公开(公告)号：KR20180068367A

公开(公告)日：2018-06-22

申请号：KR20160169604

申请日：2016-12-13

申请人： SAMSUNG DISPLAY CO LTD

发明人： SON JIN SEOK ,  KIM MYUNG KYU ,  CHUNG KYUNG HOON

IPC分类号： H01L51/56 ,  B08B5/02 ,  B08B5/04 ,  B08B7/00 ,  C23C14/04 ,  H01L21/02 ,  H01L21/268 ,  H01L51/00

CPC分类号： B08B3/02 ,  B08B3/08 ,  B08B5/02 ,  B08B5/04 ,  B08B7/00 ,  B08B7/04 ,  C23C14/04 ,  H01L21/02 ,  H01L21/268 ,  H01L51/00 ,  H01L51/56

摘要： 마스크세정장치는마스크(mask)를예열시키는예열영역, 제1 조사각도로제1 자외선레이저빔을마스크에조사하는제1 자외선세정영역, 제1 자외선레이저빔이조사된마스크를냉각시키는제1 냉각영역, 제2 조사각도로제2 자외선레이저빔을마스크에조사하는제2 자외선세정영역, 제2 자외선레이저빔이조사된마스크를냉각시키는제2 냉각영역, 제3 조사각도로적외선레이저빔을마스크에조사하는적외선세정영역, 및적외선레이저빔이조사된마스크에공기를분사하는필링영역을포함한다.