公开(公告)号：KR1020140006821A

公开(公告)日：2014-01-16

申请号：KR1020137017020

申请日：2011-10-25

申请人： 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.

发明人： 샌드스트롬리차드엘.

IPC分类号： G02B5/08

CPC分类号： G02B17/004 ,  G02B7/1815 ,  G02B7/1825 ,  H01S3/076 ,  H01S3/2325

摘要： 장치는 제1 복수의 오목 반사면; 상기 제1 복수의 오목 반사면과 대향하여 상기 제1 복수의 오목 반사면과의 사이에 영역이 형성되는 제2 복수의 반사면; 및 상기 영역에 광빔이 들어가는 입력부 및 상기 영역으로부터 상기 광빔이 나오는 출력부를 포함하고 있다. 상기 제1 복수의 오목 반사면과 제2 복수의 반사면은, 상기 광빔이 상기 제1 복수의 오목 반사면과 제2 복수의 반사면중 하나의 복수의 반사면중 하나의 반사면에서, 상기 제1 복수의 오목 반사면과 제2 복수의 반사면중 다른 복수의 반사면중 하나의 반사면으로부터의 오직 하나의 반사 후에 재이미지화되도록 그리고, 상기 제1 복수의 오목 반사면과 제2 복수의 반사면의 각각에 2개 이상의 광빔의 오버랩이 방지되도록 하는 관계로 서로 배열되어 있다.

公开(公告)号：KR1020120099474A

公开(公告)日：2012-09-10

申请号：KR1020127016494

申请日：2005-01-13

申请人： 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하

发明人： 쉐퍼,데이빗 ,  울리히,빌헬름 ,  도도크,아우렐리안 ,  폰뷔나우,루돌프 ,  만,한스-위르겐 ,  에플레,알렉산더

IPC分类号： G02B17/08 ,  G02B17/00 ,  G02B13/18 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/70958 ,  G02B13/22 ,  G02B17/0812 ,  G02B17/0892 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70275 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70966 ,  G02B13/18 ,  G02B17/004

摘要： 투영 대물렌즈의 물체 평면 내에 제공된 패턴을 투영 대물렌즈의 이미지 평면 위에 결상시키기 위한 반사굴절식 투영 대물렌즈는: 물체 평면 내에 제공된 패턴을 제 1 중간상으로 결상시키기 위한 제 1 대물렌즈부; 상기 제 1 중간상을 제 2 중간상으로 결상시키기 위한 제 2 대물렌즈부; 상기 제 2 중간상을 이미지 평면 위로 직접 결상시키기 위한 제 3 대물렌즈부;를 포함하며, 여기서 제 1 연속 미러면을 갖는 제 1 오목 미러와 제 2 연속 미러면을 갖는 적어도 하나의 제 2 오목 미러가 상기 제 2 중간상의 상류측에 배치되어 있으며; 동공면들이 물체 평면과 제 1 중간상 사이, 제 1 중간상과 제 2 중간상 사이, 그리고 제 2 중간상과 이미지 평면 사이에 형성되어 있고; 모든 오목 미러들은 동공면으로부터 광학적으로 떨어져 배치되어 있다. 상기 시스템은 적당한 렌즈 재료 소비량에서 매우 높은 개구수에 대한 가능성을 갖는다.

摘要翻译： 投影反射折射投影，用于物镜的像平面上图像形成的物镜投射在物镜包括的物平面提供一个模式：用于成像在物面设置成第一中间图像的图案的第一目标部分; 第二物镜部分，用于将第一中间图像成像为第二中间图像; 以及第三物镜部分，用于将第二中间图像直接成像在像平面上，其中至少一个第二凹面镜具有第一连续镜面和第二连续镜面 第二中间阶段的上游侧; 光瞳面在物面和第一中间图像和第二中间图像之间和第2中间图像和像面之间，并且所述第一中间图像之间形成 所有凹面镜均以光学方式远离光瞳平面布置。 该系统具有在合理的镜片材料消耗下具有非常高的数值孔径的潜力。

公开(公告)号：KR1020040030255A

公开(公告)日：2004-04-09

申请号：KR1020030056179

申请日：2003-08-13

申请人： 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.

发明人： 바커레비누스피에터 ,  욘커스예뢴 ,  슈우르만스프랭크예뢴피에터 ,  비서휴고마티유

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： B82Y10/00 ,  G02B17/004 ,  G02B17/006 ,  G02B27/0043 ,  G03F7/70166 ,  G03F7/70175 ,  G03F7/70891 ,  G03F7/70916

摘要： PURPOSE: A reflector assembly for reflecting an electromagnetic ray, a lithography projection apparatus, a radiant ray source and a method for preparing an integrated structure by lithography are provided, to inhibit debris with hardly affecting EUV transparency. CONSTITUTION: The reflector assembly comprises at least first reflector(21) and second reflector(22), wherein the first and second reflectors are extended to the direction of an optical axis line(O) having reflecting faces(26, 27) and baking faces(24, 25), a virtual line perpendicular to the optical axis line(O) crosses the first reflector at the first distance(r1) from the optical axis line and the second reflector at the second distance(r2) from the optical axis line, and the first distance(r1) is longer than the second distance(r2). The ray come from a certain point on the optical axis line is screened by the second reflector and is reflected on the reflection face of the first reflector to form high radiation intensity zone(zh) and a low radiation intensity zone(zl) between the two reflectors. A converter member connected with a signal lead for supplying signal to a treatment member separated from the reflectors is located on the baking face of the second reflector in the zone(zl).

摘要翻译： 目的：提供用于反射电磁射线的反射器组件，光刻投影装置，辐射源和通过光刻制备集成结构的方法，以抑制几乎不影响EUV透明度的碎片。 构成：反射器组件包括至少第一反射器（21）和第二反射器（22），其中第一和第二反射器延伸到具有反射面（26,27）和烘烤面（20）的光轴线（O）的方向 （24,25），垂直于所述光轴线（O）的虚拟线与所述第一反射器相距所述第一距离（r1）与所述光轴线和所述第二反射器相距所述第二距离（r1）与所述光轴线 ，第一距离（r1）比第二距离（r2）长。 来自光轴线上的某一点的光线被第二反射体屏蔽，并被反射在第一反射器的反射面上以形成两个之间的高辐射强度区域（zh）和低辐射强度区域（z1） 反射器。 与区域（z1）中位于第二反射器的烘烤面上的与用于向与反射器分离的处理构件提供信号的信号引线连接的转换器构件。

公开(公告)号：KR1020150053759A

公开(公告)日：2015-05-18

申请号：KR1020157005704

申请日：2013-09-05

申请人： 리모 파텐트페어발퉁 게엠베하 운트 코. 카게

发明人： 미트라토마스

IPC分类号： G02B19/00 ,  B23K26/073 ,  G02B27/09

CPC分类号： G02B27/0977 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/0738 ,  G02B5/136 ,  G02B17/004 ,  G02B17/0868 ,  G02B19/0057 ,  G02B27/0966 ,  G02B27/0972

摘要： 이발명은작동면에레이저광(1)을포커싱하는장치로서, 편향거울(2); 오프셋(d)을가진렌즈정점들(S1, S2)을가지며제 1 투과부분(32) 및상기제 1 투과부분(32)과는다른제 2 투과부분(33)을포함하는원통형렌즈수단(3); 및광축(O)을가진역반사체수단;을포함하고, 상기편향거울(2)은장치의작동동안레이저광(1)을편향시킬수 있도록장치의빔 경로내에배치됨으로써, 레이저광이역반사체의광축(O)에대해실질적으로평행하게전파될수 있고실린더렌즈수단(3)의제 1 투과부분(32)을통해투과될수 있으며, 후속해서역반사체수단에의해역반사될수 있어서, 레이저광(1)이실린더렌즈수단(3)의제 2 투과부분(33)을통해투과될수 있고작동면(5) 내에포커싱될수 있다. 또한, 이발명은레이저광의포커싱방법에관한것이다.

公开(公告)号：KR101445399B1

公开(公告)日：2014-09-26

申请号：KR1020087013490

申请日：2007-03-16

申请人： 가부시키가이샤 니콘

发明人： 가토마사키

IPC分类号： H01L21/027

CPC分类号： G02B17/004 ,  G02B17/08 ,  G02B27/0043 ,  G03F7/70216 ,  G03F7/70275 ,  G03F7/70791

摘要： 주사 방향의 전방측에 배치된 제1 투영 광학계(PL2)와 주사 방향의 후방측에 배치된 제2 투영 광학계(PL1)를 이용하여, 제1 투영 광학계 및 제2 투영 광학계와 제1 물체(M) 및 제2 물체(P)의 주사 방향에 관한 위치 관계를 변화시키면서 제1 물체의 패턴을 제2 물체위에 전사 노광하는 주사형 노광 장치에 있어서, 제1 투영 광학계 및 제2 투영 광학계는 각각 제1 물체위에 있어서 시야내의 확대상을 제2 물체위의 상 시야내에 형성하고, 제1 투영 광학계 및 제2 투영 광학계의 상기 시야 중심 사이의 주사 방향에 있어서 간격을 Dm으로 하고, 제1 투영 광학계 및 제2 투영 광학계에 의한 상 시야 중심 사이의 상기 주사 방향에 있어서 간격을 Dp로 하고, 제1 투영 광학계 및 제2 투영 광학계 각각의 투영 배율을
β 로 할 때, Dp ＜ Dm×|
β |(단, |
β | > 1)을 만족한다.

公开(公告)号：KR101225817B1

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：KR1020087001704

申请日：2006-06-22

申请人： 닛샤 가부시키가이샤

发明人： 요시카와구미코 ,  히로베노부야스

IPC分类号： H04B1/38

CPC分类号： H04M1/0283 ,  G02B17/004 ,  G02B17/006 ,  G02B27/2221 ,  H04M1/0266 ,  Y10T428/24355

摘要： 모든 가시광선을 반사하는 제 1 박막(M1)은 투명 부재(3)의 외부면중 이면(3a)위에 형성되고, 가시광선의 일부를 반사하고 가시광선의 일부를 투과하는 제 2 박막(M2)은 상기 이면(3a)에 대면하는 전방면(3b)상에서 상기 제 1 박막(M1)에 대면하는 적어도 하나의 위치에 형성되며, 반사될 대상(T)은 상기 투명 부재(3)의 외부면 또는 내부의 적어도 어느 쪽위의 영역에 제공되며, 반사될 대상(T)에 의하여 형성되는 다중 반사 이미지(Z)는 상기 제 1 박막(M1)과 제 2 박막(M2)사이에서 복수회 반사되며, 상기 전방면(3b)로 부터 가시성으로 된다.
제 1 박막, 제 2 박막, 대상, 다중 반사 이미지

公开(公告)号：KR1020080072174A

公开(公告)日：2008-08-06

申请号：KR1020070010564

申请日：2007-02-01

申请人： 박상열

发明人： 박상열

IPC分类号： G02B23/02

CPC分类号： G02B23/02 ,  G02B17/004 ,  G02B17/08

摘要： An astronomical telescope using a right angle glass is provided to improve portability of the astronomical telescope by arranging a first sub reflective mirror in a foldable manner. A main reflective mirror(200), which is made of a concave mirror, is implemented at one end of a rectangular barrel(100). A second sub reflective mirror(400) of a rectangular planar mirror shape is formed in an angle of 45 degrees at the other side of the rectangular barrel. A first sub reflective mirror(300) of a rectangular planar mirror shape is formed on the second sub reflective mirror in a normal direction. A hole is formed in the middle of the second sub reflective mirror. A focal point of the main reflective mirror passes through the hole. An eye lens(500) for viewing an image magnified by the main reflective mirror is arranged behind the second sub reflective mirror.

摘要翻译： 提供了使用直角玻璃的天文望远镜，以通过以可折叠的方式布置第一子反射镜来改善天文望远镜的便携性。 在矩形筒（100）的一端上实现由凹面镜制成的主反射镜（200）。 矩形平面镜形状的第二子反射镜（400）在矩形筒的另一侧以45度的角度形成。 在正反方向上在第二副反射镜上形成矩形平面镜形状的第一副反射镜（300）。 在第二副反射镜的中间形成有孔。 主反射镜的焦点通过孔。 用于观看由主反射镜放大的图像的眼睛透镜（500）布置在第二子反射镜后面。

公开(公告)号：KR1020080044826A

公开(公告)日：2008-05-21

申请号：KR1020087001704

申请日：2006-06-22

申请人： 닛샤 가부시키가이샤

发明人： 요시카와구미코 ,  히로베노부야스

IPC分类号： H04B1/38

CPC分类号： H04M1/0283 ,  G02B17/004 ,  G02B17/006 ,  G02B27/2221 ,  H04M1/0266 ,  Y10T428/24355

摘要： A first membrane M1 that reflects all visible light is formed on a back surface 3a among outer surfaces of a transparent member 3, a second membrane M2 that reflects part of visible light and transmits part of visible light is formed on at least a position facing the first membrane M 1 on a front surface 3b facing the back surface 3a, a subject to be reflected T is provided in an area at least either on an inner portion or the outer surface of the transparent member 3, a multiple reflection image Z formed by the subject to be reflected T being projected on the first membrane M1 and the second membrane M2 is reflected a plurality of times between the first membrane M1 and the second membrane M2, and becomes visible from the front surface 3b.

摘要翻译： 反射所有可见光的第一膜M1形成在透明构件3的外表面之间的背面3a上，反射部分可见光并透射部分可见光的第二膜M2形成在至少面向 第一膜M 1在面向后表面3a的前表面3b上，被反射物体T设置在透明构件3的内部或外表面上的至少一个区域中，多反射图像Z由 将被反射的被投影在第一膜M1上的物体和第二膜M2在第一膜M1和第二膜M2之间被反射多次，并且从前表面3b变得可见。

公开(公告)号：KR1020020071482A

公开(公告)日：2002-09-12

申请号：KR1020020011702

申请日：2002-03-05

申请人： 캐논 가부시끼가이샤

发明人： 후지바야시가즈오 ,  도치기노부유키

IPC分类号： H04N1/04

CPC分类号： G02B17/086 ,  G02B17/004 ,  G02B17/023 ,  G02B17/0663 ,  G02B17/0848 ,  H04N1/03 ,  H04N1/0305 ,  H04N1/0318 ,  H04N1/1017 ,  H04N1/192 ,  H04N2201/02493 ,  H04N2201/03112 ,  H04N2201/03116 ,  H04N2201/03129 ,  H04N2201/03137 ,  H04N2201/03145

摘要： PURPOSE: An image reading and imaging optical system and an image reading apparatus thereof are provided to realize high speed and high resolution by scanning conveniently and integrally with a carriage in reading digital color image. CONSTITUTION: An image reading and imaging optical system for imaging image information on a line sensor(5) and reading the image information has an imaging optical element including a plurality of off-axial reflecting surfaces differing in the direction of incidence and the direction of emergence of a reference axis ray from one another and having curvatures. The chromatic aberration is reduced, and scanning is performed integrally with the carriage during reading the digital color image. The asymmetrical aberration is restricted, and degradation of the optical system is prevented.

摘要翻译： 目的：提供一种图像读取和成像光学系统及其图像读取装置，通过与读取数字彩色图像的滑架方便地整体扫描来实现高速度和高分辨率。 构成：用于在线传感器（5）上成像图像信息并读取图像信息的图像读取和成像光学系统具有成像光学元件，其包括在入射方向和出射方向上不同的多个离轴反射表面 的参考轴线彼此并且具有曲率。 降低色差，并且在读取数字彩色图像期间与滑架一体地执行扫描。 不对称像差受到限制，并且防止了光学系统的劣化。

公开(公告)号：KR101873951B1

公开(公告)日：2018-07-03

申请号：KR1020137017020

申请日：2011-10-25

申请人： 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.

发明人： 샌드스트롬리차드엘.

IPC分类号： G02B5/08

CPC分类号： G02B17/004 ,  G02B7/1815 ,  G02B7/1825 ,  H01S3/076 ,  H01S3/2325

摘要： 장치는제1 복수의오목반사면; 상기제1 복수의오목반사면과대향하여상기제1 복수의오목반사면과의사이에영역이형성되는제2 복수의반사면; 및상기영역에광빔이들어가는입력부및 상기영역으로부터상기광빔이나오는출력부를포함하고있다. 상기제1 복수의오목반사면과제2 복수의반사면은, 상기광빔이상기제1 복수의오목반사면과제2 복수의반사면중에하나의복수의반사면중 하나의반사면에서, 상기제1 복수의오목반사면과제2 복수의반사면중에나머지복수의반사면중 하나의반사면으로부터의오직 1회의반사후에재이미지화되도록그리고, 상기제1 복수의오목반사면과제2 복수의반사면의각각에서 2개이상의광빔의오버랩이방지되도록하는관계로서로배열되어있다.