Simplified title:光学信息记录媒体用记录膜,光学信息记录媒体,及溅镀靶 RECORDING FILM FOR USE IN OPTICAL INFORMATION RECORDING MEDIUM, OPTICAL INFORMATION RECORDING MEDIUM, AND SPUTTERING TARGET
Abstract in simplified Chinese:本发明提供了一种用于光学信息记录媒体的记录膜以及一种光学信息记录媒体,所述记录膜具有优异生产率并且也具有优异耐久性(记录保持性),本发明包括如下:(1)在光学信息记录媒体中使用的记录膜,其热导率为0.8W/Kcm或更小,对波长为0.3μm~1.0μm的光的光吸收率为15%或更高,熔融温度为300~800℃,(2)光学信息记录媒体,其中记录膜包括如上所述的记录膜,以及(3)用于形成所述记录膜的溅镀靶。
Abstract in simplified Chinese:本发明系提供一种可挠性铜基板用阻障膜,其特征在于,系由含有Cr:5~30wt%、Ti及/或Zr:1~10wt%、剩余部份为不可避免之杂质及Ni形成之Ni-Cr系合金薄膜所构成,其膜厚为3~150nm、膜厚均一性在1σ(一个标准差)的范围为10%以下。本发明亦提供一种阻障膜形成用溅镀靶,其特征在于,系含有Cr:5~30wt%、Ti及/或Zr:1~10wt%、剩余部份为不可避免之杂质及Ni形成之Ni-Cr系合金,溅蚀面在面内方向的相对磁导率为100以下。本发明之可挠性铜基板用阻障膜及阻障膜形成用溅镀靶,在抑制铜扩散至聚亚酰胺等之树脂薄膜时,即使是以不产生膜剥离程度之薄的膜厚、或细的配线间距,亦能得到充分的阻障效果,并且,即使因热处理等而使温度上升,阻障特性亦不会改变。
Abstract in simplified Chinese:本发明之成膜设备与成膜方法,系对于背面配置有永久磁铁(10)之阴极(5)施加来自HF电源(11)之高频电压来产生反应模式之等离子,使用此等离子进行等离子聚合成膜。另外,调整真空室(1)内之等离子源气体压力,来产生非反应模式而是金属模式之等离子,使用此等离子,对做为靶之阴极(5)进行溅镀来进行磁控溅镀成膜。
Abstract in simplified Chinese:一种可挠性铜基板用阻障膜,其特征在于:系由含有Cr5~30重量%、且剩余部份为不可避免之杂质与Co所构成之Co-Cr合金膜所形成者,膜厚为3~150nm,膜厚均匀性以1σ订为10%以下;以及一种阻障膜形成用溅镀靶,其特征在于:系由含有Cr5~30重量%、且剩余部份为不可避免之杂质与Co所构成之Co-Cr合金,溅镀面之面内方向的相对磁导率为100以下。获得一种可挠性铜基板用阻障膜,在抑制铜朝聚酰亚胺等树脂膜之扩散之际,以不致发生膜剥离之程度的薄厚度,且即使面对微细之配线间距亦可得到充分之阻障效果,再者即使因为热处理等造成温度上升,阻障特性也不会变化;另获得一种阻障膜形成用溅镀靶。
Abstract in simplified Chinese:一种防电磁干扰屏蔽罩之制造方法,系采用磁控溅镀工艺于基板上沉积导电膜层,其主要包括以下步骤:制备磁控溅镀靶模块及待溅镀基板,并将其安装于溅镀室内,其中该磁控溅镀靶模块包括至少一个由被溅镀材料制成之靶板;将溅镀室抽真空至一定真空度;向溅镀室以一定流速导入工作气体至溅镀室内达一定气压;借由一电源给上述磁控溅镀靶模块供给电压而激发溅镀过程,使所述靶板之组成微粒从靶板表面被溅射出来并沉积于基板表面形成导电膜层;当基板上所沉积之导电膜层达所需厚度时停止溅镀过程,取出被溅镀基板从而获得防电磁干扰屏蔽罩。由本方法制造之防电磁干扰屏蔽罩表面导电镀层均匀且与基体间附着牢固。
Abstract in simplified Chinese:一种光学数据记录和存储媒体,包括一层薄的半反射层和一层高反射层,其中半反射层由银合金所形成,该合金包括纯银及占总重量约0.到1.0wt.%的锡,锡在半反射层中完全充分地沉积在银微粒的边界,此合金也可在未影响锡的功能情况下添加占总重量约0.1到1.0wt.%的铜。
Simplified title:光学信息记录媒体及其制造方法、制造设备、记录再生方法及记录再生设备 OPTICAL INFORMATION RECORDING MEDIUM AND METHOD OF MANUFACTURING THEREOF, MANUFACTURING APPARATUS, RECORDING/REPRODUCING METHOD, AND RECORDING/REPRODUCING APPARATUS
Abstract in simplified Chinese:本发明系提供在对半透明信息层进行高密度记录时,信号品质良好之光学信息记录媒体及其制造方法以及制造设备。本发明之光学信息记录媒体系在圆盘状之透明基板与保护基板之间,具有至少半透明之信息层者,该信息层具有光束导引用之螺旋状沟,且含有记录膜,该记录膜借由从前述透明基板侧照射光束而在可进行光学检测之至少2个状态之间呈现变化,以进行信息之记录及再生,又,在进行记录及再生之全领域中,前述沟之内周侧及外周侧之斜面部分之膜厚差在±10%以内。
Abstract in simplified Chinese:本发明有关一种以铝及钛为主之微晶结构金属合金。其铝含量自80至90原子百分比,及其钛含量自10至20原子百分比。该合金不在热力平衡状态中,及因此抗氧化及抗腐蚀,及同时具有黏合至聚合物材料之显着能力。由一层上述金属合金所组成之反射涂层,较佳为0.01至3μm厚,覆盖保护膜,较佳为聚合物材料。具有镜面反射率至少等于大约65%及良好抗腐蚀与抗氧化之特别的镜子。镜子包含基材,较佳为聚合物材料,支撑反射涂料。部件包括上述种类之镜,例如汽车后视镜。