公开(公告)号：KR101725529B1

公开(公告)日：2017-04-10

申请号：KR1020127028431

申请日：2011-02-16

申请人： 지고 코포레이션

发明人： 덱레슬리엘 ,  드그루트피터제이 ,  슈뢰더마이클

IPC分类号： G01D5/38 ,  G02B6/00 ,  H01L21/027

CPC分类号： G01D5/266 ,  G01D5/38

摘要： 인코더스케일의자유도에따른변화에관한정보를판정하는방법은, 제1 빔과제2 빔을상이한경로를따라지향시키고, 제1 빔및 제2 빔을결합하여출력빔을형성하는빔 지향및 결합단계로서, 제1 빔및 제2 빔이공통의광원로부터유도되고, 제1 빔제2 빔이상이한주파수를가지며, 제1 빔이비-리트로각(non-Littrow angle)으로인코더스케일과접촉하고, 제1 빔이인코더스케일로부터적어도한번회절하는, 빔지향및 결합단계와, 출력빔에기초하여간섭신호를검출하는검출단계로서, 간섭신호가제1 빔과제2 빔간의광 경로차에관련된헤테로다인위상을구비하는, 검출단계, 및헤테로다인위상에기초하여인코더스케일의자유도에관한정보를판정하는단계를포함한다.

公开(公告)号：KR101468520B1

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：KR1020107019672

申请日：2008-03-04

申请人： 휴렛-팩커드 디벨롭먼트 컴퍼니, 엘.피.

发明人： 파탈,데이비드에이. ,  프야트,안나 ,  보솔레일,레이몬드지. ,  우,웨이

IPC分类号： G01B11/26 ,  G01N21/25

CPC分类号： G01B11/26 ,  G01D5/38

摘要： 각도센서, 시스템및 방법은가이드된모드공진을이용한다. 각도센서는가이드된모드공진(GMR) 격자및 공진프로세서를포함한다. 공진프로세서는 GMR 격자에입사되는신호의입사각을결정한다. 공진프로세서는신호에대한 GMR 격자의가이드된모드공진응답을이용하여입사각을결정한다. 각도감지시스템은 GMR 격자, 및공진프로세서를포함하고, 신호를생성하는광학소스를더 포함한다. 방법은 GMR 격자를제공하는단계, 입사신호를받게되는경우에 GMR 격자에생성된가이드된모드공진을검출하는단계, 및입사신호에대한 GMR 격자의응답에존재하는가이드된모드공진들의개수, 및그들사이의스펙트럼거리중 하나또는양쪽모두로부터입사신호의입사각을결정하는단계를포함한다.

公开(公告)号：KR101400570B1

公开(公告)日：2014-05-27

申请号：KR1020137014297

申请日：2007-02-21

申请人： 가부시키가이샤 니콘

发明人： 시바자키유이치

IPC分类号： H01L21/66 ,  H01L21/027

CPC分类号： G01D5/38 ,  G03F7/70191 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70666 ,  G03F7/70775 ,  G03F9/7026

摘要： 계측치의 단기 안정성이 양호한 인코더 시스템 (39X
1 , 39X
2 , 39Y
1 , 39Y
2 , 62B, 62D, 62A, 62D) 에 의해 이동체 (WTB) 의 XY 평면내의 위치 정보가 공기 요동의 영향을 받지 않고 고정밀도로 계측됨과 함께, 면위치 계측 시스템 (74, 76) 에 의해 이동체의 XY 평면에 직교하는 Z 축 방향에 있어서의 위치 정보가 공기 요동의 영향을 받지 않고 고정밀도로 계측된다. 이 경우, 인코더 시스템 및 면위치 계측 시스템의 양자 모두 이동체 상면을 직접적으로 계측하고 있으므로, 심플하고 또한 직접적인 이동체의 위치 제어가 가능해진다.

公开(公告)号：KR101390624B1

公开(公告)日：2014-04-29

申请号：KR1020120066081

申请日：2012-06-20

申请人： 캐논 가부시끼가이샤

发明人： 미노다겐 ,  시오데요시히로 ,  미시마가즈히꼬 ,  마에다히로노리

IPC分类号： G03F9/00 ,  G01B11/00 ,  H01L21/027

CPC分类号： B29D11/00769 ,  B29L2011/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G01D5/38 ,  G02B5/18 ,  G03F7/0002 ,  G03F9/7038 ,  G03F9/7049 ,  G03F9/7069 ,  G03F9/7076 ,  Y10T29/49769

摘要： 위치 검출 장치는, 제1 방향과, 상기 제1 방향과 다른 제2 방향의 각각에서 주기를 갖는 제1 회절 격자와, 상기 제1 회절 격자의 제2 방향으로의 주기와 다른 주기를 제2 방향으로 갖는 제2 회절 격자를 경사 입사로 조명하는 조명 광학계, 및 상기 제1 회절 격자와 상기 제2 회절 격자로부터의 회절광을 검출하는 검출 광학계를 포함하고, 상기 제1 회절 격자와 상기 제2 회절 격자의 상대 위치가 검출된 회절광에 기초하여 검출되고, 상기 조명 광학계는 그 동공면 상에서, 상기 검출 광학계의 광축 상을 제외하고 제1 방향으로의 복수의 광 강도 분포를 포함한다.

公开(公告)号：KR1020140000405A

公开(公告)日：2014-01-03

申请号：KR1020120067251

申请日：2012-06-22

申请人： 주식회사 져스텍

发明人： 조규중

IPC分类号： G01D5/347

CPC分类号： G01D5/34792 ,  G01D5/38 ,  G01D11/245 ,  H03M1/12

摘要： The present invention relates to an optical encoder and, more specifically, to an optical encoder in which an increment type method and an absolute value method are mixed. The present invention includes a first random code lattice, a first repetitive pattern lattice, a light source, a second random code lattice, a second repetitive pattern lattice, a third repetitive pattern lattice, a first light detection unit, a second light detection unit, a third light detection unit, and a signal processing unit. [Reference numerals] (100) Control device; (102) LED module driving unit; (104) LED module; (106) Optical system; (108) First light detection unit; (110) Second light detection unit; (112) Third light detection unit; (114) Fourth light detection unit; (116) Signal processing unit

摘要翻译： 光学编码器技术领域本发明涉及一种光学编码器，更具体地说，涉及一种混合增量型方法和绝对值方法的光学编码器。 本发明包括第一随机码格，第一重复图案格，光源，第二随机码格，第二重复图案格，第三重复图案格，第一光检测单元，第二光检测单元， 第三光检测单元和信号处理单元。 （附图标记）（100）控制装置; （102）LED模块驱动单元; （104）LED模块; （106）光学系统; （108）第一光检测单元; （110）第二光检测单元; （112）第三光检测单元; （114）第四光检测单元; （116）信号处理单元

公开(公告)号：KR1020130134059A

公开(公告)日：2013-12-10

申请号：KR1020120057308

申请日：2012-05-30

申请人： 주식회사 져스텍

发明人： 조규중

IPC分类号： G01D5/26 ,  G01D5/347

CPC分类号： G01D5/3473 ,  G01D5/38 ,  G01D11/245 ,  G01D18/00

摘要： An optical system design method of an optical encoder according to the present invention includes a step of receiving information on design condition about an optical system including a pupil lattice, an image lattice, and an object lattice and a step of determining an optical system structure according to the information on the design condition by determining a slit pitch of the object lattice, the slit pitch of the image lattice, the distance between the pupil lattice and the image lattice, and the distance between the pupil lattice and the object lattice based on the information on the design condition. The information on the design condition includes the information on a wavelength of irradiated light, the slit pitch of the pupil lattice, and a ratio between Z1, which is an object distance between the pupil lattice and the object lattice, and Z2, which is an image distance between the pupil lattice and the images lattice. The slit pitch of the object lattice and the slit pitch of the image lattice are determined by applying a modulation frequency of the object lattice and the reverse of a reverse modulation frequency of the image lattice. The Z1, which is an object distance between the pupil lattice and the object lattice, is the one selected among multiples on a modulation intensity change cycle, and the Z2, which is an image distance between the pupil lattice and the images lattice, is calculated according to the ratio on the Z1. [Reference numerals] (100) Control device;(102) User interface part;(104) Memory part;(106) Display controller;(108) Display module;(AA) Optical system designing part

摘要翻译： 根据本发明的光学编码器的光学系统设计方法包括：接收关于包括瞳孔格子，图像晶格和对象点阵的光学系统的设计条件的信息的步骤，以及根据本发明的光学系统结构的步骤 通过确定物体点阵的狭缝间距，图像晶格的狭缝间距，瞳孔格子和图像晶格之间的距离以及瞳孔格子和对象点阵之间的距离，基于该设计条件的信息 关于设计条件的信息。 关于设计条件的信息包括关于照射光的波长，瞳孔格子的狭缝间距以及作为瞳孔格子和对象点阵之间的对象距离的Z1之间的比率的信息，Z2是 瞳孔与图像之间的图像距离格子。 通过施加对象晶格的调制频率和图像晶格的反向调制频率的相反来确定对象晶格的狭缝间距和图像晶格的狭缝间距。 作为瞳孔格子和对象点阵之间的物体距离的Z1是在调制强度变化周期的倍数中选择的Z1，并且计算作为瞳孔格点和图像格点之间的图像距离的Z2 根据Z1的比例。 （100）控制装置;（102）用户界面部;（104）存储部;（106）显示控制器;（108）显示模块;（AA）光系统设计部

公开(公告)号：KR1020130108767A

公开(公告)日：2013-10-07

申请号：KR1020120030461

申请日：2012-03-26

申请人： 주식회사 져스텍

发明人： 조규중

IPC分类号： G01D5/34 ,  G01D5/347

CPC分类号： G01D18/00 ,  G01D5/347 ,  G01D5/38

摘要： PURPOSE: A zero point detecting device of an optical encoder using a random code is provided to assemble output signals of light detecting elements, which are arranged corresponding to a random code pattern, according to the random code pattern and to substrate the assembled output signals, thereby enabling the generation of precise zero point detecting signals. CONSTITUTION: A zero point detecting device of an optical encoder using a random code includes a zero point detecting unit (100) and a third random code lattice. The zero point detecting unit is composed of a light source, a first random code lattice, a second random code lattice, and light detecting elements. The light source emits lights. The first random code lattice receives the lights emitted by the light source and transmits some of the lights according to a random code pattern caused by a random code. The second random code lattice transmits some of the incident lights according to the random code pattern. The light detecting elements detect the light transmitted by the second random code lattice, thereby generating light detecting signals. The third random code lattice is relatively moved with the zero point detecting unit and transmits some of the lights transmitted by the first random code lattice to the second random code lattice according to the random code. [Reference numerals] (100) Zero point detecting unit; (102) First control device; (104) First LED module driving unit; (106) First LED module; (108) 1-1 grating plate; (110) 1-1 random code lattice; (112) First window; (114) 1-3 grating plate; (116) 1-3 random code lattice; (118) 1-2 grating plate; (120) 1-2 random code lattice; (122) First photo detector; (124) First signal processing unit

摘要翻译： 目的：提供使用随机码的光学编码器的零点检测装置，根据随机码模式组装对应于随机码模式布置的光检测元件的输出信号，并对组合后的输出信号进行基板处理， 从而能够产生精确的零点检测信号。 构成：使用随机码的光学编码器的零点检测装置包括零点检测单元（100）和第三随机码格。 零点检测单元由光源，第一随机码格，第二随机码格和光检测元件组成。 光源发光。 第一个随机码格式接收由光源发射的光，并根据由随机码引起的随机码模式发射一些光。 第二随机码格式根据随机码模式传输一些入射光。 光检测元件检测由第二随机码格子发射的光，从而产生光检测信号。 利用零点检测单元相对移动第三随机码格，并根据随机码将由第一随机码格子发送的一些光发送到第二随机码格。 （附图标记）（100）零点检测单元; （102）第一控制装置; （104）第一LED模块驱动单元; （106）第一LED模块; （108）1-1光栅板; （110）1-1随机码格; （112）第一窗; （114）1-3光栅板; （116）1-3个随机码格; （118）1-2光栅板; （120）1-2个随机码格; （122）第一光检测器; （124）第一信号处理单元

公开(公告)号：KR1020130089191A

公开(公告)日：2013-08-09

申请号：KR1020130009955

申请日：2013-01-29

申请人： 덕터 요한네스 하이덴하인 게엠베하

发明人： 독터.홀자프펠,볼프강 ,  독터.마이스너,마르쿠스 ,  독터.무쉬,베른하르트 ,  독터.드레셔,외르크 ,  독터.요르거,랄프 ,  칼버러,토마스

IPC分类号： G01B11/00 ,  H01L21/66

CPC分类号： G01B11/14 ,  G01D5/266 ,  G01D5/38

摘要： PURPOSE: A position measuring device and a system including a plurality of the position measuring devices are provided to accurately measure a position of a movable target object regardless of the expansion of the target object and to cover all 6 degrees of freedom (DOF) of the movable target object. CONSTITUTION: A position measuring device includes a light source (2.1), a measurement standard (3), one or more reflectors, a retro-reflector (2.6), and a detector (2.5). The light source emits laser beams along a first main moving axis (y) to a direction of a target object (1). The measurement standard is positioned on the target objet and composed of scales arranged at a constant interval along a third axis (z). The reflector is separated from the target object and arranged along the third axis. Position signals in respect to the movement of the target object along the third axis are formed by a method of overlapping measurement beams produced from the laser beams and reference beams and arranged.

摘要翻译： 目的：提供一种位置测量装置和包括多个位置测量装置的系统，以精确地测量可移动目标物体的位置，而不管目标物体的膨胀如何，并覆盖目标物体的所有6自由度（DOF） 可移动目标物体 构成：位置测量装置包括光源（2.1），测量标准（3），一个或多个反射器，后向反射器（2.6）和检测器（2.5）。 光源沿着第一主移动轴线（y）向目标物体（1）的方向发射激光束。 测量标准定位在目标对象上，并由沿着第三轴（z）以恒定间隔布置的刻度组成。 反射器与目标物体分离并且沿着第三轴线布置。 通过重叠从激光束和参考光束产生的测量光束的方法来形成关于目标物体沿着第三轴的运动的位置信号，并且被布置。

公开(公告)号：KR1020130008513A

公开(公告)日：2013-01-22

申请号：KR1020127018362

申请日：2010-12-13

申请人： 에꼴레 폴리테크닉 ,  쌩뜨레 나티오날 데 라 르세르쉬 생띠끄 (씨. 엔. 알. 에스)

发明人： 보노드니콜라 ,  샹바레장폴

IPC分类号： G02B5/18 ,  G02B5/08 ,  G01D5/38

CPC分类号： G02B5/1861 ,  G01D5/38 ,  G02B5/0808

摘要： 본 발명은 적어도 4개의 평면 유전체 재료층들의 스택을 포함하고, 상부 유전체 재료층이 회절격자를 형성하기 위해 에칭되며, 격자의 에칭주기가 기설정되는, 광빔을 기설정된 스펙트럼 범위로 회절시키는 반사 회절격자를 얻기 위한 방법으로서, 에칭층을 포함하는 유전체 재료층들의 개수와 특성을 선택하는 단계; 유전체 재료층들 중 적어도 4개 및 기설정된 간격의 격자의 에칭 파라미터들 중 적어도 하나의 두께를 변경하면서 기설정된 증분 피치로 각각의 기설정된 회절격자 구성을 위한 스펙트럼 사용 범위에 속하는 주파수들의 샘플을 위해 회절차수들 중 적어도 하나의 반사 및/또는 투과 효율을 디지털적으로 계산하는 단계; 및 계산된 구성들 가운데에서, 제공된 격자의 이용에 따른 기준을 기초로 적어도 하나의 구성을 선택하는 단계를 실행하는 것을 특징으로 하는 반사 회절격자를 얻기 위한 방법에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR101185462B1

公开(公告)日：2012-10-02

申请号：KR1020100113864

申请日：2010-11-16

申请人： 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.

发明人： 반데르파쉬,엥겔베르투스안토니우스프란시스쿠스 ,  오이센,에밀요제프멜라니 ,  루프스트라,에릭로엘로프

IPC分类号： H01L21/027 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/70775 ,  G01D5/38

摘要： 이동가능한 대상물의 또 다른 대상물에 대한 위치를 측정하는 위치 측정 시스템은 이동가능한 대상물 및 다른 대상물 중 하나에 장착되고, 각각 측정 방향을 따라 측정 빔을 방출할 수 있는 2 이상의 일차원(1D) 인코더 헤드, 이동가능한 대상물 및 다른 대상물 중 다른 하나에 장착된 1 이상의 기준 타겟- 각각의 기준 타겟은 2 이상의 일차원(1D) 인코더 헤드와 상호작동하는 그리드 또는 격자를 갖는 평평한 표면을 포함함 -, 및 2 이상의 1D 인코더 헤드의 출력들에 기초하여 대상물의 위치를 계산하는 프로세서를 포함하며, 2 이상의 1D 인코더 헤드 각각의 측정 방향은 각각의 기준 타겟의 평평한 표면에 수직하지 않다.

摘要翻译： 移动位置测量系统还测量可能的对象的其他物体安装在所述可移动物体和所述另一物体中的一个的2的位置，每一个一维（1D）或更多，其能够沿所述编码器头的测量方向上发射的测量光束的， 可移动物体和安装在另一方的其他对象的一个​​或多个参考目标 - 良好的每个参考目标包括具有网格或与至少两个一维（1D）的编码器头，其协同工作的光栅中的平坦表面 - ，和至少两个一维 其中，两个或更多个1D编码器头中的每一个的测量方向不垂直于每个参考目标的平坦表面。