다수의 측정점에서 구조물의 상태를 동시에 측정하는 장치
    2.
    发明公开
    다수의 측정점에서 구조물의 상태를 동시에 측정하는 장치 无效
    同时测量结构状态在多个点上的测量装置

    公开(公告)号:KR1020090086927A

    公开(公告)日:2009-08-14

    申请号:KR1020090067829

    申请日:2009-07-24

    IPC分类号: G06Q50/08

    CPC分类号: G06Q50/08

    摘要: An apparatus for measuring the state of a structure at the same time on a plurality of measuring points is provided to perform the correction of temperature and inclination by synchronizing the local time of a measuring device as combining the measured result with time information. A communication unit receives a sync command between devices(100A,100B,100C) for measuring the states of a server and a structure and a measurement command from the server. A control unit makes the reference time of the server coincide with the local times of the measuring devices correspondingly to the sync command, and combines the result measured by a sensor with information about the local times.

    摘要翻译: 提供了一种用于在多个测量点上同时测量结构状态的装置,用于通过将测量结果与时间信息组合在一起来同步​​测量装置的本地时间来执行温度和倾斜的校正。 通信单元从服务器接收用于测量服务器的状态的设备(100A,100B,100C)和结构和测量命令之间的同步命令。 控制单元使得服务器的参考时间与测量装置的本地时间相对应于sync命令,并将由传感器测量的结果与关于当地时间的信息组合。

    내구성이 향상된 반도체 제조공정의 유해가스 처리용 촉매
    4.
    发明授权
    내구성이 향상된 반도체 제조공정의 유해가스 처리용 촉매 有权
    具有改善耐久性的催化剂,用于处理半导体制造过程中产生的有害气体

    公开(公告)号:KR101537995B1

    公开(公告)日:2015-08-20

    申请号:KR1020140001871

    申请日:2014-01-07

    IPC分类号: B01J23/46 B01J23/40 F01N3/20

    摘要: 본발명은반도체제조공정에서발생하는유해가스의처리촉매에관한것으로, 더욱상세하게는, 반도체배기가스중에포함된촉매피독물질에대한내구성이향상된촉매에관한것이다. 무기물담체와페롭스카이트형복합산화물이혼합된혼합무기물담체와, 상기혼합무기물담체에담지된귀금속성분을포함하고, W, Mn, Cu, Zn 중에서선택된전이금속의산화물 1종이상이상기혼합무기물담체의표면에코팅된촉매에의해서, 반도체제조공정중의유해폐가스를처리함에있어축열연소공정후단에서발생하는미제거악취유해가스를높은효율로처리할수 있으며, 상기미제거악취유해가스에포함된실란계, 할로겐계, 황화합물계등의촉매피독물질에도높은내구성을지닌촉매를제공함으로써촉매의교체주기를연장하여폐가스처리의경제성을제고한다.

    내구성이 향상된 반도체 제조공정의 유해가스 처리용 촉매
    6.
    发明公开
    내구성이 향상된 반도체 제조공정의 유해가스 처리용 촉매 有权
    具有改善半导体制造过程中生成的危险气体的耐久性的催化剂

    公开(公告)号:KR1020150081903A

    公开(公告)日:2015-07-15

    申请号:KR1020140001871

    申请日:2014-01-07

    IPC分类号: B01J23/46 B01J23/40 F01N3/20

    摘要: 본발명은반도체제조공정에서발생하는유해가스의처리촉매에관한것으로, 더욱상세하게는, 반도체배기가스중에포함된촉매피독물질에대한내구성이향상된촉매에관한것이다. 무기물담체와페롭스카이트형복합산화물이혼합된혼합무기물담체와, 상기혼합무기물담체에담지된귀금속성분을포함하고, W, Mn, Cu, Zn 중에서선택된전이금속의산화물 1종이상이상기혼합무기물담체의표면에코팅된촉매에의해서, 반도체제조공정중의유해폐가스를처리함에있어축열연소공정후단에서발생하는미제거악취유해가스를높은효율로처리할수 있으며, 상기미제거악취유해가스에포함된실란계, 할로겐계, 황화합물계등의촉매피독물질에도높은내구성을지닌촉매를제공함으로써촉매의교체주기를연장하여폐가스처리의경제성을제고한다.

    摘要翻译: 本发明涉及一种用于处理在半导体制造工艺中产生的危险气体的催化剂,更具体地说,涉及一种对包含在半导体废气中的催化剂中毒材料具有改善的耐久性的催化剂。 催化剂包括混合无机载体,其中无机载体与钙钛矿型复合氧化物和携带在混合无机载体中的贵金属组分混合,涂覆有一种或多种选自W,Mn,Cu的过渡金属的氧化物,以及 Zn在混合无机载体的表面上,并且可以在再生燃烧过程的后端产生的未被除去的有害气体以高效率处理半导体制造过程中的有害废气。 提供对催化剂中毒材料具有高耐久性的催化剂,如未被除去的不良气味的有害气体中包含的硅烷类,卤素系,硫化合物类材料,延长催化剂的更换周期,提高经济效益 在处理废气时。

    다수의 측정점에서 구조물의 상태를 동시에 측정하는 장치
    7.
    发明公开
    다수의 측정점에서 구조물의 상태를 동시에 측정하는 장치 无效
    同时测量结构状态在多个点上的测量装置

    公开(公告)号:KR1020090003546A

    公开(公告)日:2009-01-12

    申请号:KR1020070059104

    申请日:2007-06-15

    摘要: A device for measuring the states of a structure simultaneously at a plurality of points is provided to guarantee objective measurement results of high precision by correcting errors resulted from the temperature and inclination at the measuring points. A sensor(300) senses the state of a structure according to the predetermined control command. A controller(400) combines the measurement result of the sensor with information on measurement time. A communication part(500) transmits the measurement result combined with the time data to a server.

    摘要翻译: 提供了一种用于在多个点处同时测量结构状态的装置,以通过校正由测量点处的温度和倾斜引起的误差来保证高精度的客观测量结果。 传感器(300)根据预定的控制命令来感测结构的状态。 控制器(400)将传感器的测量结果与测量时间的信息相结合。 通信部件(500)将与时间数据组合的测量结果发送到服务器。