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    하나 이상의 무극성 블록 및 하나 이상의 극성 블록을 함유하는 블록 공중합체의 합성을 제어하는 방법, 및 직접 자가-조립에 의한 나노리소그래피의 적용에서의 상기 블록 공중합체의 용도
    2.
    发明授权
    하나 이상의 무극성 블록 및 하나 이상의 극성 블록을 함유하는 블록 공중합체의 합성을 제어하는 방법, 및 직접 자가-조립에 의한 나노리소그래피의 적용에서의 상기 블록 공중합체의 용도 有权
    控制含有至少一个非极性嵌段和至少一个极性嵌段的嵌段共聚物的合成的方法，以及所述嵌段共聚物在通过直接自组装的纳米光刻应用中的用途

    公开(公告)号：KR101781700B1

    公开(公告)日：2017-09-25

    申请号：KR1020150180371

    申请日：2015-12-16

    申请人： 아르끄마 프랑스

    发明人： 나바로크리스토쁘 ,  니꼴레셀리아 ,  슈발리에자비에

    IPC分类号： C08F293/00 ,  C08F212/08 ,  C08F220/18

    CPC分类号： C08F297/026 ,  B81C2201/0149 ,  B82Y30/00 ,  C09D153/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/004

    摘要： 하나이상의무극성블록및 하나이상의극성블록을포함해, 2 개이상의블록을함유하는블록공중합체의합성을제어하는방법으로서, 상기방법은, 특별히블록들간의비 및각 블록의분자량을제어하는것을가능하게하고, 상기공중합체는직접자가-조립 (DSA) 에의한나노리소그래피의방법에있어서마스크로서사용되도록의도된블록공중합체이고, 상기제어는비양성자성무극성매질중에서의반연속식음이온성중합에의해달성되며하기단계들을포함하는방법: - 매크로-개시제의형태의첫번째무극성블록을합성하는것, - 비양성자성무극성용매중에서알칼리금속알코올레이트와혼합함으로써앞서합성한상기매크로-개시제의용액을제조하는것, - 비양성자성무극성용매중의극성단량체의용액을제조하는것, - 매크로-개시제및 극성단량체로앞서제조한두 용액을, 중합반응기와연결된, 마이크로-믹서에일정한유량비로주입하는것, - 수득한공중합체를회수하는것.

    摘要翻译： 一种控制含有两种或多种嵌段的嵌段共聚物的合成方法包括至少一个非极性嵌段和一种或多种极性块，所述方法包括：使特别用于控制所述块之间的非mitgak块的分子量 且其中所述共聚物是用作根据纳米光刻法的组件（DSA）共聚物，其中所述对照是在非质子传递非极性介质中的半连续阴离子聚合中的一个的掩模直接自图块 通过实现方法，包括以下步骤： - 宏观haneungeot合成在引发剂的形式的第一非极性嵌段， - haneungeot制备引发剂的溶液，非正通过与磁性非极性溶剂合成hansanggi宏之前碱金属醇化物混合 制备极性单体在非质子极性非极性溶剂中的溶液，制备上述制备的大分子引发剂和极性单体的溶液， 以恒定流速向微混合器输送;

    블록 폴리머
    3.
    发明公开
    블록 폴리머 审中-实审
    块状聚合物

    公开(公告)号：KR1020160147722A

    公开(公告)日：2016-12-23

    申请号：KR1020167026306

    申请日：2015-04-21

    申请人： 히타치가세이가부시끼가이샤

    发明人： 다케우치가즈마사

    IPC分类号： C08F293/00 ,  C08F297/02

    CPC分类号： C08F293/00 ,  C08F297/026

    摘要： 본발명은 3 성분이상의중합성모노머를중합하여이루어지는 (메트)아크릴폴리머이며, 제1 중합성모노머유래의구조단위와제2 중합성모노머유래의구조단위를포함하는제1 폴리머단위, 및상기제1 중합성모노머유래의구조단위와상기제2 중합성모노머와는다른제3 중합성모노머유래의구조단위를포함하는제2 폴리머단위를갖는블록폴리머를제공한다.

    摘要翻译： 本发明提供一种嵌段聚合物，其是通过聚合至少三种可聚合单体组分形成的（甲基）丙烯酸聚合物，所述嵌段聚合物具有：第一聚合物单元，其包含衍生自第一可聚合单体的结构单元和衍生自 从第二可聚合单体; 以及第二聚合物单元，其包含衍生自第一可聚合单体的结构单元和衍生自不同于第二可聚合单体的第三可聚合单体的结构单元。

    하나 이상의 무극성 블록 및 하나 이상의 극성 블록을 함유하는 블록 공중합체의 합성을 제어하는 방법, 및 직접 자가-조립에 의한 나노리소그래피의 적용에서의 상기 블록 공중합체의 용도
    4.
    发明公开
    하나 이상의 무극성 블록 및 하나 이상의 극성 블록을 함유하는 블록 공중합체의 합성을 제어하는 방법, 및 직접 자가-조립에 의한 나노리소그래피의 적용에서의 상기 블록 공중합체의 용도 有权
    用于控制含至少一个非绝缘块和至少一个极性块的嵌段共聚物的合成方法和通过直接自组装在纳米尺度应用中使用嵌段共聚物

    公开(公告)号：KR1020160073339A

    公开(公告)日：2016-06-24

    申请号：KR1020150180371

    申请日：2015-12-16

    申请人： 아르끄마 프랑스

    发明人： 나바로크리스토쁘 ,  니꼴레셀리아 ,  슈발리에자비에

    IPC分类号： C08F293/00 ,  C08F212/08 ,  C08F220/18

    CPC分类号： C08F297/026 ,  B81C2201/0149 ,  B82Y30/00 ,  C09D153/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/004

    摘要： 하나이상의무극성블록및 하나이상의극성블록을포함해, 2 개이상의블록을함유하는블록공중합체의합성을제어하는방법으로서, 상기방법은, 특별히블록들간의비 및각 블록의분자량을제어하는것을가능하게하고, 상기공중합체는직접자가-조립 (DSA) 에의한나노리소그래피의방법에있어서마스크로서사용되도록의도된블록공중합체이고, 상기제어는비양성자성무극성매질중에서의반연속식음이온성중합에의해달성되며하기단계들을포함하는방법: - 매크로-개시제의형태의첫번째무극성블록을합성하는것, - 비양성자성무극성용매중에서알칼리금속알코올레이트와혼합함으로써앞서합성한상기매크로-개시제의용액을제조하는것, - 비양성자성무극성용매중의극성단량체의용액을제조하는것, - 매크로-개시제및 극성단량체로앞서제조한두 용액을, 중합반응기와연결된, 마이크로-믹서에일정한유량비로주입하는것, - 수득한공중합체를회수하는것.

    摘要翻译： 本发明涉及一种用于控制嵌段共聚物的合成方法，所述嵌段共聚物含有至少两个包含至少一个非极性嵌段和至少一个极性嵌段的嵌段。 该方法允许控制嵌段之间的比例和每个嵌段的分子量。 共聚物是一种嵌段共聚物，旨在用作通过直接自组装（DSA）的纳米光刻工艺的掩模。 在非质子非极性介质中通过半连续阴离子聚合实现对照。 该方法包括以下步骤：合成宏引发剂形式的第一非极性嵌段; 在非质子非极性溶剂中将非极性嵌段与碱金属醇化物混合，得到大分子引发剂的溶液; 在非质子非极性溶剂中制备极性单体的溶液; 将先前作为大分子引发剂和极性单体制备的两种溶液引入以恒定流动比连接到聚合反应器的微型混合器; 并回收得到的共聚物。

    블록 공중합체의 정제 방법 및 블록 공중합체를 이용한 패턴 형성 방법
    6.
    发明公开
    블록 공중합체의 정제 방법 및 블록 공중합체를 이용한 패턴 형성 방법 审中-实审
    嵌段共聚物的纯化方法和使用嵌段共聚物形成图案的方法

    公开(公告)号：KR1020150066151A

    公开(公告)日：2015-06-16

    申请号：KR1020130151342

    申请日：2013-12-06

    申请人： 삼성전자주식회사

    发明人： 한준원 ,  권수진 ,  김혜륜 ,  김재현 ,  최정식

    IPC分类号： C08F6/16 ,  C08F6/28 ,  C08L53/00 ,  B01D15/00 ,  G03F7/20

    CPC分类号： H01L21/0337 ,  C08F297/026 ,  C08L53/00 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/0332 ,  H01L21/31144 ,  H01L21/76816

    摘要： 블록공중합체의정제방법에있어서, 제1 고분자유닛과상기제1 고분자유닛보다친수성이높은제2 고분자유닛이공중합되어합성되는블록공중합체및 흡착제를포함하는혼합용액을제조한다. 블록공중합체가흡착된흡착제를추출한다. 흡착제로부터블록공중합체를분리시킨다. 분리된블록공중합체를수집한다. 흡착제를사용하여불순물을제거함으로써고순도의블록공중합체를수집할수 있다.

    摘要翻译： 本发明涉及一种纯化嵌段共聚物的方法，包括以下步骤：制备通过聚合第一聚合物单元和亲水性高于第一聚合物单元的第二聚合物单元合成的吸收剂和嵌段共聚物的混合溶液 ; 提取其上吸附嵌段共聚物的吸收剂; 从吸收剂中分离嵌段共聚物; 收集分离的嵌段共聚物; 并使用吸附剂除去杂质，从而收集高纯度的嵌段共聚物。

    하부층 조성물 및 하부층 조성물 이미징 방법
    7.
    发明公开
    하부층 조성물 및 하부층 조성물 이미징 방법 有权
    底层组合物和成像下层组合物的方法

    公开(公告)号：KR1020140018422A

    公开(公告)日：2014-02-12

    申请号：KR1020140008952

    申请日：2014-01-24

    申请人： 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈 엘엘씨 ,  다우 글로벌 테크놀로지스 엘엘씨

    发明人： 페터트리포나스 ,  필립딘허스테드 ,  신시아피에르

    IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/11 ,  G03F7/26

    CPC分类号： G03F7/0388 ,  B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  C08F212/08 ,  C08F220/18 ,  C08F297/026 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/094 ,  G03F7/11 ,  G03F7/165 ,  G03F7/26 ,  G03F7/004 ,  G03F7/075 ,  G03F7/32 ,  G03F7/42

    摘要： A pattern formation method of the present invention comprises a step which diffuses acid generated by irradiating part of a photosensitive layer which includes a photo acid generator into adjacent parts of the lower layer including acid sensitive copolymer which includes an acid labile group, an adhesive material, and a functional group. Here, the adhesive material is covalent with hydrophilic surface of a substrate or forms a bridge between polymers. The photosensitive layer is placed on the surface of the lower layer, and diffusion includes heating of the lower layer and photosensitive layer. The acid sensitive group of the acid sensitive copolymer inside the lower layer forms a polar region on the surface of the lower layer by being reacted with diffused acid. The polar region has a pattern. A self-assembly layer in which the photosensitive layer is removed and includes a first block having affinity for the polar region and a second block having less affinity than the first block is formed on the surface of the lower layer. The first block forms a first domain arranged in the polar region, the second block forms a second domain arranged near the first domains, and the lower part of the lower layer is exposed by removing one of the first or second domain.

    摘要翻译： 本发明的图案形成方法包括以下步骤：通过将包含光酸产生剂的感光层的一部分照射到下层的相邻部分而产生的酸包括酸敏感性共聚物，包括酸不稳定基团，粘合剂材料， 和功能组。 这里，粘合剂材料与基底的亲水表面共价或在聚合物之间形成桥。 感光层被放置在下层的表面上，扩散包括加热下层和感光层。 下层酸敏感性共聚物的酸敏感基团通过与扩散的酸反应在下层的表面上形成极性区域。 极地有一种模式。 在下层的表面上形成除去感光层并且包含对极性区域具有亲和性的第一嵌段和比第一嵌段亲和性小的第二嵌段的自组装层。 第一块形成布置在极性区域中的第一区域，第二块形成布置在第一区域附近的第二区域，并且下层的下部通过去除第一或第二域中的一个而被曝光。