公开(公告)号：KR101502415B1

公开(公告)日：2015-03-13

申请号：KR1020090085747

申请日：2009-09-11

Applicant: 엠 에스피 코포레이션

Inventor： 벤자민와이.에이치.리우

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/02

CPC classification number: B05B7/168 ,  B05B7/0475 ,  B05B7/066 ,  B05B7/1686 ,  Y10S261/65

Abstract: 본 발명은 증기 발생 및 기판 위에 박막 증착용 전구액체를 분무하는 장치에 관한 것이다. 상기 전구액체는 운반 기체에 의해 분무되어 상기 운반 기체 내에서 현탁되는 작은 전구액체 액적으로 이루어진 액적 에어로졸을 형성한다. 이후, 상기 액적 에어로졸은 증기를 형성하기 위해 가열되고, 기판 위에 박막을 형성하기 위한 증착 챔버 내부로 도입될 수 있는 기체/증기 혼합물을 생성한다. 상기 액체는 초과 가열되어 열 분해의 결과로 물질이 분해되어 바람직하지 않은 부산물이 형성되거나 유도되는 것을 막기 위해 이러한 방식으로 분무 장치 내로 도입된다. 상기 장치는 특히 액체를 기화시키기 위해 높은 기화 온도가 요구되는 저 증기압을 갖는 고분자량 물질을 기화시키는 데에 적합하다. 또한, 상기 장치는 기화용 용매에 용해된 고체 전구물질을 기화시키는 데에 이용될 수 있다.

公开(公告)号：KR101442294B1

公开(公告)日：2014-09-19

申请号：KR1020097020667

申请日：2008-04-03

Applicant: 헤네케 게엠베하

Inventor： 파블릭볼프강 ,  오벨로어도미닉 ,  클레바잉오

IPC: B29C44/50 ,  B05B12/00 ,  B05B7/02

CPC classification number: B05B7/0475 ,  B05B7/0458 ,  B05B7/0491 ,  B29C41/08 ,  B29C67/246 ,  B29K2075/00

Abstract: 본 발명은 폴리우레탄층을 포함하는 몰딩 부품을 발사 작업으로 생성하기 위한 방법 및 장치에 관한 것으로서, 가스 흐름이 둘 이상의 위치에서 분사 장치(3)의 유동 채널(11)로 도입된다.
몰딩 부품 방법, 반응성 혼합물, 혼합 헤드, 분사 장치, 가스 흐름

公开(公告)号：KR101400082B1

公开(公告)日：2014-05-28

申请号：KR1020130102312

申请日：2013-08-28

Applicant: 박윤호

Inventor： 박윤호

IPC: A01M7/00 ,  B05B15/00 ,  A61L2/18

CPC classification number: B05B7/2494 ,  A61L2/22 ,  B05B7/0075 ,  B05B7/045 ,  B05B7/0475 ,  B05B7/0483 ,  B05B7/10 ,  B05B7/2491 ,  A01M7/0014 ,  A01M7/0085

Abstract: The present invention relates to an epidemics prevention device, which has a connector on a medicinal fluid transport pipe flowing medicinal liquid and a check valve by using the elasticity of a spring so that the check valve is open by the pressure within the medicinal fluid tank to release the medicinal fluid in operation, whereas the check valve blocks where the medicinal fluid is supplied by the elasticity of the spring as the pressure is lowered to block the medicinal fluid from flowing to the outside of the nozzle in a shutdown. The epidemics prevention device of the present invention has air inlets on the front side and the side of a cover body to flow the air passing through the outside of a blower to a suction hole formed on the rear side of the blower, and, therefore, to minimize the rise in temperature when using the epidemics prevention device. The epidemics prevention device of the present invention reduces the waste of medicinal fluid by collecting the medicinal fluid without flowing out after using the epidemics prevention device, and has an economical effect of reducing production costs as electronic parts are not used, and effects of preventing the temperature rise of the epidemics prevention device, preventing the stop of work due to the rise in temperature of the epidemic prevention device, and thereby drastically improving the work efficiency.

Abstract translation: 本发明涉及一种防疫装置，其具有通过使用弹簧的弹性而在药液输送管上流动药液的连接器和止回阀，使得止回阀通过药液箱内的压力打开， 释放操作中的药液，而止回阀在压力降低时通过弹簧的弹性阻止药液供应，以阻止药液在关闭时流到喷嘴外部。 本发明的防疫流体装置在盖主体的前侧和侧面具有空气入口，以使通过鼓风机外部的空气流到形成在鼓风机后侧的吸入孔，因此， 以尽量减少使用流行病防治装置时的温度上升。 本发明的防疫流体装置，在使用防疫装置之后，通过收集药液而不流出来减少药液的浪费，具有降低生产成本的经济效果，不会使用电子部件， 防疫装置的温度上升，防止由于防疫装置的温度升高而停止工作，从而显着提高工作效率。

公开(公告)号：KR1020110069095A

公开(公告)日：2011-06-22

申请号：KR1020117008639

申请日：2009-10-08

Applicant: 퍼슈트 다이나믹스 피엘씨

Inventor： 펜톤,마르쿠스브라이언메이홀

IPC: B01D17/04 ,  B01D1/16 ,  B01D3/14

CPC classification number: B01D17/042 ,  B01D17/044 ,  B05B7/0475 ,  B05B7/1626

Abstract: 에멀션 탈유화 방법이 제공되며, 이 방법은 입구(16)와 출구(18)를 갖는 유체 프로세서 통로(14)로 에멀션을 공급하는 초기 단계를 포함하며, 입구(16)와 출구(18) 사이의 통로(14)의 횡단면적은 입구(16)에서의 횡단면적 미만으로 감소되지 않는다. 운반 유체는 운반 유체 소오스(60)로부터 운반 유체 노즐(34)로 공급되며, 운반 유체 노즐은 통로(14)를 둘러싸며, 입구(16)와 출구(18) 중간의 통로(14)로 개방된다. 운반 유체는 운반 유체 노즐(34)의 스로트(38)를 통하여 가속되며, 스로트(34)는 노즐 입구(36) 또는 노즐 출구(40)의 횡단면적보다 작은 횡단면적을 갖는다. 운반 유체는 연속적인 증기상 내에 에멀션 액적의 분산 상을 포함하는 증기-액적 형이 형성되도록, 상기 노즐 출구로부터 상기 통로 내의 에멀션으로 주입된다. 에멀션 액적의 적어도 일부는 증기 액적 형 내에서 증발되며, 마지막으로 증기는 다시 액체 상으로 응축된다. 이 방법을 실행하기 적합한 장치가 또한 제공된다.

公开(公告)号：KR1020100031482A

公开(公告)日：2010-03-22

申请号：KR1020090085747

申请日：2009-09-11

Applicant: 엠 에스피 코포레이션

Inventor： 벤자민와이.에이치.리우

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/02

CPC classification number: B05B7/168 ,  B05B7/0475 ,  B05B7/066 ,  B05B7/1686 ,  Y10S261/65

Abstract: PURPOSE: A method and an apparatus for spraying a liquid precursor material are provided to spray a liquid precursor for depositing a thin film on a substrate by generating vapor. CONSTITUTION: An atomizer(10) forms a droplet aerosol(51) and includes a tube housing(40), a capillary tube(60), a gas path, and a spray orifice. The tube housing includes an upper side, a lower side, and a gas inlet(24). A liquid inlet(22) is formed on the upper side of the tube housing. The lower side of the tube housing is attached to a vaporization chamber. The gas inlet receives the gas from a gaseous material. The capillary tube is inputted to the housing through the liquid inlet. An inlet capillary tube receives the liquid from the end of an outlet capillary tube. The gas path is between the tube housing and the capillary tube. The spray orifice sprays the gas at a high speed and forms a droplet by spraying the liquid.

Abstract translation: 目的：提供一种用于喷射液体前体材料的方法和装置，以通过产生蒸汽来喷射用于在基板上沉积薄膜的液体前体。 构成：雾化器（10）形成液滴气溶胶（51）并且包括管壳体（40），毛细管（60），气体路径和喷射孔。 管壳包括上侧，下侧和气体入口（24）。 液体入口（22）形成在管壳体的上侧。 管壳的下侧连接到蒸发室。 气体入口从气体材料接收气体。 毛细管通过液体入口输入壳体。 入口毛细管从出口毛细管的端部接收液体。 气体通道位于管壳和毛细管之间。 喷射孔高速喷射气体并通过喷射液体形成液滴。

公开(公告)号：KR1020090098788A

公开(公告)日：2009-09-17

申请号：KR1020097009237

申请日：2007-08-27

Applicant: 지멘스 에스에이에스 ,  뤼니베르시떼 조셉 푸르니에 ,  쌍트르 나셔날 드 라 르쉐르쉐 씨앙띠피끄

Inventor： 부릴롱띠바우 ,  뒤세베르나드 ,  페르낭드빠뜨릭 ,  띠바울장뽈

IPC: A62C31/02 ,  B05B3/04 ,  B05B3/06 ,  B05B7/00

CPC classification number: B05B7/0012 ,  A62C31/05 ,  A62C99/0072 ,  B05B3/0422 ,  B05B3/06 ,  B05B7/0025 ,  B05B7/0416 ,  B05B7/0475 ,  B05B7/0483 ,  C21C5/4606

Abstract: The present invention relates to a device for ejecting an at least diphasic mixture, comprising an injection inlet (IN1, IN2) for a liquid (11) and a gas (G1), a distribution chamber (EMD) for producing a first liquid-gas mixture (MLG1), an ejection nozzle (EJ) of the first liquid-gas mixture in a main direction defined by a an axis-vector. The ejection nozzle has a geometry comprising, on its length at least, a minimal section or neck at a location (X) of the axis-vector. Amongst others things, due to the nozzle geometry, the expansion obtained inside the ejection nozzle allows the first liquid-gas mixture from the distribution chamber to be converted into a second mixture, according to the flow configuration, consisting for instance of a diphasic mist jet having an ejection range and liquid particle size that can be controlled according to the liquid and gas mass flow and to the absolute pressure at the injection inlet.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于喷射至少两相混合物的装置，包括用于液体（11）和气体（G1）的注入口（IN1，IN2）和用于产生第一液体气体的分配室（EMD） 混合物（MLG1），第一液 - 气混合物的喷射嘴（EJ）在由轴矢量确定的主方向上。 喷嘴具有几何形状，其至少在轴向载体的位置（X）处至少包括最小部分或颈部。 在其他方面，由于喷嘴几何形状，喷射嘴内部获得的膨胀允许来自分配室的第一液体 - 气体混合物转化为第二混合物，根据流动构型，其包括例如二相雾喷射 具有可以根据液体和气体质量流量以及喷射入口处的绝对压力来控制的喷射范围和液体粒径。

公开(公告)号：KR100553781B1

公开(公告)日：2006-02-20

申请号：KR1020010038071

申请日：2001-06-29

Applicant: 시부야 코교 가부시키가이샤

Inventor： 하라시니치

IPC: B08B3/02

CPC classification number: B05B7/1431 ,  B05B7/0475 ,  B05B15/55 ,  B24C5/02 ,  B24C5/04 ,  B24C7/0076 ,  B24C11/005

Abstract: 본 발명의 세정 노즐에 있어서, 나팔형 부분은 축소 및 확대형의 분사 노즐부에 있는 최소 직경부의 전방에 형성된 다단의 경사부 또는 곡면으로 만들어지며, 기체 분사구는 나팔형 부분의 중간이 개구되어 있다. 기체 분사구의 안쪽에는 세정액 분사구가 형성되어 있다. 기체는 세정액 분사구로부터 세정액보다 고속으로 분사됨으로써, 세정액의 액적화를 촉진하며, 분사되기 전에 최소 직경부의 후방에 형성된 테이퍼링부에 의해 더 가속된다. 분립체 주입부와 세정 노즐의 사이에 있는 가압 기체 통로에 소량의 액체가 공급되어 분립체에 의한 통로의 막힘을 방지할 수 있다.

公开(公告)号：KR101844488B1

公开(公告)日：2018-04-02

申请号：KR1020177006615

申请日：2016-02-19

Applicant: 에어로포그 머시너리 컴퍼니 리미티드

Inventor： 푸아초크후아

IPC: A01M7/00 ,  B05B1/34 ,  B05B9/04

CPC classification number: B05B7/0475 ,  A01M7/0021 ,  A61M11/06 ,  B05B7/045 ,  B05B7/10 ,  B05B17/04

Abstract: 본고안에서는휴대식초미세분무기를제공하는바, 하우징과하우징선단구위치에구비된분무노즐이포함되고, 또한하우징내에설치된팬, 하우징선단위치에고정설치된기류가이드장치및 액체를펌핑하기위한물 펌프가포함되며, 상기기류가이드장치상에는다수의분무노즐주변에균일하게분포된기류가이드블레이드가구비되고, 각기류가이드블레이드상에는모두가이드면이구비되며; 상기분무노즐내에는나선형채널및 물펌프와연통되는액체채널이구비되고, 분무노즐의선단에는분무구가구비되며, 상기분무구는나선형채널을통하여액체채널과상호연통되며; 상기팬, 기류가이드블레이드및 분무구는기류방향을따라순차적으로분포된다. 본고안은물 펌프와분무노즐의작용을이용하여제1 단계분무를구형하고, 아울러팬과기류가이드장치를이용하여회전기류를형성하고, 다시분무노즐을통하여분출되는분무알갱이를잘라분무알갱이직경을더욱작게하여, 분무효과가더욱좋다.

Abstract translation: 在本发明中，提供了一种便携式醋酸细雾化器，其包括壳体和设置在壳体顶端的喷嘴，安装在壳体中的风扇，固定在壳体顶端位置处的气流引导装置以及水泵 其中导流叶片均匀分布在导流装置上的多个喷嘴周围，导流面上设置有导流面， 其中雾化喷嘴设有与螺旋通道和水泵连通的液体通道，雾化喷嘴在其末端具有雾化喷嘴，雾化口通过螺旋通道与液体通道连通; 风扇，导流叶片和喷嘴沿气流方向依次分布。 本文利用水泵和喷头的作用对第一级喷雾进行挤压，利用风机和导流装置形成旋转气流，再次切割通过喷嘴喷射的喷雾颗粒， 喷涂效果进一步提高。

公开(公告)号：KR1020150036283A

公开(公告)日：2015-04-07

申请号：KR1020157002551

申请日：2013-06-27

Applicant: 헤라클리

Inventor： 마린,프레데릭

IPC: A62C13/70 ,  A62C13/00 ,  A62C31/07 ,  A62C35/02 ,  B05B7/00 ,  B05B7/04

CPC classification number: A62C35/023 ,  A62C5/006 ,  A62C13/003 ,  A62C13/22 ,  A62C37/44 ,  B05B7/0006 ,  B05B7/0475 ,  B05B7/068 ,  A62C13/70 ,  A62C31/07

Abstract: 액체 (L)를분사하는분사장치 (100)로서, 상기장치는분사액체 (L)를함유하는탱크 (10)와, 상기탱크 (10)와연통하는적어도하나의액체이젝터부재 (20)와, 그리고상기탱크내부의액체를가압하고압력하에상기탱크외부로상기액체를나아가게하는점화기체발생기 (30)를포함한다. 본발명에따라서, 적어도하나의동작모드에서, 상기이젝터부재 (20)는상기발생기 (30)에의해발생된기체로공급될수 있도록상기기체발생기 (30)와연통한다.

公开(公告)号：KR1020140035519A

公开(公告)日：2014-03-21

申请号：KR1020147003388

申请日：2012-07-09

Applicant: 옴야 인터내셔널 아게

Inventor： 손더스조지 ,  키트리지라이언

IPC: B05B7/04

CPC classification number: B05B7/0416 ,  A01M7/0003 ,  A62C99/0072 ,  B01F3/04063 ,  B01F2215/0036 ,  B01F2215/0055 ,  B05B1/34 ,  B05B7/0441 ,  B05B7/0458 ,  B05B7/0475 ,  B05B7/0491 ,  B05B7/066 ,  B05B7/267 ,  F23D1/005 ,  Y10T137/0318

Abstract: 본 발명은 액적 형성이 개선된 새로운 무화 디바이스에 관한 것이다. 보다 작은 액적들이 증가된 미소화된 부피 처리량으로 형성되고, 큰 부피의 공기가 액체 노즐(2)로부터 분무된 액체로 공급된다. 큰 부피 비율은 이송되는, 충돌을 최소화하고 액적의 응집을 방지하기 위한 액적들 사이의 평균 자유 경로를 초래한다.