性偏振光被转换成所需的椭圆偏振,并且在第二方向上的偏振光(X方向或Y方向)上的光倾斜地相交的第一方向 以及用于使直线偏振光通过以维持光的偏振状态的相位调制部件5B。

    조명 광학계 및 노광 장치
    10.
    发明授权
    조명 광학계 및 노광 장치 有权
    照明光学系统和曝光设备

    公开(公告)号:KR101789855B1

    公开(公告)日:2017-10-25

    申请号:KR1020137001254

    申请日:2011-06-16

    IPC分类号: H01L21/027 G03F7/20

    摘要: 실시형태중 하나는, 편광변환부재의후속광학계에의한리타데이션의영향을작게억제해서, 소요의편광상태의광으로피조사면을조명할수 있는조명광학계에관한것이다. 일실시형태에의하면, 광원(LS)으로부터의광에의해피조사면(M)을조명하는조명광학계(1~12)는, 입사광의편광상태를변환하여, 조명광학계의조명동공에소정의편광상태의동공강도분포를형성하는편광변환부재(5A)와, 편광변환부재보다피조사면측의광로중에배치되며, 편광변환부재와피조사면사이의후속광학계에의한리타데이션의영향을저감하기위해서, 동공강도분포를형성하는광 중제 1 방향으로편광된직선편광의광이소요의타원편광의광으로변환되고, 또한제 1 방향과비스듬하게교차하는제 2 방향(X 방향또는 Y 방향)으로편광한직선편광의광의편광상태가유지되도록통과시키는위상변조부재(5B)를구비하고있다.

    摘要翻译: 一个示例性的形式中,本发明涉及一种照明光学系统,其以抑制延迟的影响,可以照亮与由偏振转换bujaeui后续光学系统中的干扰光的偏振状态被照射的表面。 根据一个实施例,所述照明光学系统(1-12),用于照明快乐照射从所述光源(LS)的光的表面(M)转换入射光的偏振状态,预定偏振的照明系统的照明光瞳 设置在成形的状态下的光瞳强度分布的光路和偏振转换构件(5A),偏振转换元件的被照射面侧,以减少所造成的偏振转换元件和所述表面之间的随后的光学系统中的延迟的影响被照射 在光学jungje第一方向上形成的光的光瞳强度分布偏振的线性偏振光被转换成所需的椭圆偏振,并且在第二方向上的偏振光(X方向或Y方向)上的光倾斜地相交的第一方向 以及用于使直线偏振光通过以维持光的偏振状态的相位调制部件5B。