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发明授权
다결정 실리콘의 세정 방법, 제조 방법 및 세정 장치 有权

公开(公告)号：KR102208311B1

公开(公告)日：2021-01-27

申请号：KR1020207028961

申请日：2019-03-25

申请人： 가부시끼가이샤 도꾸야마

发明人： 다사키히로유키 , 가와구치가즈히로

IPC分类号： C01B33/037 , C01B33/035

摘要： 소량의에칭으로다결정실리콘에포함되는오염물질을제거하여순도가높은다결정실리콘을실현한다. 다결정실리콘에대해서, 불질산을접촉시키는제1 세정공정과, 상기제1 세정공정을거친다결정실리콘에대해서, 불산을포함하는비산화성약액을접촉시키는제2 세정공정을사용하여다결정실리콘을세정한다.