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公开(公告)号：KR1020170115740A
公开(公告)日：2017-10-18
申请号：KR1020160043308
申请日：2016-04-08
申请人： 인하대학교 산학협력단
IPC分类号： G02B26/12
CPC分类号： G02B26/125 , G02B26/129
摘要： 본발명에따른폴리곤미러를이용한광 주사장치는레이져빔을방사하는광원; 상기광원으로부터방사된레이져빔의경로에회전가능하게설치되어상기방사된레이져빔을반사하는제1폴리곤미러; 및상기제1폴리곤미러로부터반사되는레이져빔의경로에배치되고상기제1 폴리곤미러의회전축과직교하는방향으로회전축을구비하여, 상기반사된레이져빔을주사영역상에조사하는제2폴리곤미러를포함한다. 이러한본 발명에따른폴리곤미러를이용한광 주사장치에의하면, 입사된레이져빔을단면형상을수평및 수직으로방향으로확대함으로써레이져빔을대면적의대상물에고속으로주사가능하다. 더불어, 레이져빔을이용하여대상물을스캐닝(Scanning)할뿐만아니라대상물상에설계된패턴을노광또는패터닝(Patterning)하는것이가능하여, 광주사를목적으로하는다양한제품군에활용될수 있다.
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公开(公告)号：KR101772771B1
公开(公告)日：2017-08-30
申请号：KR1020150172315
申请日：2015-12-04
申请人： 인하대학교 산학협력단
摘要： 본발명은, 검사대상물을스캔하여상기검사대상물전체의형상을측정하는방법으로서, 상기검사대상물에서기준영역을설정하고, 상기기준영역에대하여라인스캔(line scan)을수행하여상기기준영역에대한기준데이터를결정하는단계; 상기검사대상물에대하여에이리어스캔(area scan)을수행하여영상데이터를추출하는단계; 및상기검사대상물의기준점에대한기준데이터를상기영상데이터에적용하여캘리브레이션하는단계; 를포함하는라인스캔과에어리어스캔을이용한형상측정방법을제공한다. 본발명은, 라인스캔방식과에이리어스캔방식을연결하여이전의기술보다빠른시간내에서로연결되어있는검사대상물의갭을측정할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020170065934A
公开(公告)日：2017-06-14
申请号：KR1020150172315
申请日：2015-12-04
申请人： 인하대학교 산학협력단
摘要： 본발명은, 검사대상물을스캔하여상기검사대상물전체의형상을측정하는방법으로서, 상기검사대상물에서기준영역을설정하고, 상기기준영역에대하여라인스캔(line scan)을수행하여상기기준영역에대한기준데이터를결정하는단계; 상기검사대상물에대하여에이리어스캔(area scan)을수행하여영상데이터를추출하는단계; 및상기검사대상물의기준점에대한기준데이터를상기영상데이터에적용하여캘리브레이션하는단계; 를포함하는라인스캔과에어리어스캔을이용한형상측정방법을제공한다. 본발명은, 라인스캔방식과에이리어스캔방식을연결하여이전의기술보다빠른시간내에서로연결되어있는검사대상물의갭을측정할수 있다.
摘要翻译： 提供了一种通过扫描待检查对象来测量待检查对象的形状的方法，该方法包括以下步骤：在要检查的对象中设置参考区域;在参考区域上执行线扫描; 确定参考数据; 通过对待检查对象进行区域扫描来提取图像数据; 并将检查对象的参考点的参考数据应用于图像数据并校准参考数据; 还有一种使用区域扫描的形状测量方法。 通过连接行扫描方法和阵列扫描方法，本发明可以在比现有技术更短的时间内测量彼此连接的待检查对象的间隙。
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公开(公告)号：KR101584900B1
公开(公告)日：2016-01-14
申请号：KR1020140082418
申请日：2014-07-02
申请人： 인하대학교 산학협력단
摘要： 본발명은, 감광재료가도포된기판표면에패턴을전사노광하는디지털마이크로미러(Digital Micro-mirror)시스템을포함하는전사노광헤드부, 기판에인접하게배치되어기판표면에형성된전사노광패턴의경계를검출하는경계추출부, 경계추출부에의하여검출된기판의전사노광패턴의경계에대응하여기판표면을조사노광하는갈바노스캐너(Galvano scanner)시스템을포함하는조사노광헤드부, 기판이안착고정되고, 기판을전사노광헤드부와조사노광헤드부의위치에대응하여이동시키는이송부및 상기경계추출부로입력된상기전사노광패턴의경계형상에대응하여전사노광헤드부에의해조사되는빔 형태를제어하고, 경계추출부에서제공된전사노광패턴의경계정보에대응하여조사노광헤드부의조사노광경로를설정하고, 전사노광헤드부와조사노광헤드부의위치에대응하여기판이이송되도록하여기판을연속가공되도록이송부를제어하는제어부를포함하는듀얼헤드노광시스템을제공한다. 따라서전사방식과조사방식의노광이결합된듀얼헤드시스템을통하여, 전체패턴의노광을수행한후 패턴경계부분에대해스팟(spot)이송노광을수행하여고정밀패턴을제작할수 있음은물론, 공정시간의단축과알고리즘의간소화를구현할수 있다.
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公开(公告)号：KR101974727B1
公开(公告)日：2019-05-02
申请号：KR1020170092059
申请日：2017-07-20
申请人： 인하대학교 산학협력단
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68 , H01L21/67
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公开(公告)号：KR101861166B1
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：KR1020160104303
申请日：2016-08-17
申请人： 인하대학교 산학협력단
摘要： 본발명은, 내측으로공간을제공하는일측으로는용액공급부가배치되는본체; 상기본체의내부에배치되고외부에서인가되는신호에의해길이가변화되는피에조소자; 중간부에는회전축이연결되어상기본체내측에배치되고, 상기피에조소자의길이변화에대응하여단부가왕복동작하는동작로드; 상기동작로드의일단에배치되어상기동작로드의동작에따라상기용액공급부를개폐하는태핏; 상기동작로드의타단으로배치되어상기동작로드에탄성력을인가하는변위조정스프링; 상기본체의일측을통해상기변위조정스프링의단부에연결되고회전조작에의해상기변위조정스프링의압축정도를조정하는조정부; 상기태핏의이동량을외부로표시하여나타내는표시부; 상기본체의내측으로공기를유입시켜상기피에조소자의동작중 발생되는열을냉각시키는냉각부; 를포함하는피에조펌프를제공한다. 본발명은, 피에조펌프내에배치되는동작로드의일측으로탄성조절이가능한스프링을배치하여피에조의변위를변경시킬수 있고, 피에조펌프의동작로드의변위를변경시키는스프링의교체가가능하며, 피에조펌프의동작로드의동작정도를측정하고이를사용자에게실시간으로알려줄수 있다.
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公开(公告)号：KR101828711B1
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：KR1020160135020
申请日：2016-10-18
申请人： 인하대학교 산학협력단
CPC分类号： G03F7/70116 , G03F7/70225 , G03F7/70233 , G03F7/70775 , G03F9/7084
摘要： 본발명은, X축과, 상기 X축에대하여직각이되는 Y축과, 상기 X축및 Y축에대하여직각이되는 Z축상에배치되어노광대상물에노광이미지를생성하기위한복수의 DMD를구비하는노광장치에있어서, 적어도하나이상의열과행으로정렬되어설계된노광이미지에대응하도록전자신호를송신받아온오프(On-off)하는복수의마이크로미러(Micro mirror)를구비하는제 1DMD(Digital Micro-mirror Device); 적어도하나이상의열과행으로정렬되어설계된노광이미지에대응하도록전자신호를송신받아온오프(On-off)하는복수의마이크로미러(Micro mirror)를구비하는제 2DMD(Digital Micro-mirror Device); 상기제 1 DMD로부터 Z축방향으로상기노광이미지를전달받아상기노광이미지를 Y축방향으로반사시키는제 1이동미러; 상기제 2 DMD로부터 X방향으로상기노광이미지를전달받아상기노광이미지를 -Z축방향으로반사시키는제 2이동미러; 및상기제 1이동미러및 상기제 2이동미러로부터상기노광이미지를각각전달받아, 노광대상물상에상기노광이미지를 Z축방향으로조사하는빔스플리터(Beam splitter)를포함하는복수의 DMD를구비하는노광장치를제공한다.
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