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    취성 파괴성 판재의 고정 구조 및 이것을 사용한 취성 파괴성 판재로 이루어지는 광 투과 창판의 고정 방법
    2.
    发明公开
    취성 파괴성 판재의 고정 구조 및 이것을 사용한 취성 파괴성 판재로 이루어지는 광 투과 창판의 고정 방법 审中-实审
    脆性断裂板的固定结构及由脆性断裂板制成的透光窗板的固定方法

    公开(公告)号：KR1020170120213A

    公开(公告)日：2017-10-30

    申请号：KR1020177030347

    申请日：2014-04-25

    申请人： 가부시키가이샤 후지킨

    发明人： 나가세마사아키 ,  도히료우스케 ,  이케다노부카즈 ,  니시노코우지 ,  야마지미치오 ,  야쿠시진타다유키

    IPC分类号： G01N21/03 ,  G01N21/05 ,  G01N21/33 ,  G01N21/59 ,  H01L21/67

    CPC分类号： G01J1/0403 ,  G01J1/0407 ,  G01J1/42 ,  G01J3/0205 ,  G01J5/0014 ,  G01J5/0875 ,  G01N21/0303 ,  G01N21/05 ,  G01N21/33 ,  G02B1/02 ,  G02B7/007 ,  G02B27/022 ,  G02B27/028

    摘要： 본발명은유기원료유체의공급계등에서사용하는농도계의구조의간소화, 소형화, 제품비용의인하를도모하고, 광투과창의투명도를일정하게유지하여안정된농도측정을할 수있음과아울러기밀밀성능이나내파티클성을높인농도계를제공한다. 본발명은검출기본체(2)와검출기본체의상면에설치된광 발신부(5a) 및검출기본체의하면에설치된광 검출부(5b)로이루어지는광 분석식원료유량농도검출기에있어서검출기본체(2)의상면및 하면에설치된유체통로(2b)에의해연통된오목부(17)와, 상기오목부(17) 내에장착한개스킷형시일(6)과, 개스킷형시일(6)과대향하여배치되고사파이어제광 투과창판(11a)을협착하여기밀하게감합고정한제 1 고정플랜지(14) 및제 2 고정플랜지(16)와, 제 2 고정플랜지(16) 내에설치된광 파이버(9) 및포토다이오드(10)와, 상기감합고정한양 고정플랜지(14, 16)를개스킷형시일(6)을통해검출기본체(2)의오복부(17) 내에기밀하게고정하는유지고정체(12)로구성된다.

    摘要翻译： 本发明降低了结构简化，小型化，减少了计，用于在系统电源使用的产品的成本，并且能够执行稳定的浓度的测量，以保持恒定的光透射窗口的透明度和以及有机原料液的保密磨性能或 从而提供增强内部颗粒度的密度计。 本发明是一种检测器单元（2）和在光发射器（5a）的所述检测器，并根据包括一光检测部分中的光分析方程材料流密度检测器的检测器本体（5B）提供在上表面设置在主体的检测器单元（2）的服装表面 并且如在流体通道中设置（2B）的通信中的凹部（17）顺便说一下，一个垫圈型密封件6，垫圈型密封件（6）被布置在相对的蓝宝石安装在凹部17的调光器传输 设置在第二固定凸缘16中的光纤9和光电二极管10以及与窗玻璃11a紧密配合并固定的第一固定凸缘14和第二固定凸缘16， 以及保持夹具12，其通过垫圈式密封件6将配合凸缘14和16气密地固定到检测器本体2的椭圆形部分17的内部。

    누설 검출 장치 및 이를 구비하는 유체 제어기
    3.
    发明授权
    누설 검출 장치 및 이를 구비하는 유체 제어기 有权
    泄漏检测装置和流体控制器

    公开(公告)号：KR101710772B1

    公开(公告)日：2017-02-27

    申请号：KR1020147035956

    申请日：2013-07-11

    申请人： 가부시키가이샤 후지킨

    发明人： 도히료우스케 ,  시노하라츠토무 ,  니시노고우지 ,  도오도시오 ,  이케다노부카즈 ,  야마지미치오

    IPC分类号： G01M3/24

    CPC分类号： G01M3/24 ,  G01M3/243

    摘要： 본발명은, 소형화하여유체제어기등의누설검출대상부재에항상부착시켜둘 수있고, 이에따라, 유체의누설을항상감시하는것이가능해지는누설검출장치및 이를구비하는유체제어기를제공하는것을목적으로한다. 유체제어기(1)는, 유체제어기본체(2)와, 유체제어기본체(2)에부착되는누설검출장치(3)를포함한다. 유체제어기본체(2)에, 누설을검지하기위한리크포트(16)가형성된다. 누설검출장치(3)는, 유체제어기본체(2)에부착되는센서유지체(21)와, 리크포트(16)에대향하도록센서유지체(21)에유지되는초음파센서(22)와, 초음파센서(22)의센서면과리크포트(16) 사이에형성되는초음파통로(23)와, 초음파센서(22)에의해얻어지는초음파를처리하는처리회로(24)를구비한다.

    摘要翻译： 提供了一种可以减小尺寸并且一直附着到诸如流体控制器的泄漏检测目标构件的泄漏检测装置，并且因此可以一直监视流体的泄漏，以及具有 相同。 流体控制器由流体控制器主体和附接到流体控制器主体的泄漏检测装置构成。 在流体控制器主体中设置有用于检测泄漏的泄漏口。 泄漏检测装置包括附接到流体控制器主体的传感器保持体; 由传感器保持体保持以面对泄漏口的超声波传感器; 设置在所述超声波传感器的传感器表面与所述泄漏口之间的超声波通路; 以及用于处理由超声波传感器获得的超声波的处理电路。

    유로 실링 구조
    6.
    发明公开
    유로 실링 구조 有权
    流通密封结构

    公开(公告)号：KR1020160028475A

    公开(公告)日：2016-03-11

    申请号：KR1020167003235

    申请日：2014-12-22

    申请人： 가부시키가이샤 후지킨

    发明人： 도히료스케 ,  야스모토나오후미 ,  니시노코지 ,  이케다노부카즈

    IPC分类号： G01F1/42 ,  G01F15/00 ,  G05D7/06

    CPC分类号： F16L15/008 ,  F16L55/027 ,  G01F1/42 ,  G01F15/005 ,  G05D7/0635

    摘要： 오리피스플레이트나필터플레이트를모재가되는오리피스베이스나필터베이스에용접이나코킹을행하는공정을생략할수 있음과아울러, 한층더 소형화를가능하게한다. 본체유로(1a, 1b)가형성된본체블록(1)과, 본체블록(1)의측면에형성되어내주면에암나사가형성된오목부(12, 13)와, 상기오목부의안측에접촉되어서스루홀이형성된박판(6, 8)과, 박판(6, 8)에접촉하는개스킷링(16, 17)과, 본체유로(1a, 1b)와연통가능한내부유로와확경부를갖고상기개스킷링에접촉하는압박배관(20, 21)과, 상기압박배관에외부삽입됨과아울러, 상기암나사에나사삽입되어서상기확경부에접촉하여상기압박배관을압박하는체결나사(22)를구비한다.

    摘要翻译： 一种流通密封结构，用于省略将孔板和过滤板焊接或铆接到孔底部和过滤器底座作为基础材料并允许进一步小型化的过程，包括主块（1），主块（1）包括主流动通道（1a， 1b），设置在主块的侧表面中并且在内周表面中具有内螺纹的凹部（12,13），与凹部的底面抵接的薄板（6,8），并具有通孔，垫圈环 （16,17），抵靠薄板（6,8），具有大直径部分的压力管道（20,21）和与主流动通道（1a，1b）连通并且与垫圈环邻接的内部流动通道， 和紧固螺钉（22），该紧固螺钉（22）抵靠大直径部分，并且通过插入到挤压管道的外部并拧入内螺纹中来挤压挤压管道。

    원료의 기화 공급장치
    8.
    发明授权
    원료의 기화 공급장치 有权
    材料蒸发供应装置

    公开(公告)号：KR101483472B1

    公开(公告)日：2015-01-16

    申请号：KR1020137025707

    申请日：2012-02-20

    申请人： 가부시키가이샤 후지킨

    发明人： 히다카아츠시 ,  히라타카오루 ,  나가세마사아키 ,  도히료스케 ,  니시노코지 ,  이케다노부카즈

    IPC分类号： H01L21/205 ,  C23C16/448

    CPC分类号： C23C16/45512 ,  C23C16/4481 ,  C23C16/45557 ,  C23C16/52 ,  Y10T137/7837

    摘要： 본원 발명은 고체 원료라도, 액체 원료라도 캐리어 가스를 원료 가스와의 혼합 가스 내의 원료 농도를 정확하게 조정하면서, 또한 고정밀도의 유량 제어 하에서 프로세스 챔버에 안정되게 공급할 수 있게 함과 아울러 원료의 잔량 관리를 용이하게 할 수 있게 하는 기화 공급장치로서, 캐리어 가스 공급원으로부터의 캐리어 가스를 소스 탱크의 내부 상방 공간부에 공급하는 유로(L
    1 )와, 상기 유로(L
    1 )에 개설되어 소스 탱크의 내부 상방 공간부의 압력을 설정 압력으로 제어하는 자동 압력 조정장치와, 상기 공간부에서 생성한 원료 증기와 캐리어 가스의 혼합 가스를 프로세스 챔버에 공급하는 유로(L
    2 )와, 상기 유로(L
    2 )에 개설되어 혼합 가스의 유량을 설정 유량으로 자동 조정하는 유량 제어장치와, 소스 탱크와 유로(L
    1 ) 및 유로(L
    2 )를 설정 온도로 가열하는 항온 가열부로 이루어지고, 상기 공간부의 내압을 원하는 압력으로 제어하면서 프로세스 챔버에 혼합 가스를 공급하는 구성으로 한다.

    수동 밸브용 개방도 검지 장치
    9.
    发明授权
    수동 밸브용 개방도 검지 장치 有权
    手动阀开启程度检测装置

    公开(公告)号：KR101474674B1

    公开(公告)日：2014-12-17

    申请号：KR1020137015470

    申请日：2011-11-14

    申请人： 가부시키가이샤 후지킨

    发明人： 도히료우스케 ,  도미타아츠오 ,  니시노고우지 ,  이케다노부카즈 ,  미야가와히데유키

    IPC分类号： F16K37/00 ,  F16K31/60

    CPC分类号： F16K37/0016 ,  F16K37/0041 ,  Y10T137/8275

    摘要： 본발명은장기간에걸친검지의신뢰성이확보되고, 유체통로의개방도의검지정밀도가좋은수동밸브용개방도검지장치를제공한다. 이수동밸브용개방도검지장치에서, 핸들(13)은중공형으로되어있다. 변위센서(4)는, 핸들(13)의내면에고정되어있다. 타깃(5)은, 핸들(13) 내의밸브로드로부터소정거리떨어진위치에배치된타깃본체(22)와, 타깃본체(22)의변위센서(4)에대향하는면에형성된검지용경사면(23)과, 타깃본체(22)로부터하방으로돌출하는하방돌출부(25)를갖는다. 핸들(13)의바닥벽(14a)에, 타깃(5)의하방돌출부(25)를상하이동가능하게삽입관통시키는관통구멍(30)이형성되어있다. 타깃(5)은, 그하방돌출부(25) 하면이밸브본체(11b)에받쳐짐으로써, 핸들(13)과함께회전하지만밸브본체(11b)에대하여상하이동하지않도록되어있다.

    반도체 제조 장치의 가스 분류 공급 장치
    10.
    发明公开
    반도체 제조 장치의 가스 분류 공급 장치 有权
    用于半导体制造设备的气体分离和供应装置

    公开(公告)号：KR1020140129225A

    公开(公告)日：2014-11-06

    申请号：KR1020147026268

    申请日：2013-04-01

    申请人： 가부시키가이샤 후지킨

    发明人： 니시노코지 ,  도히료스케 ,  히라타카오루 ,  스기타카츠유키 ,  이케다노부카즈

    IPC分类号： H01L21/02 ,  G05D7/06

    CPC分类号： G05D7/0641 ,  G05D7/0664 ,  Y10T137/87772 ,  H01L21/02 ,  G05D7/06

    摘要： 프로세스 가스 입구(11)에 접속된 압력식 유량 제어부(1a)를 구성하는 컨트롤 밸브(3)와, 컨트롤 밸브(3)의 하류측에 연통되는 가스 공급 주관(8)과, 가스 공급 주관(8)의 하류측에 병렬상으로 접속된 복수의 분기관로(9a, 9n)와, 각 분기관로(9a, 9n)에 설치된 분기관로 개폐 밸브(10a, 10n)와, 분기관로 개폐 밸브(10a, 10n)의 하류측에 설치한 오리피스(6a, 6n)와, 상기 컨트롤 밸브(3)와 오리피스(6a, 6n) 사이의 프로세스 가스 통로 근방에 설치한 온도 센서(4)와, 상기 컨트롤 밸브(3)와 오리피스(6a, 6n) 사이의 프로세스 가스 통로에 설치한 압력 센서(5)와, 상기 오리피스(6a, 6n)의 출구측에 설치한 분류 가스 출구(11a, 11n)와, 상기 압력 센서(5)로부터의 압력 신호 및 온도 센서(4)로부터의 온도 신호가 입력되어 상기 오리피스(6a, 6n)를 유통하는 프로세스 가스의 총 유량(Q)을 연산함과 아울러 연산된 유량값과 설정 유량값의 차가 감소하는 방향으로 상기 컨트롤 밸브(3)를 개폐 작동시키는 제어 신호(Pd)를 밸브 구동부(3a)에 출력하는 압력식 유량 연산 제어부(7a)로 이루어지는 연산 제어부(7)를 구비하고, 압력식 유량 제어부(1a)에 의해 유량 제어를 행한다.