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    絕緣物狀態判定總成及方法
    3.
    发明专利
    絕緣物狀態判定總成及方法 审中-公开
    绝缘物状态判定总成及方法

    公开(公告)号：TW201338070A

    公开(公告)日：2013-09-16

    申请号：TW102100118

    申请日：2013-01-03

    Applicant: 托卡洛股份有限公司 ,  TOCALO CO., LTD.

    Inventor： 虻川志向 ,  ABUKAWA, SHIKOU ,  山崎良 ,  YAMASAKI, RYO ,  竹內純一 ,  TAKEUCHI, JUNICHI

    IPC: H01L21/66 ,  H01L21/68 ,  G01R29/12

    CPC classification number: G01R27/02 ,  G01R27/26 ,  G01R29/12 ,  G01R31/12 ,  G01R31/2886 ,  H01L22/14

    Abstract: 本發明提供一種總成，其係可使用直流電源，來算出絕緣物之電性等效電路之 電容量者。本發明之總成係用以判定絕緣物狀態之總成，並具有直流電源、第1電阻體、開關、電壓測定器、及算出部。第1電阻體與直流電源及絕緣物串聯地連接，並具有已知之第1電阻。開關可切換為充電狀態與放電狀態。所謂的充電狀態係指對絕緣物與第1電阻體從直流電源施加直流電壓，使絕緣物充電之狀態。所謂的放電狀態係指不對絕緣物與第1電阻體從直流電源施加直流電壓，使絕緣物放電之狀態。電壓測定器在將開關從充電狀態切換成放電狀態之後，測定施加於第1電阻體之電壓。算出部係根據第1電阻與電壓之測定值，來算出絕緣物之電性等效電路之 電容量。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种总成，其系可使用直流电源，来算出绝缘物之电性等效电路之 电容量者。本发明之总成系用以判定绝缘物状态之总成，并具有直流电源、第1电阻体、开关、电压测定器、及算出部。第1电阻体与直流电源及绝缘物串联地连接，并具有已知之第1电阻。开关可切换为充电状态与放电状态。所谓的充电状态系指对绝缘物与第1电阻体从直流电源施加直流电压，使绝缘物充电之状态。所谓的放电状态系指不对绝缘物与第1电阻体从直流电源施加直流电压，使绝缘物放电之状态。电压测定器在将开关从充电状态切换成放电状态之后，测定施加于第1电阻体之电压。算出部系根据第1电阻与电压之测定值，来算出绝缘物之电性等效电路之 电容量。

    面狀發熱體及具備面狀發熱體的半導體製造裝置
    6.
    发明专利
    面狀發熱體及具備面狀發熱體的半導體製造裝置 审中-公开
    面状发热体及具备面状发热体的半导体制造设备

    公开(公告)号：TW201633839A

    公开(公告)日：2016-09-16

    申请号：TW104111552

    申请日：2015-04-10

    Applicant: TOCALO股份有限公司 ,  TOCALO CO., LTD.

    Inventor： 山崎良 ,  YAMASAKI, RYO ,  稻葉光晴 ,  INABA, MITSUHARU ,  山野英明 ,  YAMANO, HIDEAKI ,  田口研良 ,  TAGUCHI, KENSUKE

    IPC: H05B3/20 ,  H01L21/3065

    CPC classification number: H05B3/20

    Abstract: 本發明的課題為提供一種可使對象物的加熱時的電阻發熱體的彎曲部中的溫度分布均勻，並且升溫時及降溫時的響應性也良好之面狀發熱體及使用面狀發熱體的半導體製造裝置。 本發明的解決手段為一種面狀發熱體，將電阻發熱體31-1配置成圖案狀，在配置成圖案狀的電阻發熱體的彎曲部配設沿著該電阻發熱體的延伸方向延伸的至少一條開縫32-1。                   【代表圖】

    Abstract in simplified Chinese: 本发明的课题为提供一种可使对象物的加热时的电阻发热体的弯曲部中的温度分布均匀，并且升温时及降温时的响应性也良好之面状发热体及使用面状发热体的半导体制造设备。 本发明的解决手段为一种面状发热体，将电阻发热体31-1配置成图案状，在配置成图案状的电阻发热体的弯曲部配设沿着该电阻发热体的延伸方向延伸的至少一条开缝32-1。                   【代表图】

    靜電吸盤及靜電吸盤的製造方法
    7.
    发明专利
    靜電吸盤及靜電吸盤的製造方法 审中-公开
    静电吸盘及静电吸盘的制造方法

    公开(公告)号：TW201347079A

    公开(公告)日：2013-11-16

    申请号：TW102109959

    申请日：2013-03-21

    Applicant: TOCALO股份有限公司 ,  TOCALO CO., LTD.

    Inventor： 山崎良 ,  YAMASAKI, RYO ,  稻葉光晴 ,  INABA, MITSUHARU ,  田口研良 ,  TAGUCHI, KENSUKE

    IPC: H01L21/683

    CPC classification number: H01L21/6833 ,  C23C4/01 ,  C23C4/11 ,  C23C4/12 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/6831 ,  H02N13/00

    Abstract: 本發明的課題為提供一種不存在使用接著劑的情形下的缺點，並且設計的自由度高之靜電吸盤及靜電吸盤的製造方法。本發明的解決手段為一種靜電吸盤1，包含:構成吸盤本體之基部材2；形成於基部材2的表面2a之由熔射塗膜構成的第一絕緣層3；將導電性糊塗佈於第一絕緣層3的表面3a而形成之由導體構成的加熱器部4；形成於第一絕緣層3的表面3a以覆蓋加熱器部4之由熔射塗膜構成的第二絕緣層5，熔射於第二絕緣層5的表面5a而形成之電極部6；形成於第二絕緣層5的表面5a以覆蓋電極部6之由熔射塗膜構成的介電層7，不使用接著劑而降低加熱器部4的體積電阻率。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明的课题为提供一种不存在使用接着剂的情形下的缺点，并且设计的自由度高之静电吸盘及静电吸盘的制造方法。本发明的解决手段为一种静电吸盘1，包含:构成吸盘本体之基部材2；形成于基部材2的表面2a之由熔射涂膜构成的第一绝缘层3；将导电性煳涂布于第一绝缘层3的表面3a而形成之由导体构成的加热器部4；形成于第一绝缘层3的表面3a以覆盖加热器部4之由熔射涂膜构成的第二绝缘层5，熔射于第二绝缘层5的表面5a而形成之电极部6；形成于第二绝缘层5的表面5a以覆盖电极部6之由熔射涂膜构成的介电层7，不使用接着剂而降低加热器部4的体积电阻率。

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