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公开(公告)号：KR20180040096A
公开(公告)日：2018-04-19
申请号：KR20170129216
申请日：2017-10-10
Inventor： KANG CHAN MO , DO LEE MI , BAEK KYU HA
IPC: H01L21/324 , H01L21/02 , H01L21/477
Abstract: 광소결을이용한폴리실라잔막 소결방법및 그방법으로생성된실리콘막이개시된다. 광소결을이용한폴리실라잔막(polysilazane film) 소결방법은, 기판위에폴리실라잔(polysilazane) 용액을코팅하여폴리실라잔막을형성시키는단계(S100), 폴리실라잔막이형성된상기기판을물에넣는단계(S110) 및물에잠긴상기폴리실라잔막에제논램프(xenon lamp)를조사하여폴리실라잔막을소결시키는단계(S120)를포함할수 있다. 따라서, 폴리실라잔막을물속에서광소결시킴으로써물이촉매로작용하여소결속도를향상시키고물의높은열전도도로열에의한기판변형을최소화할수 있다.
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