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公开(公告)号:KR102260639B1
公开(公告)日:2021-06-04
申请号:KR1020190120060
申请日:2019-09-27
申请人: 엘지전자 주식회사
IPC分类号: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/687 , H01L21/683 , H01L21/50 , H01L33/00
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公开(公告)号:KR102260639B1
公开(公告)日:2021-06-04
申请号:KR1020190120060
申请日:2019-09-27
申请人: 엘지전자 주식회사
IPC分类号: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/687 , H01L21/683 , H01L21/50 , H01L33/00