기판 보지 장치, 성막 장치 및 기판 보지 방법
    1.
    发明公开
    기판 보지 장치, 성막 장치 및 기판 보지 방법 审中-实审
    基板保持装置,成膜装置和基板保持方法

    公开(公告)号:KR1020170122830A

    公开(公告)日:2017-11-06

    申请号:KR1020177028877

    申请日:2016-06-07

    IPC分类号: H01L21/683 C23C14/04

    CPC分类号: C23C14/04 H01L21/683

    摘要: 마스크와기판과의밀착성을확보할수 있는기판보지장치를제공한다. 기판보지장치(30)는, 마스크플레이트(311)와, 중간플레이트(32)와, 보지플레이트(33)와, 압압기구(34)를구비한다. 마스크플레이트(311)는, 자성재료로구성된다. 중간플레이트(32)는, 마스크플레이트(311)에대향하는제1 면과, 상기제1 면과는반대측의제2 면을가지고, 상기제1 면이마스크플레이트(311) 상에배치된기판(W)에접촉가능하게구성된다. 보지플레이트(33)는, 중간플레이트(32)를마스크플레이트(311)와직교하는축 방향으로상대이동가능하게지지하고, 중간플레이트(32) 및기판(W)을통해마스크플레이트(311)를자기흡착하는것이가능하게구성된마그넷(331)을가진다. 압압기구(34)는, 상기제2 면에대향해서배치되고, 상기제2 면의적어도일부를상기축 방향을따라압압하는것이가능하게구성된다.

    摘要翻译: 提供一种能够确保掩模与基板的密合性的基板保持装置。 基板保持装置30具有掩模板311,中间板32,保持板33以及按压机构34。 掩模板311由磁性材料制成。 中间板32具有与掩模板311相对的第一表面和与第一表面相对的第二表面,并且第一表面是设置在掩模板311上的衬底(未示出) 被配置为与所述W接触)。 保持板33将中间板32支撑为能够在与掩模板311正交的轴向上移动,并且使掩模板311移动通过中间板32和衬底W 并且具有构造成能够吸附的磁体331。 按压机构34与第二面相对配置,能够沿轴向按压第二面的至少一部分。