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公开(公告)号：TWI451667B
公开(公告)日：2014-09-01
申请号：TW097107017
申请日：2008-02-29
Applicant: 信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Inventor： 美濃輪武久 , MINOWA, TAKEHISA , 小林秀樹 , KOBAYASHI, HIDEKI , 宮田浩二 , MIYATA, KOJI
IPC: H02K16/00
CPC classification number: H02K16/00 , H02K7/1838 , H02K21/24
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：TWI490896B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：TW100140124
申请日：2011-11-03
Applicant: 信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Inventor： 小林秀樹 , KOBAYASHI, HIDEKI
IPC: H01F7/02
CPC classification number: H01F7/0284
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公开(公告)号：TWI429168B
公开(公告)日：2014-03-01
申请号：TW097135192
申请日：2008-09-12
Applicant: 信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Inventor： 美濃輪武久 , MINOWA, TAKEHISA , 土井祐仁 , DOI, YUHITO , 宮田浩二 , MIYATA, KOJI , 小林秀樹 , KOBAYASHI, HIDEKI
CPC classification number: H02K21/24 , F03D9/25 , F05B2220/7068 , H02K7/1838 , H02K2213/12 , Y02E10/725
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公开(公告)号：TWI415367B
公开(公告)日：2013-11-11
申请号：TW097135217
申请日：2008-09-12
Applicant: 信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Inventor： 宮田浩二 , MIYATA, KOJI , 小林秀樹 , KOBAYASHI, HIDEKI , 渡邊直樹 , WATANABE, NAOKI , 美濃輪武久 , MINOWA, TAKEHISA
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公开(公告)号：TW201237898A
公开(公告)日：2012-09-16
申请号：TW100140124
申请日：2011-11-03
Applicant: 信越化學工業股份有限公司
Inventor： 小林秀樹
IPC: H01F
CPC classification number: H01F7/0284
Abstract: [解決課題]提供一種具備高磁場强度和減磁耐性之雙極環磁性迴路。[解決手段]一種雙極環磁性迴路,係為具備有以使磁化方向在半周而作一週旋轉的方式來配列為環狀之複數的永久磁石片(3),並在被該永久磁石片(3)所包圍之內部空間(7)中,以均一之强度來產生實質性為單方向的磁場(9)之磁性迴路(1),其特徵為:前述永久磁石片(3)之2個以上,係在相對於環狀形狀之中心軸而垂直的面上,使磁化方向相對於前述均一磁場(9)之方向而成150度-210度之角度(以下,稱作「特定磁石片」),至少在前述特定磁石片(3a、3b、3c)中,若是沿著前述環狀形狀之徑方向而越接近前述內部空間,則保磁力之値係變得越高。
Abstract in simplified Chinese: [解决课题]提供一种具备高磁场强度和减磁耐性之双极环磁性回路。[解决手段]一种双极环磁性回路,系为具备有以使磁化方向在半周而作一周旋转的方式来配列为环状之复数的永久磁石片(3),并在被该永久磁石片(3)所包围之内部空间(7)中,以均一之强度来产生实质性为单方向的磁场(9)之磁性回路(1),其特征为:前述永久磁石片(3)之2个以上,系在相对于环状形状之中心轴而垂直的面上,使磁化方向相对于前述均一磁场(9)之方向而成150度-210度之角度(以下,称作“特定磁石片”),至少在前述特定磁石片(3a、3b、3c)中,若是沿着前述环状形状之径方向而越接近前述内部空间,则保磁力之値系变得越高。
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公开(公告)号：TW201233837A
公开(公告)日：2012-08-16
申请号：TW100140123
申请日：2011-11-03
Applicant: 信越化學工業股份有限公司
Inventor： 小林秀樹
IPC: C23C
CPC classification number: H01J37/3405 , H01F41/0293 , H01J37/3452 , H01J37/3461
Abstract: [解決課題]提供一種：產生磁場強度高之弧狀的磁力線，並具有優良之減磁耐性的磁控管濺鍍裝置用磁性迴路。[解決手段]一種磁控管濺鍍裝置用磁性迴路，係為經由被配置在靶材(11)背面之磁石的磁性迴路來產生在靶材表面處描繪弧狀之磁力線(2)的漏洩磁場之磁控管濺鍍裝置用磁性迴路(1)，其特徵為：係具備有：內側磁石(3)；和具有與該內側磁石相反之磁化方向並且將該內側磁石作包圍之外側磁石(5)；和被配置在前述內側磁石(3)和前述外側磁石(5)之間，並被磁化為與前述內側磁石以及外側磁石之磁化方向相正交且從前述內側磁石而朝向外側磁石之方向或者是其之反方向的水平磁化磁石(7)；和挾持此些之磁石，並被與靶材作對向配設，而在前述內側磁石和前述外側磁石之間使磁通量通過之磁軛(9)，該水平磁化磁石(7)之保磁力的值，係相較於磁石內部中央，而在接近靶材側之區域處變得更高。
Abstract in simplified Chinese: [解决课题]提供一种：产生磁场强度高之弧状的磁力线，并具有优良之减磁耐性的磁控管溅镀设备用磁性回路。[解决手段]一种磁控管溅镀设备用磁性回路，系为经由被配置在靶材(11)背面之磁石的磁性回路来产生在靶材表面处描绘弧状之磁力线(2)的漏泄磁场之磁控管溅镀设备用磁性回路(1)，其特征为：系具备有：内侧磁石(3)；和具有与该内侧磁石相反之磁化方向并且将该内侧磁石作包围之外侧磁石(5)；和被配置在前述内侧磁石(3)和前述外侧磁石(5)之间，并被磁化为与前述内侧磁石以及外侧磁石之磁化方向相正交且从前述内侧磁石而朝向外侧磁石之方向或者是其之反方向的水平磁化磁石(7)；和挟持此些之磁石，并被与靶材作对向配设，而在前述内侧磁石和前述外侧磁石之间使磁通量通过之磁轭(9)，该水平磁化磁石(7)之保磁力的值，系相较于磁石内部中央，而在接近靶材侧之区域处变得更高。
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