公开(公告)号：KR20180071944A

公开(公告)日：2018-06-28

申请号：KR20170161527

申请日：2017-11-29

申请人： SCREEN HOLDINGS CO LTD

发明人： YASUDA SHUICHI ,  IWAO MICHINORI ,  KIKUMOTO NORIYUKI ,  SASAKI MITSUTOSHI

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/02

CPC分类号： B08B3/02 ,  B01D19/0005 ,  B08B3/14 ,  B08B2203/002 ,  H01L21/67023

摘要： [과제]기판처리장치의대형화를억제하면서, 처리액에있어서의제거대상기체의용존농도를저하시키는기술을제공한다. [해결수단]기판처리장치(100)는, 복수의기판처리부(20)와액처리시스템(30)을구비한다. 기판처리부(20)는, 기판(W)을유지하는기판유지부(21) 및기판유지부(21)에유지된기판(W)에처리액을토출하는토출노즐(23)을구비한다. 액처리시스템(30)은, 내부에처리액을저류하는저류조(31)와, 저류조(31)에접속되고, 토출노즐(23)에공급되는처리액이통과하는공급통로를형성하는공급배관부(320)와, 저류조(31)에접속되어있고, 공급배관부(320)를통과한처리액을저류조(31)에반송하는반송통로(322P)를형성하는반송배관부(322)와, 처리액중에용존하는산소와는다른질소가스를반송배관부(322)의반송통로(322P) 내에공급하는가스공급부(60)를구비한다.