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    케미컬 혼합장치
    3.
    发明授权
    케미컬 혼합장치 失效
    化学混合装置

    公开(公告)号：KR100500475B1

    公开(公告)日：2005-07-12

    申请号：KR1020030078958

    申请日：2003-11-10

    申请人： 삼성전자주식회사

    发明人： 최영만

    IPC分类号： B01F3/08

    CPC分类号： B01F3/088 ,  B01F15/00123 ,  B01F15/00155 ,  B01F15/00344 ,  B01F15/0441 ,  B01F2215/0036

    摘要： 본 발명은 반도체 소자 제조 시 사용되는 케미컬 용액을 혼합하는 케미컬 혼합장치에 관한 것이다.
    부체를 이용하여 케미컬 공급량을 측정하여 오동작을 방지할 수 있는 케미컬 혼합장치는, 서로 다른 종류의 케미컬용액을 공급하기 위한 적어도 2개 이상의 공급라인들과, 상기 공급라인들 상에 각각 설치되어 밸브제어신호에 의해 서로 다른 종류의 케미컬용액을 각각 공급하거나 차단할 수 있도록 개/폐 가능한 적어도 2개 이상의 밸브와, 상기 공급라인을 통해 공급되는 서로 다른 케미컬용액을 받아 혼합하는 혼합용기와, 상기 혼합용기의 하단에 설치되어 상기 혼합용기로부터 혼합된 케미컬용액을 공정챔버로 공급하기 위한 혼합 케미컬 공급라인과, 상기 혼합 케미컬 공급라인 상에 설치되어 밸브제어신호에 의해 상기 혼합된 케미컬용액을 공급하도록 단속하는 혼합케미컬 공급밸브와, 상기 혼합용기 내에 설치되어 상기 혼합용기 내에 케미컬� �액들이 공급됨에 따라 상부로 이동하는 부체와, 상기 부체에 고정되어 있으며 케미컬용액들의 공급량을 측정하기 위해 상부로 이동하는 측정막대와, 상기 측정막대가 상부로 이동함에 따라 순차적으로 스위칭 온되어 케미컬용액들의 공급량 측정신호를 출력하는 스위칭부와, 미리 정해진 케미컬 용액의 혼합비율에 따라 상기 스위칭부로부터 케미컬 공급량 측정신호를 받아 상기 서로 다른 종류의 케미컬용액을 정량으로 각각 공급하기 위한 밸브제어신호와 상기 혼합된 케미컬용액을 상기 공정챔버로 공급하기 위한 밸브제어신호를 출력하는 콘트롤러를 포함한다.
    또한 케미컬용액 상에 뜨는 부체를 이용하여 케미컬용액의 공급량을 검출하므로, 레벨센서의 결함으로 인해 오동작하는 것을 방지할 수 있으며, 케미컬용액의 공급량을 검출하기 위한 센서를 교체하지 않게 되어 생산성을 향상시킬 수 있다.

    6불화 황이 함유된 균일 가스 혼합물의 제조
    5.
    发明公开
    6불화 황이 함유된 균일 가스 혼합물의 제조 失效
    用SF6制备均质气体混合物

    公开(公告)号：KR1020000053105A

    公开(公告)日：2000-08-25

    申请号：KR1019997004029

    申请日：1997-11-19

    申请人： 솔베이 플루오르 운트 데리바테 게엠베하

    发明人： 피트로프,미하엘 ,  빅켈,한스-페터 ,  디스텔,라이너 ,  벨트,하인쯔-요아킴

    IPC分类号： B01F3/02

    CPC分类号： B01F3/026 ,  B01F5/0602 ,  B01F5/12 ,  B01F15/00344 ,  C01B17/4553

    摘要： PURPOSE: Preparation of homogeneous gas mixtures with sf6 is provided. CONSTITUTION: Homogeneous compressed gas mixtures with SF6 and a gas with a density at least 4 g/l lower can be prepared by using a mixing station with at least the following elements: a gas premixer in which the separate gases are brought together; a static mixer and/or a buffer tank connected thereto; a compressor connected to the buffer tank or static mixer; and when a buffer tank is used, a return line from the compressor output to the buffer tank. Mixtures of SF6 and N2, useful for example as insulating gas for current-conductive underground cables, can be produced by this process, which is capable of processing large flow rates. Mass flowmeters ensure high precision and reliability. Also disclosed is a mobile mixing station for implementing this process.

    摘要翻译： 目的：提供具有sf6的均匀气体混合物的制备。 构成：使用具有至少以下元素的混合站可以制备具有SF 6和密度至少为4g / l密度的气体的均匀压缩气体混合物：气体预混合器，其中分离的气体在一起; 静态混合器和/或与其连接的缓冲罐; 压缩机连接到缓冲罐或静态混合器; 并且当使用缓冲罐时，从压缩机输出到缓冲罐的返回管线。 可以通过这种能够处理大流量的方法生产SF6和N2的混合物，例如用作导电地下电缆的绝缘气体。 质量流量计确保高精度和可靠性。 还公开了一种用于实现该过程的移动混合站。

    오존수 공급방법 및 오존수 공급장치
    6.
    发明公开
    오존수 공급방법 및 오존수 공급장치 审中-实审
    臭氧水供应方式和臭氧水供应装置

    公开(公告)号：KR1020160114137A

    公开(公告)日：2016-10-04

    申请号：KR1020167023444

    申请日：2015-01-06

    申请人： 오르가노 코포레이션

    发明人： 하야시요시후미 ,  야마시타유키나리 ,  야마나카코지

    IPC分类号： B01F3/04 ,  B01F15/00 ,  B01F15/04 ,  B01F5/10 ,  C01B13/11

    CPC分类号： B01F3/04985 ,  B01F3/04439 ,  B01F3/2057 ,  B01F5/106 ,  B01F15/0022 ,  B01F15/00344 ,  B01F15/0408 ,  B01F2003/04886 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/90 ,  C02F1/78 ,  C02F2103/04 ,  C02F2201/782 ,  C02F2209/23

    摘要： 원료초순수를순환탱크에공급하는동시에, 사용지점에서사용되지않았던반송오존수를해당순환탱크에반송하면서, 해당순환탱크내의피용해수를일정한공급량으로오존용해수단에공급하고, 해당오존용해수단에서해당피용해수에오존을용해시켜서오존용해수를얻고, 이어서, 얻어진해당오존용해수를해당사용지점에공급하는것, 방전식의오존발생수단에, 원료산소가스로서, 질소가스의함유량이 0.01체적% 이하인산소가스를공급하고, 이어서, 얻어진해당오존함유가스를해당오존용해수단에공급하는것, 해당순환탱크에공급하는해당원료초순수의공급량을조절하는것, 해당오존용해수중의용존오존농도를조절하는것을특징으로하는오존수공급방법. 본발명에따르면, 방전식의오존발생수단을이용했을경우에, 순환계내로의질산의축적을억제할수 있는오존수공급방법및 이를실시하기위한오존수공급장치를제공할수 있다.

    摘要翻译： 臭氧水供给方法包括：以给定的进料速率将包含在循环罐中的溶解水加入到臭氧装置中，同时向循环罐供给超纯水，并将循环罐中未使用的臭氧水返回到循环罐 使用臭氧化装置将臭氧溶解在溶解水中，得到臭氧化水，将臭氧水供给到使用点; 向放电型臭氧气体生产器供给氮气含量为0.01体积％以下的氧气，并将得到的含臭氧气体供给到臭氧化装置中; 调节超纯水进入循环罐的进料速度; 并调节臭氧水中溶解的臭氧浓度。 当使用排放型臭氧气体生产者作为臭氧气体生产者时，该方法可以减少或抑制再循环系统中硝酸的积聚。

    처리액 혼합 장치, 기판 처리 장치, 처리액 혼합 방법 및 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체
    9.
    发明公开
    처리액 혼합 장치, 기판 처리 장치, 처리액 혼합 방법 및 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체 有权
    用于混合加工溶液的装置，用于处理基材的装置，用于混合加工溶液的方法和储存介质

    公开(公告)号：KR1020090080476A

    公开(公告)日：2009-07-24

    申请号：KR1020090002201

    申请日：2009-01-12

    申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    发明人： 사타케게이고

    IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L21/302 ,  H01L21/304

    CPC分类号： B01F13/1055 ,  B01F15/00344 ,  B01F15/0479 ,  B01F2215/0096 ,  Y10T137/0329 ,  Y10T137/8766 ,  Y10T137/87684

    摘要： An apparatus for mixing a processing solution, an apparatus for processing a substrate, a method for mixing a processing solution, and a storage medium are provided to minimize a waste amount of a specific raw material. An apparatus for mixing a processing solution includes a mixing chamber(2,3), a flow rate control unit, a flow rate detecting unit, an exhaust valve(23,24,25), a supply valve(26~31), and a control unit(32). The mixing chamber mixes raw material liquid of a plurality of kinds. The flow rate control unit controls a flow rate of the raw material liquid flowing to a supply flow path(14,15,16) into a set flow rate. The supply flow path separately supplies the raw material to the mixing chamber from a supply source of the raw material. The flow rate detecting unit detects a flow rate of the raw material liquid flowing to the supply flow path. The exhaust valve is formed between the flow rate control unit of the supply flow path and the mixing chamber. The exhaust valve exhausts the raw material liquid flowing to the supply flow path to outside. The supply valve is formed between the exhaust valve of the supply flow path and the mixing chamber. The supply valve opens and closes the supply flow path.

    摘要翻译： 提供一种用于混合处理溶液的设备，用于处理基板的设备，用于混合处理溶液的方法和存储介质，以最小化特定原料的废弃量。 混合处理液的装置包括混合室（2,3），流量控制单元，流量检测单元，排气阀（23,24,25），供应阀（26〜31）和 控制单元（32）。 混合室混合多种原料液。 流量控制单元将流入供给流路（14,15,16）的原料液的流量控制为设定流量。 供给流路单独地从原料的供给源向混合室供给原料。 流量检测单元检测流向供给流路的原料液的流量。 排气阀形成在供给流路的流量控制部和混合室之间。 排气阀将流入供给流路的原料液体排出到外部。 供给阀形成在供给流路的排气阀和混合室之间。 供给阀打开和关闭供给流路。

    케미컬 혼합장치
    10.
    发明公开
    케미컬 혼합장치 失效
    化学混合设备

    公开(公告)号：KR1020050045027A

    公开(公告)日：2005-05-17

    申请号：KR1020030078958

    申请日：2003-11-10

    申请人： 삼성전자주식회사

    发明人： 최영만

    IPC分类号： B01F3/08

    CPC分类号： B01F3/088 ,  B01F15/00123 ,  B01F15/00155 ,  B01F15/00344 ,  B01F15/0441 ,  B01F2215/0036

    摘要： 본 발명은 반도체 소자 제조 시 사용되는 케미컬 용액을 혼합하는 케미컬 혼합장치에 관한 것이다.
    부체를 이용하여 케미컬 공급량을 측정하여 오동작을 방지할 수 있는 케미컬 혼합장치는, 서로 다른 종류의 케미컬용액을 공급하기 위한 적어도 2개 이상의 공급라인들과, 상기 공급라인들 상에 각각 설치되어 밸브제어신호에 의해 서로 다른 종류의 케미컬용액을 각각 공급하거나 차단할 수 있도록 개/폐 가능한 적어도 2개 이상의 밸브와, 상기 공급라인을 통해 공급되는 서로 다른 케미컬용액을 받아 혼합하는 혼합용기와, 상기 혼합용기의 하단에 설치되어 상기 혼합용기로부터 혼합된 케미컬용액을 공정챔버로 공급하기 위한 혼합 케미컬 공급라인과, 상기 혼합 케미컬 공급라인 상에 설치되어 밸브제어신호에 의해 상기 혼합된 케미컬용액을 공급하도록 단속하는 혼합케미컬 공급밸브와, 상기 혼합용기 내에 설치되어 상기 혼합용기 내에 케미컬� �액들이 공급됨에 따라 상부로 이동하는 부체와, 상기 부체에 고정되어 있으며 케미컬용액들의 공급량을 측정하기 위해 상부로 이동하는 측정막대와, 상기 측정막대가 상부로 이동함에 따라 순차적으로 스위칭 온되어 케미컬용액들의 공급량 측정신호를 출력하는 스위칭부와, 미리 정해진 케미컬 용액의 혼합비율에 따라 상기 스위칭부로부터 케미컬 공급량 측정신호를 받아 상기 서로 다른 종류의 케미컬용액을 정량으로 각각 공급하기 위한 밸브제어신호와 상기 혼합된 케미컬용액을 상기 공정챔버로 공급하기 위한 밸브제어신호를 출력하는 콘트롤러를 포함한다.
    또한 케미컬용액 상에 뜨는 부체를 이용하여 케미컬용액의 공급량을 검출하므로, 레벨센서의 결함으로 인해 오동작하는 것을 방지할 수 있으며, 케미컬용액의 공급량을 검출하기 위한 센서를 교체하지 않게 되어 생산성을 향상시킬 수 있다.