公开(公告)号：KR1020010015662A

公开(公告)日：2001-02-26

申请号：KR1020007003375

申请日：1998-09-22

Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

Inventor： 보란디,후맨 ,  테프맨,아비

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67103

Abstract: 재료기판에적용된일체식베이크및 냉각열 사이클링을제공하기위한방법및 장치가제공된다. 상기장치는나선형배열을취하고있는하나이상의유체채널로일체식베이크및 냉각플레이트를포함하는모듈이다. 상기유체채널은일체식베이크및 냉각플레이틔중심부및 주변부부근에입구및 출구를갖는다. 부가적으로, 유체채널은채널부분을통해마이크로채널을가질수 있다. 모듈은하나이상의열전기장치, 기판이직접또는간적적으로놓여진열 도전성플레이트, 인쇄회로기판, 및가변전력공급원을포함한다. 일체식베이크및 냉각플레이트, 열도전성플레이트및 열전기장치는모두서로열 접촉하고있다. 열전기장치는또한가변전력공급원과전기접촉하고있으며, 상부플레이트, 바닥플레이트, 상기상부및 바닥플레이트사이에위치된지지부, 및전기접촉을발생하기위해바닥플레이트아래에위치된하나이상의구리패드를포함한다. 모듈은나선형상의유체채널을통해상이한온도의유체를유동시키고, 미리프로그램밍된사이클에따라열전기장치의온도를조절함으로써기판을베이킹하고냉각시킨다.

Abstract translation: 提供了一种用于提供施加到材料基底的集成烘烤和冷却热循环的方法和设备。 该设备是包括具有一个或多个流体通道的整体烘烤和冷却板的模块，该流体通道呈螺旋状布置。 流体通道在整体式烘烤台和冷却台的中央和周边部分附近具有入口和出口。 另外，流体通道可以具有穿过通道部分的微通道。 该模块包括至少一个热电装置，直接或间接布置的基板，导热板，印刷电路板和可变电源。 整体烘烤和冷却板，导热板和热电装置全部彼此热接触。 热电装置还包括一个可变电源和电接触，并且，与所述顶板，底板，顶和成为位于底板部之间，以及至少一个的铜位于底部板下方，以便产生电接触垫 。 该模块使流体在不同温度下流过螺旋流体通道，并通过根据预编程循环调节热电装置的温度来冷却基板。

公开(公告)号：KR1020010030990A

公开(公告)日：2001-04-16

申请号：KR1020007003775

申请日：1998-09-28

Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

Inventor： 테프맨,아비

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/68707 ,  H01L21/67742 ,  Y10S414/135

Abstract: 본발명은로봇블레이드및 처리시스템을통해물체즉, 기판을전달하기위해로봇블레이드를이용하는방법에관한것이다. 로봇블레이드는제 1 물체지지면을갖는상부플랫폼및 제 2 물체지지면을갖는하부플랫폼을포함하고이다. 로봇블레이드는이동성부재상에장착되며, 이는처리챔버내에처리된기판의제거및 미처리된기판의삽입등의기판의전달을용이하게한다.