DLC 박막 제조 장치
    3.
    发明公开
    DLC 박막 제조 장치 有权
    DLC薄膜制造设备

    公开(公告)号:KR1020180007536A

    公开(公告)日:2018-01-23

    申请号:KR1020160088692

    申请日:2016-07-13

    发明人: 이원재 박장식

    摘要: DLC 박막을제조하는장치에관한것으로, 자세하게는개선된고출력임펄스마그네트론스퍼터링방법(HIPIMS, high power impulse magnetron sputtering)을추가적으로이용하여경도가높은 DLC 박막을제조하는장치에관한것이다. 제안된발명이해결하고자하는하나의과제는개선된고출력임펄스마그네트론스퍼터링방법(HIPIMS, high power impulse magnetron sputtering)을사용해서복합적으로경도가높은 DLC 박막을제작하는것이다. 일양상에있어서, DLC 박막제조장치는다각기둥형상의챔버; 흑연타겟을포함하는 HIPIMS 발생원; 크롬타겟을포함하는크롬아크발생원; 및챔버의바닥면에위치하여기판을지지하는기판홀더; 를포함하되상기챔버의각 측면에는 HIPIMS 발생원또는크롬아크발생원이위치하는것을특징으로할 수있다.

    摘要翻译: 更具体地说,涉及通过另外使用改进的高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)方法来制造具有高硬度的DLC膜的设备。 所提出的发明要解决的问题之一是通过使用改进的高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)来制造复合硬度DLC薄膜。 在一个方面,DLC薄膜制造设备包括:棱镜室; 包含石墨靶的HIPIMS源; 包含铬靶的铬电弧源; 以及定位在腔室的底表面上以支撑衬底的衬底支架; 其中HIPIMS源或铬电弧源位于腔室的每一侧。

    다성분계 복합 DLC 제조방법
    4.
    发明公开
    다성분계 복합 DLC 제조방법 有权
    多组合DLC涂层方法

    公开(公告)号:KR1020160077497A

    公开(公告)日:2016-07-04

    申请号:KR1020140187226

    申请日:2014-12-23

    IPC分类号: C23C14/34 C23C14/06

    CPC分类号: C23C14/3407 C23C14/0605

    摘要: 본발명은다성분계복합 DLC 제조방법에관한것으로서, 챔버내에마련된제1스테이지와, 제1스테이지와이격되어대향되게설치되며스퍼터링타겟체가장착되는제2스테이지의중앙에마련된제1자석과, 제1자석과이격되되제1자석과극성이다른제2자석이형성된자력발생부와, 제2스테이지에바이어스를인가하는바이어스인가부및 챔버내에아르곤가스를공급하는가스공급부를갖는스퍼터링장비에의해제1스테이지에장착된기판위에박막을형성하되, 스퍼터링타겟체는제1자석과제2자석의사이영역에대향되는부분에첨가물질로된 첨가물질층이형성되어있고, 첨가물질층이외의부분은카본소재로형성되어있다. 이러한다성분계복합 DLC 제조방법에의하면, 경도, 밀착력, 적외선투과율등 원하는물리적특성을조정하는첨가물질이카본에포함된박막을제조할수 있는장점을제공한다.

    摘要翻译: 本发明涉及一种制造多组分复合DLC的方法。 根据该方法,通过溅射装置在安装在第一阶段的基板上形成薄膜,该溅射装置包括:准备在室中的第一阶段; 磁力产生部,具有通过从第一阶段分离到第一阶段而安装在第二阶段的中心的第一磁体,并且安装有溅射靶和与第一磁体分离的第二磁体,同时具有 与第一磁铁不同的极性; 施加偏压到第二级的偏置施加部; 以及向所述室供给氩气的气体供给部。 溅射靶具有在与第一磁体和第二磁体之间的区域相对的部分上形成有添加材料的添加材料层,除了添加材料层之外的部分由碳材料形成。 通过根据本发明的制造多组分复合材料DLC的方法,提供了能够制造薄膜的优点,其中包括调节所需物理性质如硬度,粘附性和红外线透射率的添加剂材料 在碳中。

    차량 시트용 피팅 및 차량 시트
    5.
    发明授权
    차량 시트용 피팅 및 차량 시트 有权
    适用于汽车座椅和车辆座椅

    公开(公告)号:KR101579059B1

    公开(公告)日:2015-12-21

    申请号:KR1020147022395

    申请日:2013-01-05

    IPC分类号: B60N2/235

    摘要: 본발명은차량시트용, 특히자동차시트용피팅(5)에관한것이며, 이피팅은제 1 피팅부분(7), 제 1 피팅부분(7)에대하여축선(A)을중심으로회전될수 있는제 2 피팅부분(8), 축선(A)을중심으로회전가능하게지지되는구동가능한편심부(11), 및축선(A)에대해방사상인방향으로이동가능하도록제 1 피팅부분(7)에의해안내되고, 피팅(5)을잠그기위해편심부(11)의작용하에서방사상으로외향으로이동될수 있고제 2 피팅부분(8)과방사상으로외향으로상호작용하는하나이상의바(13)를포함하며, 하나이상의바(13)는제 1 바부분(13a)과제 2 바부분(13b)을포함하며각각의바 부분(13a, 13b)들은치형가공된링(8a)으로서설계되는제 2 피팅부분(8)의치형부와상호작용하는치형부(13a', 13b')들을갖는것을특징으로한다.