公开(公告)号：KR1020200090654A

公开(公告)日：2020-07-29

申请号：KR1020200084528

申请日：2020-07-09

申请人： (주)디엔에프

发明人： 김성기 ,  박정주 ,  박중진 ,  장세진 ,  양병일 ,  이상도 ,  이삼동 ,  이상익 ,  김명운

IPC分类号： C09D183/16 ,  C23C16/24 ,  C23C16/40 ,  C23C16/34 ,  C23C16/36 ,  C23C16/30 ,  C23C16/50 ,  C09D4/00 ,  H01L21/324 ,  H01L21/02

公开(公告)号：KR1020200090653A

公开(公告)日：2020-07-29

申请号：KR1020200084525

申请日：2020-07-09

申请人： (주)디엔에프

发明人： 김성기 ,  박정주 ,  박중진 ,  장세진 ,  양병일 ,  이상도 ,  이삼동 ,  이상익 ,  김명운

IPC分类号： C09D183/16 ,  C23C16/24 ,  C23C16/40 ,  C23C16/34 ,  C23C16/36 ,  C23C16/30 ,  C23C16/50 ,  C09D4/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/324

公开(公告)号：KR102093227B1

公开(公告)日：2020-03-25

申请号：KR1020180045055

申请日：2018-04-18

申请人： (주)디엔에프

发明人： 김성기 ,  장세진 ,  양병일 ,  박중진 ,  이상도 ,  박정주 ,  이삼동 ,  박건주 ,  이상익 ,  김명운

IPC分类号： C07F7/10 ,  C23C16/455 ,  C23C16/24 ,  C23C16/30 ,  C23C16/32 ,  C23C16/34 ,  C23C16/36 ,  C23C16/40

公开(公告)号：KR102166730B1

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：KR1020200084525

申请日：2020-07-09

申请人： (주)디엔에프

发明人： 김성기 ,  박정주 ,  박중진 ,  장세진 ,  양병일 ,  이상도 ,  이삼동 ,  이상익 ,  김명운

IPC分类号： C09D183/16 ,  C23C16/24 ,  C23C16/40 ,  C23C16/34 ,  C23C16/36 ,  C23C16/30 ,  C23C16/50 ,  C09D4/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/324

公开(公告)号：KR102217645B1

公开(公告)日：2021-02-19

申请号：KR1020200084528

申请日：2020-07-09

申请人： (주)디엔에프

发明人： 김성기 ,  박정주 ,  박중진 ,  장세진 ,  양병일 ,  이상도 ,  이삼동 ,  이상익 ,  김명운

IPC分类号： C09D183/16 ,  C23C16/24 ,  C23C16/40 ,  C23C16/34 ,  C23C16/36 ,  C23C16/30 ,  C23C16/50 ,  C09D4/00 ,  H01L21/324 ,  H01L21/02

摘要： 본발명은비스(아미노실릴)알킬아민화합물을포함하는실리콘함유박막증착조성물및 이를이용하는실리콘함유박막의제조방법에관한것으로, 보다상세하게는실리콘함유박막의전구체로유용하게사용될수 있는비스(아미노실릴)알킬아민화합물을포함하는실리콘함유박막증착용조성물및 이를이용하는실리콘함유박막의제조방법에관한것이다.

公开(公告)号：KR102105977B1

公开(公告)日：2020-05-04

申请号：KR1020180034940

申请日：2018-03-27

申请人： (주)디엔에프

发明人： 김성기 ,  박정주 ,  박중진 ,  장세진 ,  양병일 ,  이상도 ,  이삼동 ,  이상익 ,  김명운

IPC分类号： C09D4/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/324

公开(公告)号：KR102105976B1

公开(公告)日：2020-05-04

申请号：KR1020180035166

申请日：2018-03-27

申请人： (주)디엔에프

发明人： 김성기 ,  박정주 ,  박중진 ,  장세진 ,  양병일 ,  이상도 ,  이삼동 ,  이상익 ,  김명운

IPC分类号： C09D4/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/324