专利检索 ap:("어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드") AND inv:"손넨샤인,요아힘" 第 1 页

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发明授权
진공 챔버 내에서 사용하기 위한 캐리어, 진공 챔버 내의 이송 어레인지먼트를 테스트하기 위한 시스템, 진공 프로세싱 시스템, 및 진공 챔버 내의 이송 어레인지먼트를 테스트하기 위한 방법 有权

公开(公告)号：KR102253018B1

公开(公告)日：2021-05-17

申请号：KR1020197008803

申请日：2017-10-25

申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

发明人： 라우,시몬 , 핸트,한스요아힘 , 손넨샤인,요아힘 , 첸겔,클라우스 , 게르하르트,마르코 , 오스만리치,알렌 , 한젠,하우케 , 최,원준

IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/673

摘要： 본개시내용은진공챔버(302) 내에서의이송을위한캐리어(100)를제공한다. 캐리어(100)는바디(110), 및바디(110)에연결된하나이상의모션센서들(120)을포함한다.