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公开(公告)号：KR1020170050624A
公开(公告)日：2017-05-11
申请号：KR1020150152399
申请日：2015-10-30
申请人： 최대규
发明人： 최대규
摘要： 본발명은배기가스정화시스템에관한것이다. 본발명에의한배기가스정화시스템은반도체및 디스플레이공정을수행하는공정챔버와, 상기공정챔버후단에위치하며상기공정챔버의공정후 형성되는공정부산물가스를배기시키는펌프를포함한다. 또한, 상기펌프앞단에위치하고플라즈마가형성되어상기공정부산물의분해반응이일으키는배기용플라즈마리액터는가스입구및 가스출구, 상기가스출구상부에위치하며상기가스출구와연결되는다수의플라즈마방전관이포함된제2 바디, 상기다수의플라즈마방전관을둘러싸는마그네틱코어를포함한클램핑부및 상기클램핑부상부에위치하며가스입구가체결되는제1 바디를포함한다. 본발명의배기가스정화시스템에의하면, 배기용플라즈마리액터를포함하는배기가스정화시스템은공정챔버에서처리된가스를높은분해효율을갖도록플라즈마로처리하는동시에펌프후단에스크러버를배치하여배기용플라즈마리액터의고장시에도공정챔버의공정또는클리닝을실시하고유해가스를분해하여배출할수 있는배기가스정화시스템을제공한다.
摘要翻译： 废气净化系统技术领域本发明涉及废气净化系统。 根据本发明的排气净化系统包括用于将处理腔室以执行半导体的过程的泵，位于处理腔室的下游，并且排出处理室的步骤之后形成的工艺气体副产物。 另外，位于所述泵的前端形成的等离子体中的等离子体反应器排气副产物的过程，原因是位于所述气体入口和气体出口的上方的分解反应，所述气体出口包括连接到所述气体出口的多个等离子体放电管的 第二主体，位于所述夹紧部分和所述夹持部分是包括围绕所述多个等离子体放电管的磁芯的部分，并包括第一主体，其被输入到气体入口。 根据本发明的排气净化系统中，在同一时间处理在处理腔室中处理气体成等离子体的排气净化系统具有放置在洗涤器的下游泵反应器废气包括用于排气的反应器的高的分解效率 uigo进行清洗处理或在赣处理室，并提供一种废气净化系统，该系统可以放电来分解有害气体。
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公开(公告)号：KR1020170050525A
公开(公告)日：2017-05-11
申请号：KR1020150152168
申请日：2015-10-30
申请人： 최대규
发明人： 최대규
摘要： 본발명은유도가열방식을이용한소형스팀클리너에관한것이다. 본발명의유도가열방식을이용한소형스팀클리너는다수의스팀이동관을갖는스팀챔버내의세정액을가열하여스팀을생성하는스팀생성부; 상기스팀생성부에권선되어내부에포함된세정액을유도가열하기위한유도가열코일; 상기유도가열코일에전압을인가하기위한전원공급원; 및상기스팀공급부로부터공급된스팀을피처리기판에분사하기위한분사유닛을포함한다. 본발명의유도가열방식을이용한소형스팀클리너는유도가열방식으로소형의스팀클리너를구현할수 있다. 또한소형의스팀클리너는짧은시간내에스팀을형성할수 있고온도제어가용이하다. 또한스팀클리너내에세라믹관을삽입함으로써오염되지않은스팀을공급할수 있다. 또한세라믹관이오염되어교체가필요한경우, 세라믹관을용이하게교체할수 있어유지보수가용이하다.
摘要翻译： 本发明涉及使用感应加热系统的小型蒸汽清洁器。 使用本发明的感应加热系统的小型蒸汽清洁机包括：蒸汽发生器，用于通过在具有多个蒸汽运动管的蒸汽室中加热清洁液来产生蒸汽; 感应加热线圈缠绕在蒸汽发生器上，用于感应加热其中所含的清洁液体; 一种用于向感应加热线圈施加电压的电源; 以及喷射单元，用于将从蒸汽供应单元供应的蒸汽喷射到待处理的基板上。 使用本发明的感应加热方法的小型蒸汽清洁机能够通过感应加热方式实现小型的蒸汽清洁机。 小型蒸汽清洁器可在短时间内形成蒸汽，温度控制容易。 也可以通过将陶瓷管插入蒸汽清洁器来供应未受污染的蒸汽。 另外，当陶瓷管变脏并需要更换时，陶瓷管可以很容易地更换，这使得维护变得容易。
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公开(公告)号：KR1020170035141A
公开(公告)日：2017-03-30
申请号：KR1020150133862
申请日：2015-09-22
申请人： 최대규
发明人： 최대규
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 본발명의냉각구조를개선한플라즈마반응기는토로이달형의플라즈마채널이형성되는플라즈마방전실, 상기플라즈마반응기내부에위치하며상기플라즈마채널의형상을따라열을흡수하도록형성된냉각채널에연결된냉각유체를담는냉각유체탱크와상기냉각채널에냉각유체를유입시키는냉각유체공급원으로구성된다. 본발명의프로세스쿨링라인을구비한플라즈마반응기에의하면, 반응기냉각효율의증가, 반응기내부코팅막손상방지, 반응기내부에형성되는파티클의원인을제거할수 있어반응기가과열되어내부전력손실이증가되고, 장시간플라즈마처리시플라즈마가꺼지는경우를방지할수 있어보다안정적인플라즈마프로세스를진행할수 있다.
摘要翻译： 的等离子体反应器，以提高对本发明，其保持连接到形成位于所述环形等离子体等离子体通道内的冷却通道的冷却流体的冷却结构形成在yidalhyeong的放电室，所述等离子体反应器并吸收热量等离子体通道的所述图像中 冷却液箱和用于将冷却液引入冷却通道的冷却液供应源。 根据具有处理本发明的冷却线的等离子体反应器，将反应器冷却效率的提高，将反应器内部的涂层，以防止损坏，它可以消除形成在反应器和内部功率损耗的颗粒的原因提高了反应器被加热时，在长时间周期 可以防止在等离子体处理过程中等离子体被关闭，从而实现更稳定的等离子体处理。
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公开(公告)号：KR1020170035139A
公开(公告)日：2017-03-30
申请号：KR1020150133856
申请日：2015-09-22
申请人： 최대규
发明人： 최대규
摘要： 본발명은차폐구조의점화전극에관한것이다. 본발명의차폐구조의점화전극은플라즈마챔버의개구된영역에설치되는절연플레이트; 상기절연플레이트의상부에설치되어상기플라즈마챔버의플라즈마방전채널로기전력을전달하기위한점화전극; 상기절연플레이트와상기플라즈마챔버사이에구비되는제1 실링부재; 및상기플라즈마챔버와상기점화전극사이에구비되는제2 실링부재를포함하여점화전극이플라즈마챔버로부터차폐된다. 본발명의차폐구조의점화전극을이용하면, 점화전극이완전하게차폐됨으로써역류되는플라즈마에의해점화전극이오염되어파티클이발생되는것을방지할수 있다. 또한점화전극이이중실링구조를통해완전하게차폐되어플라즈마챔버내부의진공유지가가능하도록한다. 또한사파이어를이용하여절연플레이트를형성함으로써고온의플라즈마에의해절연플레이트가손상되는것을방지한다. 또한점화실패및 파티클이발생되는것을방지할수 있다.
摘要翻译： 屏蔽结构的点火电极技术领域本发明涉及屏蔽结构的点火电极。 本发明的屏蔽结构的点火电极包括安装在等离子体室的开放区域中的绝缘板; 点火电极，设置在绝缘板上以将电动势传递到等离子体室的等离子体放电通道; 设置在绝缘板和等离子体室之间的第一密封构件; 并且在等离子体室和点火电极之间提供第二密封构件，使得点火电极与等离子体室屏蔽。 通过使用本发明的屏蔽结构的点火电极，点火电极被完全屏蔽，从而防止点火电极被等离子体向后流动所污染，并且可以防止颗粒的产生。 另外，点火电极通过双重密封结构被完全屏蔽，从而能够在等离子体室内进行真空维护。 此外，绝缘板使用蓝宝石形成，由此防止绝缘板被高温等离子体损坏。 另外，可以防止点火失败和颗粒产生。
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公开(公告)号：KR1020170002169A
公开(公告)日：2017-01-06
申请号：KR1020150092256
申请日：2015-06-29
申请人： 최대규
发明人： 최대규
IPC分类号： G06F21/36 , G06F21/31 , G06F3/0488 , G06F3/041
摘要： 본발명의사용자인증패턴을이용한사용자인증시스템및 사용자인증패턴정의방법은오브젝트의터치가입력되는터치패널, 터치패널로부터입력된사용자인증패턴정보가저장되는메모리, 사용자가터치패널내에서특정포인트경유에대한제약없이사용자인증패턴정보를정의하고, 해당패턴이입력되면사용자인증을처리하는사용자인증처리기를포함한다. 본발명의사용자인증패턴을이용한사용자인증시스템및 사용자인증패턴정의방법은사용자가직접자유패턴을입력하여설정할수 있어, 특정영역을경유하지않아도되므로제약사항없이패턴을입력하고, 이를사용자인증패턴으로설정할수 있다. 또한보다다양한인증패턴을형성할수 있으므로보안성은강화되고, 패턴의입력만으로사용자인증이가능하여그 편리성은유지할수 있는사용자인증시스템을제공할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020170002165A
公开(公告)日：2017-01-06
申请号：KR1020150092244
申请日：2015-06-29
申请人： 최대규
发明人： 최대규
IPC分类号： G06F3/0488 , G06F3/01
摘要： 오브젝트의터치제스처가입력되는터치패널, 터치패널로부터입력된터치제스처에대한실행기능정보를저장하는메모리, 오브젝트의터치제스처에의해실행되는기능을정의하고, 해당제스처가입력되면정의된기능을실행하는호스트를포함한다. 본발명의사용자정의제스처설정방법및 이를이용한제스처설정방법은터치디바이스의사용자가직접제스처와이에대응되는실행기능을설정하여보다편리하고다양한기능을가질수 있다. 그리고 set maker에의해미리정해진터치제스처에따른기능을실행하는것이아닌, 사용자가직접원하는기능을원하는제스처에의해실행할수 있어, 보다다양한패턴, 제스처및 기능을실행할수 있다. 또한매크로제스처를설정할수 있어, 디바이스의다양한기능을보다간편한동작에의해실행할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020160149708A
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：KR1020150087226
申请日：2015-06-19
申请人： 최대규
发明人： 최대규
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/677 , H05H1/46
摘要： 본발명은버퍼챔버를이용한건식및 습식처리시스템및 이를이용한기판처리방법에관한것이다. 본발명의버퍼챔버를이용한건식및 습식처리시스템은기판이대기하는제1, 2 전방단부모듈; 상기제1 전방단부모듈에연결되어기판을이송하는제1 대기압기판이송로봇을갖는제1 대기압기판반송모듈; 상기제1 기판반송모듈과연결되고, 제1 기판이송로봇을통해기판을전달받아건식처리하기위한하나이상의건식처리모듈; 상기제2 전방단부모듈에연결되어기판을이송하는제2 대기압기판이송로봇을갖는제2 대기압기판반송모듈; 상기제2 기판반송모듈과연결되고, 제2 기판이송로봇을통해기판을전달받아습식처리하기위한하나이상의습식처리모듈; 및상기제1, 2 대기압기판반송모듈사이에구비되어상기건식처리모듈또는상기습식처리모듈로이송되는기판이적재되는버퍼챔버를포함한다.본발명의버퍼챔버를이용한건식및 습식처리시스템및 이를이용한기판처리방법에의하면, 기판의건식처리공정을위한건식처리모듈과습식처리공정을위한습식처리모듈을버퍼챔버를이용하여연결함으로써기판이외부로노출되어이동되지않고처리될수 있어기판의오염을방지할수 있다. 또한각각의처리공정을수행하는복수의처리모듈을버퍼챔버를이용하여연결하여하나의처리시스템으로사용할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020160129656A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：KR1020150078965
申请日：2015-06-04
申请人： 최대규
发明人： 최대규
摘要： 본발명의멀티프린팅헤드를갖는고속와이어프린팅장치및 프린팅방법은기판부재가놓이는스테이지, 개별적이동이가능한복수개의멀티프린팅헤드유닛과멀티프린팅헤드유닛이연결된멀티프린팅헤드몸체를포함하며, 스테이지상에서기판부재에둘 이상의와이어를기판부재의일면에부착시키도록동작하는멀티프린팅헤드, 멀티프린팅헤드를이동시키는이동수단및 이동수단에의해멀티프린팅헤드를이동시켜와이어를부착해센싱라인을형성하도록제어하는제어부를포함한다. 본발명의멀티프린팅헤드를갖는고속와이어프린팅장치및 프린팅방법은복수개의와이어를병렬로프린팅함으로써종래의한 개의팁을사용해와이어를프린팅하는방식에비해고속으로프린팅공정을진행할수 있으므로보다향상된생산성을확보할수 있다. 또한복수개의와이어를일정간격을갖도록병렬로프린팅함으로써한 개의팁이이동하며프린팅하는방식에비해안정되고정밀하게패턴을재현할수 있으므로보다향상된품질을갖는멀티프린팅헤드를갖는고속와이어프린팅장치및 프린팅방법을제공할수 있다. 또한수평및 수직방향모두이동할수 있는복수개의멀티프린팅헤드유닛을통해다양한패턴을형성할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020160129654A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：KR1020150078961
申请日：2015-06-04
申请人： 최대규
发明人： 최대규
摘要： 본발명의고속와이어프린팅장치및 프린팅방법은기판부재가놓이는스테이지, 스테이지상에서제1 방향으로이동하며둘 이상의와이어를기판부재의일면에부착시키도록동작하는와이어프린팅헤드, 와이어프린팅헤드를제2 방향으로이동시키며, 와이어프린팅헤드를통해둘 이상의와이어를기판부재의일면에부착시키도록동작하는이동수단, 와이어가와이어프린팅헤드를통해이동되는과정에서끊어지지않도록장력을조절하는텐션조절기, 와이어를커팅하기위해상기와이어를정렬하여고정시키기위한클램핑부, 와이어를커팅하기위한커팅부및 이동수단에의해와이어프린팅헤드를이동시켜와이어를부착해센싱라인을형성하고, 클램핑부및 커팅부를통해센싱라인의종단을커팅하도록제어하는제어부를포함한다. 본발명의고속와이어프린팅장치및 프린팅방법은복수개의와이어를병렬로프린팅함으로써종래의한 개의팁을사용해와이어를프린팅하는방식에비해고속으로프린팅공정을진행할수 있으므로보다향상된생산성을확보할수 있다. 또한복수개의와이어를일정간격을갖도록병렬로프린팅함으로써한 개의팁이이동하며프린팅하는방식에비해안정되고정밀하게패턴을재현할수 있으므로보다향상된품질을갖는고속와이어프린팅장치및 프린팅방법을제공할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020160129489A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：KR1020150061713
申请日：2015-04-30
申请人： 최대규
发明人： 최대규
IPC分类号： H01L31/0236 , H01L31/18 , H01L31/0216 , H01L31/0392
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： 본발명은, 태양전지용탄소섬유상의실리콘층및 그제조방법으로탄소섬유를준비하는단계; 상기탄소섬유를전처리하는단계; 상기탄소섬유상에실리콘파우더젯으로실리콘파우더를분사하는단계; 상기실리콘파우더에레이저빔을조사하는단계; 상기실리콘파우더에레이저빔을조사한다음상기탄소섬유를냉각챔버에서냉각하는단계를특징으로한다.
摘要翻译： 本发明提供一种制造太阳能电池的方法，包括以下步骤：在用于太阳能电池的碳纤维层上制备碳纤维; 预处理碳纤维; 用有机硅粉末喷射器将有机硅粉末喷射到碳纤维上; 用激光束照射硅粉; 用激光束照射硅粉，并在冷却室中冷却碳纤维。
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