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公开(公告)号:KR1019990087153A
公开(公告)日:1999-12-15
申请号:KR1019980706546
申请日:1997-12-26
申请人: 호쿠리쿠 덴키 고교 가부시키가이샤
IPC分类号: H01C13/00
摘要: 본 발명은 단자전극의 저항값의 분산이 적은 칩 형태의 네트워크 저항기를 제공한다. 기판(1)의 양단부(3),(5)에 형성된 복수의 오목부(7)의 위치에 후막전극(9)에 접속된 단자전극(17)을 형성한다. 단자전극(17)을 금속박막전극층(19)과 2층의 도금층(21),(23)으로 구성된다. 금속박막전극층(19)은, 후막전극(9)의 위에 부분적으로 겹쳐지도록 기판(1)의 표면(1a)위에 형성된 표면전극부(19a)와, 표면전극부(19a)에 연결된 오목부(7)의 내벽면을 전체적으로 덮도록 형성된 측면전극부(19b)와, 측면전극부(19b)와 연결된 기판(1)의 내면(1b) 위에 형성된 내면전극부(19c)을 보유한다. 금속박막전극층(19)의 표면전극부(19a)의 형성을, 오목부(7) 한쪽의 개구단부의 주위를 완전히 에워싸는 형상으로 한다.
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公开(公告)号:KR1019980005076A
公开(公告)日:1998-03-30
申请号:KR1019970028060
申请日:1997-06-27
申请人: 호쿠리쿠 덴키 고교 가부시키가이샤
IPC分类号: H01C10/00
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公开(公告)号:KR101889727B1
公开(公告)日:2018-08-20
申请号:KR1020147003175
申请日:2012-08-02
申请人: 호쿠리쿠 덴키 고교 가부시키가이샤 , 안덴 가부시키가이샤
IPC分类号: H04R17/00
摘要: 종래보다음압주파수특성을평탄하게할 수있고, 또한음압주파수특성의편차를작게할 수있는압전발음소자를제공한다. 진동판(13)을윤곽형상이원형을갖는원판형상으로형성한다. 진동판(13)의저벽부(3b)측에, 대향하는한 쌍의장변부(15a)와, 대향하는한 쌍의단변부(15b)와, 4개의연결변부(15c)를구비하는비대칭의팔각형윤곽형상을갖는압전소자(15)를부착한다.
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公开(公告)号:KR101782447B1
公开(公告)日:2017-09-28
申请号:KR1020127026453
申请日:2011-03-09
申请人: 호쿠리쿠 덴키 고교 가부시키가이샤
IPC分类号: H01L41/27 , H01L41/316 , H01L41/29 , H01L41/113 , H01L41/187 , G01C19/56
CPC分类号: H01L41/316 , H01L41/1132 , H01L41/1876
摘要: 양질이고거의균질한 PZT막을형성할수 있는 PZT막을구비한센서소자의제조방법을제공한다. 550㎛이상의두께를갖는 SOI 기판(31)의한쪽면 상에하부전극(E0)을형성한다. SOI 기판(31)의다른쪽면측으로부터 SOI 기판(31)을가열한상태에서하부전극(E0) 상에 PZT막(37)을형성한다. PZT막(37)에에칭처리를실시해서소정의 PZT막패턴(19)을형성한다. PZT막패턴(19) 상에하부전극(E0)과대향하는소정패턴의상부전극(E1)을형성한다. SOI 기판(31)의다른쪽면에연마가공을실시하여 SOI 기판(31)의두께를 PZT막패턴(19)의특성을유효하게발휘시키는소정두께까지얇게한다. 그후, SOI 기판(31)의다른쪽면으로부터에칭처리를실시해서가요성을갖는가요부(11)를형성한다.
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公开(公告)号:KR1020150122677A
公开(公告)日:2015-11-02
申请号:KR1020157024501
申请日:2014-03-11
申请人: 호쿠리쿠 덴키 고교 가부시키가이샤
CPC分类号: B06B1/0644 , H01L41/0933 , H04R17/00 , H04R2499/11
摘要: 소형화해도큰 진동을발생시킬수 있고, 또한장수명의압전진동발생디바이스를제공한다. 진동판(9)이대좌(7)에용접된양단부와압전진동소자(17) 사이에, 용접에의해발생한응력을흡수하도록두께방향의한쪽으로볼록해지고또한두께방향의다른쪽으로오목해지는변형부(19)를각각일체로구비하고있다. 변형부(19)는두께방향으로절단했을때의단면형상이원호상또는 U자상을나타내고있다.
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公开(公告)号:KR1020140127823A
公开(公告)日:2014-11-04
申请号:KR1020147022587
申请日:2013-02-14
申请人: 호쿠리쿠 덴키 고교 가부시키가이샤
CPC分类号: G01L19/14
摘要: 기준 압력실에 대기압을 확실하게 도입할 수 있는 압력 센서 모듈을 제공한다. 압력 센서 모듈(1) 상벽부(11)에, 상벽부(11)를 제 1 벽부인 저벽 부재(15)로부터 멀어지는 방향으로 관통하는 관통 구멍(27a, 29a)과 홈부(27b, 29b)로 구성되는 대기압 도입 통로(27, 29)를 형성한다. 관통 구멍(27a, 29a)은 일단을 상벽부(11)의 제 2 상벽 부분(11b)의 외벽면에 개구시키고, 타단을 상벽부(11)의 제 1 상벽 부분(11a)의 내벽면에 개구시켜서 기준 압력실(S2)과 연통시킨다. 홈부(27b, 29b)는 제 2 상벽 부분(11b)의 외벽면을 따라 연장되고, 그 외벽면 및 제 2 상벽 부분(11b)의 측면에 개구되고 또한 관통 구멍(27a, 29a)의 단부와 연통시킨다.
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公开(公告)号:KR3002224200000S
公开(公告)日:1998-09-15
申请号:KR3019960016237
申请日:1996-07-30
申请人: 호쿠리쿠 덴키 고교 가부시키가이샤
设计人: 히라키 켄이찌
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公开(公告)号:KR3002181450000S
公开(公告)日:1998-06-01
申请号:KR3019970012065
申请日:1997-06-13
申请人: 호쿠리쿠 덴키 고교 가부시키가이샤
设计人: 고다니 히로카즈
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公开(公告)号:KR3001841080001S
公开(公告)日:1997-04-30
申请号:KR3019950014436
申请日:1995-07-28
申请人: 호쿠리쿠 덴키 고교 가부시키가이샤
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