레이저 열분해에 의한 다층 서브마이크론 입자 생성 방법
    7.
    发明公开
    레이저 열분해에 의한 다층 서브마이크론 입자 생성 방법 审中-实审
    通过激光热解生产多层亚微米颗粒的方法

    公开(公告)号:KR1020150036511A

    公开(公告)日:2015-04-07

    申请号:KR1020157003534

    申请日:2013-07-05

    摘要: 입자(10)를생성하는공정이개시된다. 상기공정은제1 화학요소(전형적으로실리콘)를포함하고유동방향(11)을따라서진행하는, 적어도하나의반응유동(1)을반응챔버내로도입하는단계; 반응유동당 하나의상호작용영역(14)에서각 반응유동(1) 과교차하는방사선빔(3)을상기반응챔버(8)를통해서투영하여각 반응유동에서상기제1 화학요소를포함하는입자코어를형성하는단계; 그리고상기반응챔버(8) 내로, 각반응유동(1)과상호작용하는상기제2 화학요소(전형적으로탄소)를도입하여상기입자코어를제2 화학요소를포함하는층으로피복하는단계를포함한다. 각반응유동(1)에는상기제1 화학요소를산화시키는작용제가없다. 단위시간당도입된제2 요소의원자하나에대해서단위시간당 도입된상기제1 요소의적어도 2개의원자의비율이바람직하다. 상기제2 화학요소는적어도하나의한정유동(2)으로도입되는것이바람직하다.