公开(公告)号：KR101393470B1

公开(公告)日：2014-05-13

申请号：KR1020117003597

申请日：2009-08-31

申请人： 쿠리타 고교 가부시키가이샤

发明人： 우치다미노루 ,  마루야마츠요시

IPC分类号： F24H1/10 ,  H05B3/10

CPC分类号： H05B3/10 ,  F24H1/101 ,  F24H1/121 ,  F24H1/162 ,  F24H9/0015 ,  F24H2250/14

摘要： 과황산 용액 등의 유체를 단시간에 고온으로 가열할 수 있는 유체 가열기를 제공한다. 액체를 통액하는 유로 두께 10㎜ 이하의 유로(4)를 형성하는, 근적외선을 투과하는 재료로 이루어지는 유로 부재와, 상기 유로의 서로 대향하는 유로면의 적어도 한쪽 외측에 배치되어 상기 유로 내의 상기 액체를 가열하는 근적외선 히터(7, 8)를 구비한다. 근적외선에 의해 상기 유로를 통액하는 액체가 순시 또한 균일하게 가열된다. 유로(4)의 내부에는 유로의 용량을 제한하는 스페이서(6)를 더 구비하는 것이 바람직하다. 가열기 내의 유로 용적을 작게 함과 아울러 가열기 내의 유속을 크게 함으로써 가열기 내의 체류 시간을 단축하는 한편, 전열면적을 최대한 크게 유지할 수 있고, 전열면 온도의 설정 온도가 낮아도 피가열 액체를 극히 단시간에 고온으로 승온할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020130064755A

公开(公告)日：2013-06-18

申请号：KR1020127032747

申请日：2011-05-26

申请人： 쿠리타 고교 가부시키가이샤

发明人： 우치다미노루 ,  나가이타츠오

IPC分类号： H01L21/302

CPC分类号： H01L21/02076 ,  C25B1/285 ,  C25B9/08 ,  F24H1/121 ,  G03F7/423 ,  H01L21/31133 ,  H01L21/67017

摘要： 세정 장치 배액에서의 레지스트 등의 분해를 도모하는 배액 저류부이고, 세정을 정지하고 있을 때에도 상기 분해를 효과적으로 행하는 것을 가능하게 한다.
황산 용액을 전해해서 과황산을 생성하는 전해부와, 전해된 황산 용액을 저류하는 전해액 저류부와, 전해부와 전해액 저류부 사이에서 황산 용액을 순환시키는 제 1 순환 라인과, 과황산을 포함하는 상기 황산 용액을 이용하여 피세정재를 세정하는 세정 장치와, 세정 장치에서 사용되는 황산 용액을 가열하는 가열부와, 세정 장치에서 사용된 황산 용액을 저류하는 배액 저류부와, 전해부에서 전해된 황산 용액을 상기 가열부를 통해서 상기 세정 장치에 송액하고 상기 세정 장치에서 세정에 사용한 황산 용액을 상기 배액 저류부를 통해서 환류시키는 제 2 순환 라인과, 상기 전해부에서 전해된 황산 용액을 세정부를 통하지 않고 상기 배액 저류부에 송액하고 환류시키는 제 3 순환 라인을 구비한다.

摘要翻译： 这是用于分解清洁设备的排水中的抗蚀剂等的排水槽，并且即使当清洁停止时也可以有效地执行分解。

公开(公告)号：KR1020100113501A

公开(公告)日：2010-10-21

申请号：KR1020107014710

申请日：2008-12-26

申请人： 쿠리타 고교 가부시키가이샤

发明人： 우치다미노루 ,  나가이타쯔오 ,  카나모리슌이찌

IPC分类号： C25B1/30 ,  C25B11/12 ,  H01L21/304

CPC分类号： C25B1/285 ,  G03F7/423

摘要： 전극의 손모를 최대한 방지하고 효율 좋게 황산 용액 등의 전해를 행하는 것을 가능하게 한다. 양극과 음극을 적어도 1쌍의 전극으로서 구비하는 전해 셀에 전해액을 통액하고, 상기 전극에 통전함으로써 전해액을 전해하는 전해 방법에 있어서, 상기 전해액의 점도를 상기 통전시의 전류 밀도에 따른 범위로 해서 상기 전해를 행한다. 전류 밀도 50A/d㎡이하의 경우에 전해액으로서의 황산 용액의 점도를 10cP 이하, 전류 밀도 50A/d㎡초과~75A/d㎡의 경우에 황산 용액의 점도를 8cP 이하, 전류 밀도 75A/d㎡초과~100A/d㎡의 경우에 황산 용액의 점도를 6cP 이하로 한다. 특히 다이아몬드 전극에 의해 고농도 황산 용액을 고전류 밀도로 전해할 경우에 전극 손모를 저감하면서 고효율로 전해 처리할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020130130807A

公开(公告)日：2013-12-02

申请号：KR1020137020651

申请日：2012-02-24

申请人： 쿠리타 고교 가부시키가이샤

发明人： 우치다미노루

IPC分类号： F24H1/10 ,  F24H9/20

CPC分类号： F24H1/121 ,  B08B2203/007 ,  F24H9/2028 ,  H01L21/67017

摘要： A liquid heating method and apparatus including a heat device 7 having a flow passage member forming a tubular flow passage for passing a sulfuric acid solution, a heater arranged on an outside of at least one of opposing flow passage surfaces of the tubular flow passage, a liquid draining line 10, an atmosphere opening line 12, valves 11 and 13, a liquid draining mechanism for draining the sulfuric acid solution heated at least in a heat receiving area between the opposing liquid flow passage surfaces of the tubular flow passage, a flow meter 6 for measuring a flow rate of the sulfuric acid solution, and a control unit 14 responsive to the flow meter 6 for determining a defective liquid flow in the tubular flow passage and for draining the sulfuric acid solution using the liquid draining mechanism.

公开(公告)号：KR101331458B1

公开(公告)日：2013-11-26

申请号：KR1020107024802

申请日：2009-03-11

申请人： 쿠리타 고교 가부시키가이샤

发明人： 우치다미노루 ,  나가이타츠오 ,  야마카와하루요시

IPC分类号： C25B1/30 ,  H01L21/027 ,  H01L21/302

CPC分类号： C25B1/285 ,  C25B15/08

摘要： 기능성 용액으로서 황산 전해액을 효율적으로 생성하고, 또한 전해에 의해 생성된 과황산을 자기분해를 억제해서 효율적으로 사용측에 공급한다.
황산 용액을 전해함으로써 기능성 용액을 제조해서 사용측에 공급하는 기능성 용액 공급 시스템에 있어서, 상기 시스템이 황산 용액을 저류하는 저류조(2)와, 황산 용액을 전해하는 전해장치(전해 셀(3))와, 황산 용액을 가온하는 가온수단(가열기(4))과, 황산 용액을 냉각하는 냉각수단(냉각기(4))과, 저류조(2)부터 배출된 황산 용액을 가온수단을 통하지 않고 전해장치를 통해서 상기 저류조(2)로 리턴시키는 제 1 순환 라인(11)과, 사용측(세정기(1))으로부터 도입된 황산 용액을 가온수단을 통하지 않고 냉각수단 및 상기 저류조(2)를 이 순서로 통하여 사용측에 리턴시키는 제 2 순환 라인(12)과, 상기 사용측으로부터 도입된 황산 용액을 냉각수단 및 상기 저류조(2)를 통하지 않고 가온수단(가열기(4))을 통해서 상기 사용측에 리턴시키는 제 3 순환 라인(13)을 � ��비한다.

公开(公告)号：KR101323193B1

公开(公告)日：2013-10-30

申请号：KR1020117024202

申请日：2010-03-16

申请人： 쿠리타 고교 가부시키가이샤

发明人： 야마카와하루요시 ,  우치다미노루 ,  오츠토루

IPC分类号： C25B1/28 ,  C25B15/02 ,  C25B9/00 ,  C25B9/08

CPC分类号： H01L21/02041 ,  C25B1/22 ,  C25B1/28 ,  C25B9/00 ,  H01L21/67017

摘要： 황산 농도 75∼96질량%의 황산 용액을 전해해서 과황산을 생성하는 전해부 (전해 장치(1))와, 전해된 황산 용액을 기액 분리하는 기액 분리부(기액 분리조(10))와, 상기 기액 분리부에서 기액 분리된 황산 용액의 일부를 상기 전해부와 사이에서 순환시키는 순환 라인(11)과, 상기 기액 분리부에서 기액 분리된 황산 용액의 일부를 사용측(매엽식 세정 장치(100))에 공급하는 공급 라인(20)과, 공급 라인(20)에 개설되어서 황산 용액을 120∼190℃로 가열하는 가열부(22)를 구비하고, 황산 용액이 가열부의 입구에 도입되어서 사용측에서 사용에 이르기까지의 통액 시간이 1분 미만이 되도록 설정한다.

公开(公告)号：KR101186835B1

公开(公告)日：2012-09-28

申请号：KR1020107014710

申请日：2008-12-26

申请人： 쿠리타 고교 가부시키가이샤

发明人： 우치다미노루 ,  나가이타쯔오 ,  카나모리슌이찌

IPC分类号： C25B1/30 ,  C25B11/12 ,  H01L21/304

CPC分类号： C25B1/285 ,  G03F7/423

摘要： 전극의 손모를 최대한 방지하고 효율 좋게 황산 용액 등의 전해를 행하는 것을 가능하게 한다. 양극과 음극을 적어도 1쌍의 전극으로서 구비하는 전해 셀에 전해액을 통액하고, 상기 전극에 통전함으로써 전해액을 전해하는 전해 방법에 있어서, 상기 전해액의 점도를 상기 통전시의 전류 밀도에 따른 범위로 해서 상기 전해를 행한다. 전류 밀도 50A/d㎡이하의 경우에 전해액으로서의 황산 용액의 점도를 10cP 이하, 전류 밀도 50A/d㎡초과~75A/d㎡의 경우에 황산 용액의 점도를 8cP 이하, 전류 밀도 75A/d㎡초과~100A/d㎡의 경우에 황산 용액의 점도를 6cP 이하로 한다. 특히 다이아몬드 전극에 의해 고농도 황산 용액을 고전류 밀도로 전해할 경우에 전극 손모를 저감하면서 고효율로 전해 처리할 수 있다.

公开(公告)号：KR101676693B1

公开(公告)日：2016-11-16

申请号：KR1020127032747

申请日：2011-05-26

申请人： 쿠리타 고교 가부시키가이샤

发明人： 우치다미노루 ,  나가이타츠오

IPC分类号： H01L21/302

CPC分类号： H01L21/02076 ,  C25B1/285 ,  C25B9/08 ,  F24H1/121 ,  G03F7/423 ,  H01L21/31133 ,  H01L21/67017

摘要： 세정장치배액에서의레지스트등의분해를도모하는배액저류부이고, 세정을정지하고있을때에도상기분해를효과적으로행하는것을가능하게한다.황산용액을전해해서과황산을생성하는전해부와, 전해된황산용액을저류하는전해액저류부와, 전해부와전해액저류부사이에서황산용액을순환시키는제 1 순환라인과, 과황산을포함하는상기황산용액을이용하여피세정재를세정하는세정장치와, 세정장치에서사용되는황산용액을가열하는가열부와, 세정장치에서사용된황산용액을저류하는배액저류부와, 전해부에서전해된황산용액을상기가열부를통해서상기세정장치에송액하고상기세정장치에서세정에사용한황산용액을상기배액저류부를통해서환류시키는제 2 순환라인과, 상기전해부에서전해된황산용액을세정장치를통하지않고상기배액저류부에송액하고환류시키는제 3 순환라인을구비한다.

公开(公告)号：KR101487270B1

公开(公告)日：2015-01-28

申请号：KR1020137020651

申请日：2012-02-24

申请人： 쿠리타 고교 가부시키가이샤

发明人： 우치다미노루

IPC分类号： F24H1/10 ,  F24H9/20

CPC分类号： F24H1/121 ,  B08B2203/007 ,  F24H9/2028 ,  H01L21/67017

摘要： 가열용 액체 유로에서 통액 불량이 발생했을 경우에 액체의 비등을 방지하여 과열 증기의 발생을 회피할 수 있는 액체 가열방법, 액체 가열장치, 가열 액체 공급장치를 제공한다.
황산 용액이 통액되는 통 형상 유로를 형성하는 유로 부재와, 통 형상 유로의 대향하는 액체 유로면의 적어도 한쪽의 외측에 배치된 히터를 갖는 가열기(7)와, 적어도 통 형상 유로의 대향하는 액체 유로면 사이의 수열 영역에서 가열되는 황산 용액을 통 형상 유로 밖으로 방출하는 액 방출 기구를 구성하는 액 방출용 라인(10), 대기 개방용 라인(12) 및 밸브(11, 13)와, 통 형상 유로에 공급되는 황산 용액의 단위시간당 유량을 측정하는 유량계(6)와, 유량계(6)에 의한 측정 결과를 받고, 그 측정 결과에 의거하여 통 형상 유로에 있어서의 통액 불량을 판정하고, 통액 불량에 따라서 액 방출 기구에 의해 황산 용액의 방출을 실행하는 제어를 행하는 제어부(14)를 갖고 있다.

公开(公告)号：KR1020140097983A

公开(公告)日：2014-08-07

申请号：KR1020140007115

申请日：2014-01-21

申请人： 쿠리타 고교 가부시키가이샤

发明人： 우치다미노루

IPC分类号： C02F1/58

CPC分类号： C02F1/10 ,  C02F1/20 ,  C02F1/66 ,  C02F2101/10 ,  C02F2209/02 ,  C02F2209/40 ,  C02F2301/043

摘要： Water containing hydrogen peroxide and ammonia is safely and energy-efficiently treated. A method for treating the water containing hydrogen peroxide and ammonia comprises: a diffusion process for introducing the water containing hydrogen peroxide and ammonia into a diffusion tower and blowing gas into the diffusion tower (1) to perform diffusion-treatment; a catalytic oxidation process for catalytic oxidation-treating diffusion gas from the diffusion tower in a catalytic reactor (16); and a gas circulation process for circulating a portion of gas to be treated in the catalytic oxidation process through the diffusion tower and blowing the gas together with air. While the temperature of the diffusion tower (1) is maintained at 45 to 70°C, circulation gas flow of the treated gas is maintained at 15 to 60 times the amount of gas blown into the diffusion tower.

摘要翻译： 含有过氧化氢和氨的水是安全和能量有效地处理的。 一种处理含有过氧化氢和氨的水的方法包括：将含有过氧化氢和氨的水引入扩散塔并将气体吹入扩散塔（1）进行扩散处理的扩散方法; 用于在催化反应器（16）中从扩散塔催化氧化处理扩散气体的催化氧化方法; 以及气体循环过程，用于在催化氧化过程中将待处理气体的一部分循环通过扩散塔并与空气一起吹送气体。 当扩散塔（1）的温度保持在45〜70℃时，处理气体的循环气体流量保持在吹入扩散塔的气体量的15〜60倍。