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公开(公告)号：KR1020140145262A
公开(公告)日：2014-12-23
申请号：KR1020130067314
申请日：2013-06-12
申请人： 주식회사 이엠테크
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/04 , H01L31/18
摘要： 기판의 박막층 상에 마련되어 상기 박막층을 선택적으로 제거하는 박막형 태양전지 제조용 선택적 박막 제거 장치가 제공된다. 상기 선택적 박막 제거 장치는, 박막층에 접촉하여 이동함으로써 일정한 폭으로 박막 제거 라인을 형성하는 것으로 그 선단면이 다각형 형상을 가지며 회전가능하게 마련되는 적어도 하나의 박막 제거 공구와, 상기 박막 제거 공구를 소정 각도로 회전시키는 구동 수단과, 상기 박막 제거 공구를 상하 이동시키며 상기 박막 제거 공구가 상기 박막층에 가하는 압력을 일정하게 하게 유지시키는 엑츄에이터;를 포함한다.
摘要翻译： 提供一种用于制造薄膜太阳能电池的选择性薄膜去除装置，其形成在基板的薄膜层上并选择性地去除薄膜层。 选择性薄膜去除装置包括至少一个薄膜去除工具，其通过与薄膜层接触移动而形成具有恒定宽度的薄膜去除线，具有多边形形状的前端，并且旋转地形成， 驱动单元，其以预定角度旋转薄膜去除工具;以及致动器，其通过垂直移动薄膜去除工具来恒定地保持从薄膜去除工具施加到薄膜层的压力。
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公开(公告)号：KR1020130076445A
公开(公告)日：2013-07-08
申请号：KR1020110145036
申请日：2011-12-28
申请人： 주식회사 이엠테크
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/042
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/18 , H01L31/042
摘要： PURPOSE: A brush apparatus for selectively removing a thin film on a substrate is provided to uniformize the process height of a thin film by using at least one guide roller. CONSTITUTION: Brush wires are formed on the outside of a rotary brush (110) A driving motor (120) rotates the rotary brush. A cylinder (130) moves the driving motor and the rotary brush up and down. At least one guide roller is formed on the processing line of a thin film (52). The guide roller uniformizes the process height of the thin film. [Reference numerals] (AA) Substrate moving direction; (BB) Processing line
摘要翻译： 目的：提供用于选择性地去除衬底上的薄膜的刷装置，以通过使用至少一个导向辊使薄膜的工艺高度均匀化。 构成：电刷线形成在旋转刷（110）的外侧。驱动马达（120）使旋转刷旋转。 气缸（130）使驱动电动机和旋转刷上下移动。 在薄膜（52）的处理线上形成至少一个导辊。 引导辊使薄膜的加工高度均匀化。 （标号）（AA）基板移动方向; （BB）加工线
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公开(公告)号：KR1020130076441A
公开(公告)日：2013-07-08
申请号：KR1020110145032
申请日：2011-12-28
申请人： 주식회사 이엠테크
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/042 , B26D3/06
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/18 , B26D3/06 , H01L31/042
摘要： PURPOSE: A needle scribing apparatus for fabricating a thin film solar cell is provided to improve the accuracy of a groove line by using an actuator for controlling the movement of a needle. CONSTITUTION: A needle (220) forms a groove line. The needle is in contact with a thin film layer. The needle and the thin film layer move together. A voice coil motor (VCM) actuator (210) moves the needle up and down. The needle applies constant pressure to the thin film layer. The pressure depends on preset input data.
摘要翻译： 目的：提供一种用于制造薄膜太阳能电池的针划线装置，通过使用用于控制针的移动的致动器来提高凹槽线的精度。 构成：针（220）形成凹槽线。 针与薄膜层接触。 针和薄膜层一起移动。 音圈电机（VCM）致动器（210）上下移动针。 针对薄膜层施加恒定的压力。 压力取决于预设的输入数据。
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公开(公告)号：KR1020140145261A
公开(公告)日：2014-12-23
申请号：KR1020130067313
申请日：2013-06-12
申请人： 주식회사 이엠테크
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/04 , H01L31/18
摘要： 박막형 태양전지 기판의 박막층 상에 형성된 제1 패터닝 라인을 따라 제2 및 제3 패터닝 라인을 형성하는 방법이 개시된다. 개시된 방법은, 상기 제1 패터닝 라인 상에 복수개의 영상 인식점들을 설정하는 단계와, 상기 영상 인식점들의 위치값을 사용하여 상기 제1 패터닝 라인의 영상을 취득하는 단계와, 상기 영상이 취득된 제1 패터닝 라인에 평행하게 상기 제2 및 제3 패터닝 라인을 형성하는 단계를 포함한다.
摘要翻译： 公开了沿着形成在薄膜太阳能电池基板的薄膜层上的第一图案线形成第二图案线和第三图案线的方法。 所公开的方法包括以下步骤：在第一图案线上设置多个图像识别点; 使用图像识别点的位置值获得第一图案线的图像; 以及与获得图像的第一图案线平行地形成第二图案线和第三图案线。
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公开(公告)号：KR1020140145260A
公开(公告)日：2014-12-23
申请号：KR1020130067312
申请日：2013-06-12
申请人： 주식회사 이엠테크
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/04 , H01L31/18
摘要： 기판의 박막층 상에 마련되어 상기 박막층을 선택적으로 제거하는 박막형 태양전지 제조용 선택적 박막 제거 장치가 제공된다. 상기 선택적 박막 제거 장치는, 박막층에 접촉하여 이동함으로써 일정한 폭으로 박막 제거 라인을 형성하는 것으로 그 선단면이 다각형 형상을 가지며 회전가능하게 마련되는 적어도 하나의 박막 제거 공구와, 상기 박막 제거 공구를 상하 이동시키며 상기 박막 제거 공구가 상기 박막층에 가하는 압력을 일정하게 하게 유지시키는 엑츄에이터;를 포함한다.
摘要翻译： 提供一种用于制造薄膜太阳能电池的选择性薄膜去除装置，其形成在基板的薄膜层上并选择性地去除薄膜层。 选择性薄膜去除装置包括至少一个通过与薄膜层接触移动而形成具有恒定宽度的薄膜去除线的薄膜去除工具，其具有多边形形状的前端并被旋转地形成， 致动器，其通过垂直移动薄膜去除工具来不断地保持从薄膜去除工具施加到薄膜层的压力。
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公开(公告)号：KR101309804B1
公开(公告)日：2013-09-23
申请号：KR1020110145036
申请日：2011-12-28
申请人： 주식회사 이엠테크
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/042
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： 기판 상에 형성된 박막층의 일부를 선택적으로 제거하는 브러쉬 장치를 개시된다. 개시된 브러쉬 장치는, 브러쉬 모가 외곽에 장착된 회전 브러쉬와, 상기 회전 브러쉬를 구동하는 구동 모터와, 상기 구동 모터 및 회전 브러쉬를 상하로 이동시키는 실린더와, 상기 박막층의 가공 라인 상에 마련되는 것으로 상기 박막층의 가공 높이를 균일하게 하는 적어도 하나의 가이드 롤러(guide roller);를 포함한다.
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