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    포커싱 및 레벨링 장치
    2.
    发明授权
    포커싱 및 레벨링 장치 有权

    公开(公告)号：KR102246791B1

    公开(公告)日：2021-04-30

    申请号：KR1020197017503

    申请日：2017-11-27

    Applicant: 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드

    Inventor： 란,커 ,  왕,시후아

    IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00

    Abstract: 포커싱및 레벨링장치(focusing and leveling device)는기판(60)의디-포커스및/또는틸트양을계산하도록구성되며, 조명유닛(illumination unit), 투사측슬릿마크(projection-side slit mark)를갖는투사측마크플레이트(projection-side mark plate)(10), 투사측이미지그룹(projection-side imaging group)(20), 편향프리즘(deflection prism)(30), 빔스플리터(beam splitter)(40), 검출유닛(detection unit) 및신호처리유닛(signal processing unit)을포함한다. 조명유닛으로부터방출된광 빔은투사측마크플레이트(10)를투과하여투사측이미지그룹(20)에의해기판(60)의표면상으로지향된프로브빔으로트림된다. 편향프리즘(30)은기판(60)의표면에서첫번째로반사된프로브빔을편향시켜기판(60)의표면에다시입사시키고, 투사측이미지그룹(20)으로두 번째로반사된다. 빔스플리터(40)는투사측이미지그룹(20)을통과한프로브빔을검출유닛상에지향시킨다. 신호처리유닛은검출부에의해검출된측정스폿에기초하여디-포커스및/또는틸트양을계산한다. 이장치는구조적으로간단하고제작이쉬우며측정정확도가향상되었다.

    자동 광학 검사 장치 및 방법
    3.
    发明授权
    자동 광학 검사 장치 및 방법 有权

    公开(公告)号：KR102244254B1

    公开(公告)日：2021-04-26

    申请号：KR1020187037087

    申请日：2017-07-31

    Applicant: 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드

    Inventor： 루,하일리앙 ,  지아,준웨이 ,  장,펭리 ,  조우,홍지 ,  쉬,웬 ,  왕,팬

    IPC: G01N21/88 ,  G01N21/35

    Abstract: 자동광학검사(AOI)를위한장치및 방법, 상기장치는작업테이블(work table)(101)에검사대상물(102)을검사하기위해사용되는장치이며, 검사대상물(102)의이미지를캡쳐하기위해사용되는복수의프로브(probes)(111, 112); 서로다른조명모드에서검사대상물(102)을조명하기위해사용되는복수의광원(121, 122); 및상기프로브(111, 112) 및상기다수의광원(121, 122)에시그널링수단(signaling means)에의해연결된동기화제어기(140)를포함하고, 상기동기화제어기(140)는검사대상물(102)의위치에기초하고특정시간시퀀스에따라상기프로브(111, 112) 및상기다수의광원(121, 122)의각각의스위치온 및스위치오프(switching on and off)를직접적으로또는간접적으로제어하기위해사용되어, 대응하는광원(121, 122)의조명모드하에서각 프로브(111, 112)가검사대상물(102)의이미지를캡쳐하고, 대응하는프로브(111, 112)가스위치-온(switched-on) 상태에있는시간동안만광원(111, 112)이검사대상물(102)을조명하도록허용한다. 본동기화제어기는단일스캔이다수의측정구성에따라검사를수행할수 있도록다수의광원(121, 122) 및프로브(111, 112)의시간시퀀싱을제어함으로써, 검사효율을크게향상시킨다.

    리소그래피 머신에서의 노광을 위해 사용되는 셔터 장치 및 그 사용을 위한 방법
    5.
    发明授权
    리소그래피 머신에서의 노광을 위해 사용되는 셔터 장치 및 그 사용을 위한 방법 有权

    公开(公告)号：KR102173216B1

    公开(公告)日：2020-11-03

    申请号：KR20187030522

    申请日：2017-03-31

    Applicant: 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드

    Inventor： 첸,멍라이 ,  장,푸핑

    IPC: G03F7/20

    Abstract: 리소그래피머신내의노광에사용되는셔터장치및 그방법이제공된다. 상기장치는셔터블레이드(1), 상기셔터블레이드(1)가회전하도록구동하기위한회전모터(2), 상기회전모터(2)에전기적으로연결된제어기, 및상기회전모터(2)를지지하는것에사용되는지지대(3)를포함한다; 상기회전중심(11)은상기회전모터(2)에연결되고, 상기회전모터(2)는상기셔터블레이드(1)를회전하도록구동하고따라서상기셔터를개방빛 폐쇄하여, 노광된영역및 비노광영역을형성한다. 중공부(131)는상기차폐부(13) 내에제공되며, 상기셔터블레이드(1)의질량을경감하고회전동안상기셔터블레이드(1)에대한제어를개선시킨다. 상기제어기의제어에의해, 상기셔터는상기셔터블레이드(1)의동작의균일-속도스테이지동안개방및 폐쇄된다. 상기셔터블레이드(1)의가속및 감속의프로세스들은시간및 이동거리가충분한상기셔터의폐쇄의스테이지동안발생하도록설정되어, 상기회전모터(2)의토크요구사항을감소시키고상기셔터를개방및 폐쇄하기위한시간을효과적으로단축시킨다.

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