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    반송 장치
    23.
    发明授权
    반송 장치 有权
    运输机

    公开(公告)号：KR101419543B1

    公开(公告)日：2014-07-14

    申请号：KR1020070017024

    申请日：2007-02-20

    申请人： 세이코 인스트루 가부시키가이샤

    发明人： 아소마코토

    IPC分类号： H01L21/68

    CPC分类号： H01L21/6838 ,  Y10S294/902 ,  Y10S414/141 ,  Y10T428/30

    摘要： 반송 아암은 두 개의 돌출하는 지지 섹션을 갖는다. 지지 섹션의 두께가 지지 섹션의 전단을 향해 감소하도록 지지 섹션의 전단을 형성한다. 웨이퍼가 배치되는 반송 아암의 표면에는 팬 형상 영역에 등간격으로 형성된 복수의 흡입공이 설치되어 있다. 웨이퍼는 흡입공을 통해 반송 아암에 고정되어 있다. 웨이퍼는 대량의 정전기로 충전되어 있다. 반송 아암은 정전기로 충전되어 있다. 반송 아암의 표면은 전도성 불화흑연재료로 도포되어 있다. 따라서, 대기로의 반송 아암의 전기 방전율은 증가한다. 이에 따라, 부동 상태에서 반송 아암의 표면 전위의 상승은 적절하게 억제될 수 있다. 반송 아암과 웨이퍼 사이에 작용하는 정전기에 의해 발생하는 반발력의 감소는 웨이퍼의 진동의 감소를 유도한다.

    기재 하우징의 다이아몬드형 탄소 코팅
    25.
    发明授权
    기재 하우징의 다이아몬드형 탄소 코팅 有权
    钻石类似于基材壳的碳涂层

    公开(公告)号：KR101414420B1

    公开(公告)日：2014-07-01

    申请号：KR1020097012644

    申请日：2007-06-14

    申请人： 엔테그리스, 아이엔씨.

    发明人： 문,성인 ,  익스트랜드,찰스

    IPC分类号： C08J7/06 ,  B32B7/02 ,  B65D85/50 ,  C01B31/00

    CPC分类号： C09D1/00 ,  C23C16/26 ,  G06Q30/0283 ,  G06Q99/00 ,  H05K5/069 ,  Y10T428/1379 ,  Y10T428/30 ,  Y10T428/31507

    摘要： 본 발명의 실시양태는 플라스틱 기재 또는 플라스틱 인클로저의 하나 이상의 표면상에 다이아몬드형 탄소 코팅 또는 도우핑된 다이아몬드형 탄소 코팅을 포함하는 물품에 관한 것이다. DLC 또는 도우핑된 DLC 코팅의 실시양태는 코팅된 플라스틱 또는 열가소성 수지의 수소 또는 헬륨에 대한 기체 투과도를 플라스틱만의 투과도에 비해서 감소시킨다. DLC 또는 도우핑된 DLC 코팅은 약 10
    7 내지 약 10
    14 Ω/□의 표면 저항률을 제공하며, 파장 약 300 nm 내지 약 1100 nm 범위의 광에 대하여 하층의 기재의 투광률보다 약 0% 내지 약 70% 더 낮은 범위의 투광률을 갖는다. DLC 코팅된 플라스틱은 환경에 민감한 기재, 예컨대 반도체 웨이퍼 및 레티클을 보호하기 위한 환경 인클로저에 사용될 수 있다.
    다이아몬드형 탄소 코팅, 반도체 웨이퍼, 표면 저항률, 기체 투과도 계수, 투광률

    투명 도전체 및 그의 제조 방법
    28.
    发明公开
    투명 도전체 및 그의 제조 방법 审中-实审
    透明导体及其制造方法

    公开(公告)号：KR1020140068891A

    公开(公告)日：2014-06-09

    申请号：KR1020147004682

    申请日：2012-09-21

    申请人： 고쿠리쓰다이가쿠호진 규슈다이가쿠 ,  도레이 카부시키가이샤

    发明人： 이마즈,나오키 ,  와타나베,오사무 ,  나카시마,나오토시 ,  후지가야,츠요히코

    IPC分类号： H01B13/00 ,  B32B7/02 ,  B32B9/00 ,  H01B5/14

    CPC分类号： H01B13/30 ,  B82Y30/00 ,  C03C17/3441 ,  C03C2217/42 ,  H01B1/02 ,  H01B1/04 ,  H01L51/0048 ,  H01L51/5203 ,  Y10T428/30

    摘要： 투명 기재 상에 카본 나노튜브를 포함하는 분산액을 도포하고 건조시켜 도전층을 형성함으로써 투명 기재의 적어도 한쪽면에 도전성 적층 구조를 형성하는 투명 도전체의 제조 방법으로서, 도전층을 형성하기 전에, 0.2 내지 20 질량％의 비율로 홀 도핑 화합물을 함유하는 언더 코팅층을 투명 기재 상에 형성하는 공정, 또는 도전층을 형성한 후에, 0.2 내지 20 질량％의 비율로 홀 도핑 화합물을 함유하는 오버 코팅층을 형성하는 공정을 실시하는 것을 특징으로 하는 투명 도전체의 제조 방법. 또한, 투명 기재의 적어도 한쪽면에, 홀 도핑 화합물을 0.2 내지 20 질량％의 비율로 포함하는 언더 코팅층과, 카본 나노튜브를 포함하는 도전층을 이 순서로 갖고, 또는 카본 나노튜브를 포함하는 도전층과, 홀 도핑 화합물을 0.2 내지 20 질량％의 비율로 포함하는 오버 코팅층을 이 순서로 갖는 것을 특징으로 하는 투명 도전체. 투명 도전성이 우수하며, 간편하고, 또한 생산성이 있는 카본 나노튜브 투명 도전체를 형성하는 방법을 제공한다.

    그래핀 기판 상에 나노물질이 적층되어 있는 3차원 나노구조체 및 그 제조방법
    29.
    发明授权
    그래핀 기판 상에 나노물질이 적층되어 있는 3차원 나노구조체 및 그 제조방법 有权
    由机械合成石墨烯膜生长的纳米材料制成的三维纳米结构及其制备方法

    公开(公告)号：KR101400686B1

    公开(公告)日：2014-05-29

    申请号：KR1020100021935

    申请日：2010-03-11

    申请人： 한국과학기술원

    发明人： 김상욱 ,  이원종 ,  이덕현 ,  한태희 ,  김지은 ,  이진아 ,  이건재

    IPC分类号： B82B3/00 ,  H01L21/02

    CPC分类号： H01L29/0665 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J1/304 ,  H01J9/025 ,  H01L51/0048 ,  Y10T428/25 ,  Y10T428/30

    摘要： 본 발명은 그래핀 기판 상에 탄소나노튜브, 탄소나노선, 탄소나노로드 및 탄소나노입자 중 어느 하나 이상의 탄소나노물질이 적층되어 있는 3차원 나노구조체 및 그 제조방법에 관한 것이다.
    본 발명은 1차원의 나노물질과 2차원의 그래핀을 혼성시킨 3차원 나노구조체를 제조하여 이들의 시너지 효과를 얻을 수 있게 한다. 본 발명에 따른 나노구조체는 유연성과 신축성이 우수하며, 비평면적인 표면을 포함하는 어느 기판에도 쉽게 옮겨낼 수 있고, 나노물질, 금속촉매, 그래핀 필름 시스템 내의 모든 접합이 오믹 전기 접합(ohmic electrical contact)을 이루어져 전계 방출 디바이스(Field-emitting device)에 쉽게 통합될 수 있어 유용하다.

    摘要翻译： 本发明涉及一种具有层叠在石墨烯衬底上的纳米材料的三维纳米结构; 更具体地说，涉及一种具有至少一种纳米材料的纳米结构的纳米结构，所述纳米材料选自在还原的石墨烯衬底上生长的纳米管，纳米线，纳米针和纳米线。 本发明能够实现3维纳米结构与1维纳米材料和2维石墨烯杂交的协同作用。 本发明的纳米结构体的柔软性和弹性优异，可以容易地转印到具有非平面的任何基材上。 而且，纳米材料中的所有结，金属催化剂和石墨烯膜系统形成欧姆电接触，这允许纳米结构容易地结合到场发射器件中。