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公开(公告)号：KR102475731B1
公开(公告)日：2022-12-07
申请号：KR1020220113506
申请日：2022-09-07
摘要： 석영유리튜브가공장치가개시된다. 개시된석영유리튜브가공장치는본체부; 구동모터에의해전동방식으로회전되며, 상기본체부의일측부로수평되게설치되며, 말단부에석영유리튜브의고정장착이이루어지는튜브고정부가구성된튜브회전부; 상기본체부의타측부에구성되는상부에전후방향및 좌우방향으로이동하는이송테이블을구비한이송테이블장치; 상기이송테이블에고정설치되며말단부에커팅휠또는연마휠을각각교체장착하여회전구동시킴으로써상기커팅휠을통해석영유리튜브의길이커팅이이루어지도록하고, 상기연마휠을통해석영유리튜브의내주면및 외주면을그라인딩하여타원형이아닌균일한관두께를갖는완전한원형관형태로가공하는튜브치수가공부; 상기이송테이블에고정설치되되, 상기튜브치수가공부와전후로나란히배치되도록구성되며, 말단부에랩부재나폴리싱패드가교체장착하도록구성되어, 석영유리튜브의내주면및 외주면을상기랩부재나폴리싱패드로가압하고석영유리튜브의길이방향을따라좌우왕복운동하면서상기석영유리튜브에대한래핑가공또는폴리싱가공이이루어지도록하는튜브표면가공부; 상기튜브표면가공부의래핑가공또는폴리싱가공에따라래핑액또는폴리싱액을선택적으로석영유리튜브에주입하는가공액공급수단;을포함하는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR102474519B1
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：KR1020180050381
申请日：2018-05-02
摘要： 본발명은기판처리장치에관한것으로, 기판의연마공정이행해지는기판처리장치는, 기판의상면을연마하는연마패드와, 연마패드의상면에접촉되는멤브레인을구비하며기판에대해이동하는연마헤드를포함하는것에의하여, 연마안정성및 연마정확도를높이는유리한효과를얻을수 있다.
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公开(公告)号：KR102448830B1
公开(公告)日：2022-09-29
申请号：KR1020170104497
申请日：2017-08-18
IPC分类号： B24B37/04 , B24B37/20 , B24B7/24 , H01L21/304
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公开(公告)号：KR102436344B1
公开(公告)日：2022-08-24
申请号：KR1020160134916
申请日：2016-10-18
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/306 , H01L21/67 , B24B37/04 , B24B7/24
摘要： (과제) 링의네스트상태에서기인한통상벨로스커버의파손을방지하는것. (해결수단) 가공수단의이동에추종하여변형되는통상벨로스커버 (91) 로서, 복수의링 (96) 과, 복수의링을평행하게연결하는통상의벨로스천 (97) 과, 벨로스천의각 산부로부터외방으로돌출되는복수의돌출부 (98) 와, 각돌출부에형성된구멍 (99) 을통과하는와이어부재 (101) 를구비하고, 와이어부재에의해각 돌출부의이동이가이드됨으로써, 복수의보강링이네스트상태가되는것이방지되는구성으로하였다.
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公开(公告)号：KR102394173B1
公开(公告)日：2022-05-09
申请号：KR1020200167288
申请日：2020-12-03
摘要： 후처리공정으로통해접힘이가능한얇은두께로된 유리재질의박판글라스를대량으로정밀연마하여후처리후 접힘동작시접힘되거나구부리는것을원활하게할 수있는접힘효율향상을위한박판글라스정밀가공장치및 그가공방법에관한것이다. 전자기기에사용되는박판글라스의어느편측을접힘또는굴곡형태로변형시킬때, 상기박판글라스의내·외측으로접히는절곡부위에가해지는압력또는응력을완화시킬수 있도록상기박판글라스를수직으로세워고정한다음, 상기박판글라스의외면을수직또는수평형태의연마드럼이외측으로확장되거나내측으로축소되면서연마할수 있는정밀가공장치를구비한다. 따라서본 발명은후처리공정전 유리재질의박판글라스를수직으로세워고정되도록공급시켜접힘또는굴곡이이루어지는절곡부위를정밀가공장치에의해정밀한음각라운드연마를통해상기박판글라스의후처리공정완료후 재질의변화로소재의물성이변형되더라도절곡부위에발생될수 있는파손및 크랙등을최소화시킬수 있는이점이있다.
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公开(公告)号：KR102343830B1
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：KR1020167026260
申请日：2015-02-23
IPC分类号： B24B7/24 , B24B9/10 , B24B27/033
摘要： 유리처리기기는작업휠의작업표면이유리시트의표면부분을기계가공하기위해회전하도록구성된작업휠을포함한적어도하나의상류작업장치를포함한다. 유리처리기기는하류작업장치를더 포함하고, 상기하류작업장치는세정휠을포함한작업휠을포함한다. 다른실시예에있어서, 유리처리방법은제1 회전하는작업휠의작업표면으로써유리시트의표면부분을기계가공하는단계와, 세정휠을포함한제2 회전하는작업휠의작업표면으로써상기유리시트의표면부분을기계가공하는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR102240191B1
公开(公告)日：2021-04-14
申请号：KR1020140184347
申请日：2014-12-19
申请人： 에이지씨 가부시키가이샤
摘要： 본발명의과제는, 유리기판의주표면을에칭처리한후의단부가절결되기어려운유리기판을제공하는것이다. 그의해결수단으로서, 주표면과단부를갖고, 상기단부가연삭된유리기판이며, 상기유리기판의단면에서보아, 상기단부의최선단으로부터상기주표면에대하여평행방향으로 25㎛의거리에서의상기단부의상기주표면에대하여직교방향의폭 W1이 160㎛이상인것을특징으로하는유리기판이제공된다.
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公开(公告)号：KR102232039B1
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：KR1020157001844
申请日：2013-06-10
申请人： 제이에이치 로드스 컴퍼니, 인크
发明人： 문시,브렌트 , 앤더슨,제임스 , 다스키비치,스코트비. , 와질스지크,조오지,제임스
摘要： 본발명은비평면부분들을가진워크피스를연마하기위한연마패드에관한것으로서, 상기연마패드는연마패드의제1 면과제2면을포함한다. 제1 면은실질적으로평평하고, 제2 면은비평면워크피스를연마하도록구성된다. 연마패드는연마패드내에동심구조의원형채널을추가로포함하는데, 상기동심구조의원형채널채널은채널표면을포함하고, 연마패드의제2 면은내부표면, 채널표면, 및외부표면을포함하며, 채널표면은내부표면과외부표면에대해오목하게형성된다. 연마패드는동심구조의원형채널내에위치된복수의아일랜드를추가로포함하는데, 아일랜드는채널표면에대해상승된아일랜드표면을포함한다.
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公开(公告)号：KR102228820B1
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：KR1020140173641
申请日：2014-12-05
申请人： 에이지씨 가부시키가이샤
发明人： 사토히로시
摘要： 본발명은, 흡착스테이지에대한박리성을향상시킨유리판, 유리판의제조장치및 유리판의제조방법을제공한다. 유리판(G)의하면(G1)에슬러리(14)를공급하는하단노즐(16)과, 유리판(G)의하면(G1)에가압됨과함께, 유리판(G)의하면(G1)에직교하는회전축(12A)을중심으로회전되는연마구(12)를구비한유리판의제조장치를사용하여, 유리판(G)의하면(G1)에하단노즐(16)로부터슬러리(14)를공급하면서, 연마구(12)에의하여하면(G1)을연삭함으로써, 하면(G1)에있어서의최대골 깊이 Rv(JIS B 0601·2013)가 3.0㎚
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