可撓性金屬箔積層板
    92.
    发明专利
    可撓性金屬箔積層板 审中-公开
    可挠性金属箔积层板

    公开(公告)号:TW200715920A

    公开(公告)日:2007-04-16

    申请号:TW095127493

    申请日:2006-07-27

    IPC: H05K B32B

    Abstract: 本發明提供一種以蒸鍍或濺鍍、電鍍之金屬化方法製作之,且外觀良好之可撓性金屬箔積層板。可藉由使用有聚醯亞胺薄膜之金屬箔積層板解決上述課題,上述聚醯亞胺薄膜係將芳香族二胺與芳香族酸二酐反應而獲得之聚醯胺酸醯亞胺化而獲得之聚醯亞胺薄膜,並滿足如下之條件:(A)於270℃-340℃之範圍內具有儲存彈性模數之拐點;(B)損失彈性模數除以儲存彈性模數之値tan���的峰頂為320℃-410℃之範圍內;(C)400℃之儲存彈性模數為0.5 GPa-1.5 GPa;(D)拐點之儲存彈性模數���1(GPa)與400℃之儲存彈性模數���2(GPa)為下式(1)之範圍內。
    (式1):85≧{(���1-���2)/���1}�100≧70

    Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种以蒸镀或溅镀、电镀之金属化方法制作之,且外观良好之可挠性金属箔积层板。可借由使用有聚酰亚胺薄膜之金属箔积层板解决上述课题,上述聚酰亚胺薄膜系将芳香族二胺与芳香族酸二酐反应而获得之聚酰胺酸酰亚胺化而获得之聚酰亚胺薄膜,并满足如下之条件:(A)于270℃-340℃之范围内具有存储弹性模数之拐点;(B)损失弹性模数除以存储弹性模数之値tan���的峰顶为320℃-410℃之范围内;(C)400℃之存储弹性模数为0.5 GPa-1.5 GPa;(D)拐点之存储弹性模数���1(GPa)与400℃之存储弹性模数���2(GPa)为下式(1)之范围内。 (式1):85≧{(���1-���2)/���1}�100≧70

    可撓性銅基板用阻障膜、阻障膜形成用濺鍍靶
    94.
    发明专利
    可撓性銅基板用阻障膜、阻障膜形成用濺鍍靶 审中-公开
    可挠性铜基板用阻障膜、阻障膜形成用溅镀靶

    公开(公告)号:TW200637928A

    公开(公告)日:2006-11-01

    申请号:TW095100030

    申请日:2006-01-02

    IPC: C23C

    Abstract: 本發明係提供一種可撓性銅基板用阻障膜,其特徵在於,係由含有Cr:5~30wt%、Ti及/或Zr:1~10wt%、剩餘部份為不可避免之雜質及Ni形成之Ni-Cr系合金薄膜所構成,其膜厚為3~150nm、膜厚均一性在1σ(一個標準差)的範圍為10%以下。本發明亦提供一種阻障膜形成用濺鍍靶,其特徵在於,係含有Cr:5~30wt%、Ti及/或Zr:1~10wt%、剩餘部份為不可避免之雜質及Ni形成之Ni-Cr系合金,濺蝕面在面內方向的相對磁導率為100以下。本發明之可撓性銅基板用阻障膜及阻障膜形成用濺鍍靶,在抑制銅擴散至聚亞醯胺等之樹脂薄膜時,即使是以不產生膜剝離程度之薄的膜厚、或細的配線間距,亦能得到充分的阻障效果,並且,即使因熱處理等而使溫度上升,阻障特性亦不會改變。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明系提供一种可挠性铜基板用阻障膜,其特征在于,系由含有Cr:5~30wt%、Ti及/或Zr:1~10wt%、剩余部份为不可避免之杂质及Ni形成之Ni-Cr系合金薄膜所构成,其膜厚为3~150nm、膜厚均一性在1σ(一个标准差)的范围为10%以下。本发明亦提供一种阻障膜形成用溅镀靶,其特征在于,系含有Cr:5~30wt%、Ti及/或Zr:1~10wt%、剩余部份为不可避免之杂质及Ni形成之Ni-Cr系合金,溅蚀面在面内方向的相对磁导率为100以下。本发明之可挠性铜基板用阻障膜及阻障膜形成用溅镀靶,在抑制铜扩散至聚亚酰胺等之树脂薄膜时,即使是以不产生膜剥离程度之薄的膜厚、或细的配线间距,亦能得到充分的阻障效果,并且,即使因热处理等而使温度上升,阻障特性亦不会改变。

    可撓性銅基板用阻障膜、阻障膜形成用濺鍍靶
    96.
    发明专利
    可撓性銅基板用阻障膜、阻障膜形成用濺鍍靶 审中-公开
    可挠性铜基板用阻障膜、阻障膜形成用溅镀靶

    公开(公告)号:TW200606263A

    公开(公告)日:2006-02-16

    申请号:TW094125703

    申请日:2005-07-29

    IPC: C23C

    Abstract: 一種可撓性銅基板用阻障膜,其特徵在於:係由含有Cr5~30重量%、且剩餘部份為不可避免之雜質與Co所構成之Co-Cr合金膜所形成者,膜厚為3~150nm,膜厚均勻性以1σ訂為10%以下;以及一種阻障膜形成用濺鍍靶,其特徵在於:係由含有Cr5~30重量%、且剩餘部份為不可避免之雜質與Co所構成之Co-Cr合金,濺鍍面之面內方向的相對磁導率為100以下。獲得一種可撓性銅基板用阻障膜,在抑制銅朝聚醯亞胺等樹脂膜之擴散之際,以不致發生膜剝離之程度的薄厚度,且即使面對微細之配線間距亦可得到充分之阻障效果,再者即使因為熱處理等造成溫度上升,阻障特性也不會變化;另獲得一種阻障膜形成用濺鍍靶。

    Abstract in simplified Chinese: 一种可挠性铜基板用阻障膜,其特征在于:系由含有Cr5~30重量%、且剩余部份为不可避免之杂质与Co所构成之Co-Cr合金膜所形成者,膜厚为3~150nm,膜厚均匀性以1σ订为10%以下;以及一种阻障膜形成用溅镀靶,其特征在于:系由含有Cr5~30重量%、且剩余部份为不可避免之杂质与Co所构成之Co-Cr合金,溅镀面之面内方向的相对磁导率为100以下。获得一种可挠性铜基板用阻障膜,在抑制铜朝聚酰亚胺等树脂膜之扩散之际,以不致发生膜剥离之程度的薄厚度,且即使面对微细之配线间距亦可得到充分之阻障效果,再者即使因为热处理等造成温度上升,阻障特性也不会变化;另获得一种阻障膜形成用溅镀靶。

    防電磁干擾遮蔽罩之製造方法 METHOD OF MANUFACTURING ELECTROMAGNETIC INTERFERENCE SHIELD
    97.
    发明专利
    防電磁干擾遮蔽罩之製造方法 METHOD OF MANUFACTURING ELECTROMAGNETIC INTERFERENCE SHIELD 有权
    防电磁干扰屏蔽罩之制造方法 METHOD OF MANUFACTURING ELECTROMAGNETIC INTERFERENCE SHIELD

    公开(公告)号:TWI247576B

    公开(公告)日:2006-01-11

    申请号:TW092107182

    申请日:2003-03-28

    IPC: H05K

    CPC classification number: C23C14/568 C23C14/205

    Abstract: 一種防電磁干擾遮蔽罩之製造方法,係採用磁控濺鍍工藝於基板上沉積導電膜層,其主要包括以下步驟:製備磁控濺鍍靶模組及待濺鍍基板,並將其安裝於濺鍍室內,其中該磁控濺鍍靶模組包括至少一個由被濺鍍材料製成之靶板;將濺鍍室抽真空至一定真空度;向濺鍍室以一定流速導入工作氣體至濺鍍室內達一定氣壓;藉由一電源給上述磁控濺鍍靶模組供給電壓而激發濺鍍過程,使所述靶板之組成微粒從靶板表面被濺射出來並沉積於基板表面形成導電膜層;當基板上所沉積之導電膜層達所需厚度時停止濺鍍過程,取出被濺鍍基板從而獲得防電磁干擾遮蔽罩。由本方法製造之防電磁干擾遮蔽罩表面導電鍍層均勻且與基體間附著牢固。

    Abstract in simplified Chinese: 一种防电磁干扰屏蔽罩之制造方法,系采用磁控溅镀工艺于基板上沉积导电膜层,其主要包括以下步骤:制备磁控溅镀靶模块及待溅镀基板,并将其安装于溅镀室内,其中该磁控溅镀靶模块包括至少一个由被溅镀材料制成之靶板;将溅镀室抽真空至一定真空度;向溅镀室以一定流速导入工作气体至溅镀室内达一定气压;借由一电源给上述磁控溅镀靶模块供给电压而激发溅镀过程,使所述靶板之组成微粒从靶板表面被溅射出来并沉积于基板表面形成导电膜层;当基板上所沉积之导电膜层达所需厚度时停止溅镀过程,取出被溅镀基板从而获得防电磁干扰屏蔽罩。由本方法制造之防电磁干扰屏蔽罩表面导电镀层均匀且与基体间附着牢固。

    具高鏡面反射率之鋁-鈦合金,含該合金之反射塗料及含該塗料之鏡子及部件
    100.
    发明专利
    具高鏡面反射率之鋁-鈦合金,含該合金之反射塗料及含該塗料之鏡子及部件 失效
    具高镜面反射率之铝-钛合金,含该合金之反射涂料及含该涂料之镜子及部件

    公开(公告)号:TW507012B

    公开(公告)日:2002-10-21

    申请号:TW089114441

    申请日:2000-07-19

    Abstract: 本發明有關一種以鋁及鈦為主之微晶結構金屬合金。其鋁含量自80至90原子百分比,及其鈦含量自10至20原子百分比。該合金不在熱力平衡狀態中,及因此抗氧化及抗腐蝕,及同時具有黏合至聚合物材料之顯著能力。由一層上述金屬合金所組成之反射塗層,較佳為0.01至3μm厚,覆蓋保護膜,較佳為聚合物材料。具有鏡面反射率至少等於大約65%及良好抗腐蝕與抗氧化之特別的鏡子。鏡子包含基材,較佳為聚合物材料,支撐反射塗料。部件包括上述種類之鏡,例如汽車後視鏡。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明有关一种以铝及钛为主之微晶结构金属合金。其铝含量自80至90原子百分比,及其钛含量自10至20原子百分比。该合金不在热力平衡状态中,及因此抗氧化及抗腐蚀,及同时具有黏合至聚合物材料之显着能力。由一层上述金属合金所组成之反射涂层,较佳为0.01至3μm厚,覆盖保护膜,较佳为聚合物材料。具有镜面反射率至少等于大约65%及良好抗腐蚀与抗氧化之特别的镜子。镜子包含基材,较佳为聚合物材料,支撑反射涂料。部件包括上述种类之镜,例如汽车后视镜。

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