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    횡모드 억제를 위한 표면 탄성파 디바이스
    1.
    发明授权
    횡모드 억제를 위한 표면 탄성파 디바이스 有权

    公开(公告)号：KR102431710B1

    公开(公告)日：2022-08-11

    申请号：KR1020170065549

    申请日：2017-05-26

    IPC分类号： H01L41/047 ,  H01L41/18 ,  H01L41/083

    摘要： 본발명의일 측면에따른표면탄성파디바이스는, 압전기판; 상기압전기판상에형성된서로대향하는제1 및제2 버스바; 상기압전기판상에형성되고, 상기제1 및제2 버스바사이의상기제1 버스바쪽에상기제1 버스바의길이방향을따라길게형성된제1 절연체바; 상기압전기판상에형성되고, 상기제1 및제1 버스바사이의상기제2 버스바쪽에상기제2 버스바의길이방향을따라길게형성된제2 절연체바; 상기제1 버스바와전기적으로접속되고, 상기제1 버스바로부터상기제2 버스바쪽으로연장형성되며, 끝단이상기제2 절연체바 상에위치하도록형성되어상기제1 절연체바 상의부분및 상기제2 절연체바 상의부분이돌출되는복수의제1 인터디지털전극들; 및상기제1 인터디지털전극들과교번배열되는복수의제2 인터디지털전극들로서, 상기제2 버스바와전기적으로접속되고, 상기제2 버스바로부터상기제1 버스바쪽으로연장형성되며, 끝단이상기제1 절연체바 상에위치하도록형성되어상기제2 절연체바 상의부분및 상기제1 절연체바 상의부분이돌출되는복수의제2 인터디지털전극들을포함한다.

    압전 단결정 잉곳의 제조 방법 및 압전 단결정 잉곳
    2.
    发明授权
    압전 단결정 잉곳의 제조 방법 및 압전 단결정 잉곳 有权

    公开(公告)号：KR102348443B1

    公开(公告)日：2022-01-06

    申请号：KR1020197036300

    申请日：2018-07-06

    IPC分类号： C30B11/00 ,  C30B11/04 ,  C30B29/22 ,  C30B29/32 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H01L41/41 ,  H01L41/47

    摘要： 단결정성장방향으로 PbTiO3의농도의변동의폭이좁은압전단결정잉곳의제조방법을제공한다. 소정의조성이되도록, Pb(B1,B2)O3의조성식을가지는릴랙서와, PbTiO3의조성을가지는타이타늄산납을배합한원료를육성감과에충전하고, 융점이상으로가열하여융액층으로한 후에, 저온방향으로육성감과를이동시켜서, 감과의하부로부터일방향응고를개시시켜, 단결정을제조하는브리지맨법을이용하여, 전율고용형압전단결정잉곳을제조한다. 일방향응고시키는도중에, 육성감과중에, 최대입경이 3mm 이하인릴랙서및 타이타늄산납을포함하는원료를연속적으로공급한다. 이에의해, PbTiO3의농도가거의일정하고, 또한 PbTiO3의농도의변동폭이결정성장방향으로 100mm 이상의길이에걸쳐서 ±0.5mol% 이하가되어, 우수한압전특성을갖는압전소자를수율높게제작할수 있는압전단결정잉곳을용이하게제조할수 있다.

    고순도 AlxGa1-xN (0.5≤x≤1) 압전 박막을 제조하는 방법 및 이 박막을 이용하는 장치
    3.
    发明授权
    고순도 AlxGa1-xN (0.5≤x≤1) 압전 박막을 제조하는 방법 및 이 박막을 이용하는 장치 有权

    公开(公告)号：KR102315908B1

    公开(公告)日：2021-10-21

    申请号：KR1020190033781

    申请日：2019-03-25

    IPC分类号： H01L41/18 ,  H01L41/316 ,  H01L41/317

    摘要： 본개시는 AlxGa1-xN (0.5≤x≤1) 압전박막을제조하는방법에있어서, 사파이어성막기판에희생층을형성하는단계;로서, 희생층은화학적기상증착법(CVD; Chemical Vapor Deposition)으로형성된 3족질화물및 물리적기상증착법(PVD; Physical Vapor Deposition)으로형성된 2족또는 3족산화물을포함하는산화물중의하나로이루어지는, 희생층을형성하는단계; 그리고, 희생층위에 AlxGa1-xN (0.5≤x≤1) 압전박막을증착하는단계;로서, AlxGa1-xN (0.5≤x≤1) 압전박막은 0.3Tm(Tm; 압전박막물질의녹는점) 이상의온도에서물리적기상증착법으로증착되는, 압전박막을증착하는단계;를포함하는것을특징으로하는 AlxGa1-xN (0.5≤x≤1) 압전박막을제조하는방법에관한것이다.

    플렉시블 촉각 액추에이터
    5.
    发明授权
    플렉시블 촉각 액추에이터 有权

    公开(公告)号：KR102185084B1

    公开(公告)日：2020-12-01

    申请号：KR20170174106

    申请日：2017-12-18

    IPC分类号： H01L41/09 ,  G06F3/01 ,  H01L41/18

    摘要： 일실시예에따른플렉시블촉각액추에이터는, 외부자기장에반응하여분극이가능한자성입자및 상기자성입자를함유하는매트릭스레이어를포함하고, 휘어질수 있는촉각전달부; 상기촉각전달부의하방에위치하고, 상기촉각전달부에자기장을발생시키는자기장생성부; 및적어도일부가상기자기장생성부의상면에면 접촉하고, 상기촉각전달부의상면및 하면중 어느하나의면과면 접촉하도록고정되는막 형상의탄성부재를포함할수 있다.