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公开(公告)号：TWI699820B
公开(公告)日：2020-07-21
申请号：TW108112376
申请日：2012-01-20
发明人： 普拉格 湯瑪斯 , PLACH, THOMAS , 亨格爾 克特 , HINGERL, KURT , 威普林格 馬克斯 , WIMPLINGER, MARKUS , 伏洛傑恩 克里斯多夫 , FLOTGEN, CHRISTOPH
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公开(公告)号：TW202015154A
公开(公告)日：2020-04-16
申请号：TW108142954
申请日：2015-10-22
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本發明係關於一種用於預固定基板(1、2)，藉此在至少一表面區域中非晶化該等基板(1、2)之至少一基板表面(1o、2o)之方法及裝置，該方法及該裝置之特徵在於對準該等基板(1、2)且接著使其等接觸，且在該等經非晶化表面區域上預固定該等基板(1、2)。
简体摘要： 本发明系关于一种用于预固定基板(1、2)，借此在至少一表面区域中非晶化该等基板(1、2)之至少一基板表面(1o、2o)之方法及设备，该方法及该设备之特征在于对准该等基板(1、2)且接着使其等接触，且在该等经非晶化表面区域上预固定该等基板(1、2)。
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公开(公告)号：TWI682476B
公开(公告)日：2020-01-11
申请号：TW103124297
申请日：2014-07-15
发明人： 威普林格 馬克斯 , WIMPLINGER, MARKUS , 達戈 維爾 , DRAGOI, VIOREL , 伏洛傑恩 克里斯多夫
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/3065
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公开(公告)号：TWI680549B
公开(公告)日：2019-12-21
申请号：TW104112600
申请日：2015-04-20
发明人： 伯格拉夫 喬根 , 林德那 費德瑞奇 保羅 , LINDNER, FRIEDRICH PAUL
IPC分类号： H01L23/31 , H01L25/065 , H01L21/67
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公开(公告)号：TWI680506B
公开(公告)日：2019-12-21
申请号：TW106146307
申请日：2011-12-20
发明人： 威普林格馬克斯 , WIMPLINGER,MARKUS , 魏跟特湯瑪斯 , WAGENLEITNER,THOMAS , 費伯特亞歷山卓 , FILBERT,ALEXANDER
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公开(公告)号：TW201947317A
公开(公告)日：2019-12-16
申请号：TW108113311
申请日：2019-04-17
发明人： 威普林格 馬克斯 , WIMPLINGER, MARKUS , 密譚杜佛 傑洛德 , MITTENDORFER, GERALD
摘要： 本發明係關於一印模(3)，其包括一軟印模(2)及固定至該軟印模(2)之一載體(1)。
简体摘要： 本发明系关于一印模(3)，其包括一软印模(2)及固定至该软印模(2)之一载体(1)。
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公开(公告)号：TWI679264B
公开(公告)日：2019-12-11
申请号：TW107117702
申请日：2014-08-05
发明人： 威普林格馬克斯 , WIMPLINGER,MARKUS
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