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    電壓源堆疊系統
    2.
    发明专利
    電壓源堆疊系統 审中-公开
    电压源堆栈系统

    公开(公告)号：TW201448398A

    公开(公告)日：2014-12-16

    申请号：TW102120968

    申请日：2013-06-13

    申请人： 智旺科技股份有限公司 ,  POWERFLASH TECHNOLOGY CORPORATION

    发明人： 陳俊銘 ,  CHEN, CHUN MING ,  夏長福 ,  HSIA, CHANG FU ,  楊勝安 ,  YANG, SHENG AN ,  何元棨 ,  HO, YUAN CHI

    IPC分类号： H02J1/10 ,  H02J13/00

    CPC分类号： G01R19/25 ,  G01R31/3658 ,  H01M10/482 ,  H04Q9/00 ,  H04Q2209/30 ,  Y10T307/549

    摘要： 一種電壓源堆疊系統包含有複數個電壓源、一主監控電路以及至少一副監控電路。該複數個電壓源包含有一第一電壓源以及至少一第二電壓源，其中該第一電壓源與該至少一第二電壓源彼此串聯。該主監控電路耦接於該第一電壓源，並且用來監測並且控制該第一電壓源以及傳送一監控訊號。該至少一副監控電路分別耦接於該至少一第二電壓源與該主監控電路，並且用來根據該監控訊號來監測並且控制該至少一第二電壓源中之一目標第二電壓源，並據以傳送一回覆訊號予該主監控電路。

    简体摘要： 一种电压源堆栈系统包含有复数个电压源、一主监控电路以及至少一副监控电路。该复数个电压源包含有一第一电压源以及至少一第二电压源，其中该第一电压源与该至少一第二电压源彼此串联。该主监控电路耦接于该第一电压源，并且用来监测并且控制该第一电压源以及发送一监控信号。该至少一副监控电路分别耦接于该至少一第二电压源与该主监控电路，并且用来根据该监控信号来监测并且控制该至少一第二电压源中之一目标第二电压源，并据以发送一回复信号予该主监控电路。

    含有用來測定一組數値之中間値之裝置的積體電路
    3.
    发明专利
    含有用來測定一組數値之中間値之裝置的積體電路 失效
    含有用来测定一组数値之中间値之设备的集成电路

    公开(公告)号：TW252237B

    公开(公告)日：1995-07-21

    申请号：TW082110974

    申请日：1993-12-24

    申请人： 美國電話電報股份有限公司

    发明人： 克理斯納瓦米.納卡瑞

    IPC分类号： G05B ,  G01R ,  G06F ,  G11B ,  H03K

    CPC分类号： G01R19/2506 ,  G01R19/25 ,  G06F17/18

    摘要： 藉由一種能夠將電路縮減為最少但使得速度最快且亦能提供偶出的技術，可求出一組電壓值的中間值，這些電壓值，為說明起見以五個數值（亦即Ｖ１……Ｖ５）代表，成對地供應給十個比較器（亦即１００……１０９）的輸入端，而比較器的輸出端以及它們的相反值，形成了５個〝狀態字組〞（ 亦即Ｗ１……Ｗ５ ），每個字組各有４個位元（亦即，Ｃ１２，Ｃ１３，Ｃ１４，Ｃ１５……Ｃ５１，Ｃ５２，Ｃ５３，Ｃ５４），如此一已知狀態字的各個位元表示了一給定值與另一給定值的比較結果，含有二個１以及二個０的狀態字代表著中間值，在本電路實例中，狀態字可以快速地在一串三個邏輯階段的處理中被決定，其中最高及最低值可在第１級（圖２）中被消去，而在第２級中（圖３）消去次高及次低值，在最後一段中（４００……４０４）決定與中間值相關的剩餘狀態字，此技術藉由起始邏輯電路亦快速提供偶出，例如，第５狀態字（與第５個數值相關）預設成１１１１，若無任何單一數值被接收，則遺漏之數值將不被選為中間值，其他的偶出亦可以相同方式處置以保證中間值僅由實際接收的電壓值中選取，此技術可應用在一個磁碟驅動系統，如此可精確地控制伺服讀寫頭的位置。

    简体摘要： 借由一种能够将电路缩减为最少但使得速度最快且亦能提供偶出的技术，可求出一组电压值的中间值，这些电压值，为说明起见以五个数值（亦即Ｖ１……Ｖ５）代表，成对地供应给十个比较器（亦即１００……１０９）的输入端，而比较器的输出端以及它们的相反值，形成了５个〝状态字组〞（ 亦即Ｗ１……Ｗ５ ），每个字组各有４个比特（亦即，Ｃ１２，Ｃ１３，Ｃ１４，Ｃ１５……Ｃ５１，Ｃ５２，Ｃ５３，Ｃ５４），如此一已知状态字的各个比特表示了一给定值与另一给定值的比较结果，含有二个１以及二个０的状态字代表着中间值，在本电路实例中，状态字可以快速地在一串三个逻辑阶段的处理中被决定，其中最高及最低值可在第１级（图２）中被消去，而在第２级中（图３）消去次高及次低值，在最后一段中（４００……４０４）决定与中间值相关的剩余状态字，此技术借由起始逻辑电路亦快速提供偶出，例如，第５状态字（与第５个数值相关）默认成１１１１，若无任何单一数值被接收，则遗漏之数值将不被选为中间值，其他的偶出亦可以相同方式处置以保证中间值仅由实际接收的电压值中选取，此技术可应用在一个磁盘驱动系统，如此可精确地控制伺服读写头的位置。

    射頻傳輸模型之一變數値的決定
    7.
    发明专利
    射頻傳輸模型之一變數値的決定 审中-公开
    射频传输模型之一变量値的决定

    公开(公告)号：TW201438523A

    公开(公告)日：2014-10-01

    申请号：TW102146419

    申请日：2013-12-16

    申请人： 蘭姆研究公司 ,  LAM RESEARCH CORPORATION

    发明人： 微寇爾 小約翰C ,  VALCORE, JOHN C. JR. ,  琳戴克 布萊佛J ,  LYNDAKER, BRADFORD J.

    IPC分类号： H05H7/02 ,  H03H7/38

    CPC分类号： H01J37/32926 ,  G01R19/25 ,  G01R29/0892 ,  G06F17/5036 ,  H01J37/32183 ,  H01J37/32935 ,  H01J2237/327 ,  H01P3/00 ,  H03H7/40 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4682

    摘要： 描述用於決定射頻(RF)傳輸模型上的變數值的系統和方法。該等方法其中之一包含確定在一RF產生器的一輸出處所測得的一複電壓與電流，以及基於在連接至該RF產生器的一阻抗匹配電路中所定義的電元件，產生一阻抗匹配模型。該方法更包含自該阻抗匹配模型的輸入，經由一個以上構件且經由與該阻抗匹配模型連接的一RF傳輸模型部分的一個以上構件，傳導該複電壓與電流，以決定在RF傳輸模型部分的輸出處的複電壓與電流。

    简体摘要： 描述用于决定射频(RF)传输模型上的变量值的系统和方法。该等方法其中之一包含确定在一RF产生器的一输出处所测得的一复电压与电流，以及基于在连接至该RF产生器的一阻抗匹配电路中所定义的电组件，产生一阻抗匹配模型。该方法更包含自该阻抗匹配模型的输入，经由一个以上构件且经由与该阻抗匹配模型连接的一RF传输模型部分的一个以上构件，传导该复电压与电流，以决定在RF传输模型部分的输出处的复电压与电流。

    脫離控制方法及電漿處理裝置之控制裝置
    8.
    发明专利
    脫離控制方法及電漿處理裝置之控制裝置 审中-公开
    脱离控制方法及等离子处理设备之控制设备

    公开(公告)号：TW201349339A

    公开(公告)日：2013-12-01

    申请号：TW102103161

    申请日：2013-01-28

    申请人： 東京威力科創股份有限公司 ,  TOKYO ELECTRON LIMITED

    发明人： 川端淳史 ,  KAWABATA, ATSUSHI

    IPC分类号： H01L21/3065

    CPC分类号： H01L21/6833 ,  G01R19/25 ,  H02N13/00

    摘要： 本發明之目的在於使被處理體從靜電夾頭脫離。為了達成上述目的，本發明提供一種脫離控制方法，其使被處理體從具有夾頭電極40a且以靜電吸附被處理體的靜電夾頭40脫離，其特徵為包含：取得電流的時間積分值的步驟，該電流的時間積分值係在既定時間內測量在電漿處理後，切斷對該夾頭電極導通的電壓，接著從該夾頭電極所流的電流的測量結果；算出電漿處理中對該夾頭電極所充蓄之電荷量與該取得之電流的時間積分值的差分之步驟；根據預先設定好的電流之時間積分值與對支持被處理體的支持銷所施加的轉矩的相關關係，從該差分算出與該靜電夾頭的殘留電荷量對應的反電壓的步驟；以及一邊對處理室內導入氣體以產生電漿，一邊以該反電壓導通該夾頭電極的步驟。

    简体摘要： 本发明之目的在于使被处理体从静电夹头脱离。为了达成上述目的，本发明提供一种脱离控制方法，其使被处理体从具有夹头电极40a且以静电吸附被处理体的静电夹头40脱离，其特征为包含：取得电流的时间积分值的步骤，该电流的时间积分值系在既定时间内测量在等离子处理后，切断对该夹头电极导通的电压，接着从该夹头电极所流的电流的测量结果；算出等离子处理中对该夹头电极所充蓄之电荷量与该取得之电流的时间积分值的差分之步骤；根据预先设置好的电流之时间积分值与对支持被处理体的支持销所施加的转矩的相关关系，从该差分算出与该静电夹头的残留电荷量对应的反电压的步骤；以及一边对处理室内导入气体以产生等离子，一边以该反电压导通该夹头电极的步骤。

    具頻寬校正之時距測量方法
    10.
    发明专利
    具頻寬校正之時距測量方法 审中-公开
    具带宽校正之时距测量方法

    公开(公告)号：TW201339590A

    公开(公告)日：2013-10-01

    申请号：TW102110031

    申请日：2013-03-21

    申请人： 羅森伯格高頻技術公司 ,  ROSENBERGER HOCHFREQUENZTECHNIK GMBH & CO. KG

    发明人： 奇茲 克里斯欽 ,  ZEITZ, CHRISTIAN ,  阿姆布萊希特 古納爾 ,  ARMBRECHT, GUNNAR

    IPC分类号： G01R19/00

    CPC分类号： G01R19/25 ,  G01R19/2509 ,  G01R27/32 ,  G01R35/005

    摘要： 一種具頻寬校正之時距測量方法，係在一時距內校正面測量導線中高頻訊號之電壓u(t)或電流i(t)之方法，校正面為導電連結待測物件；一第一高頻訊號之部分訊號與一第二高頻訊號之部分訊號藉由兩輸出端之定向耦合器分離；定向耦合器之第一輸出端可接收第一高頻訊號之部分訊號隨時間變化之第一訊號值v1(t)，定向耦合器之第二輸出端可接收第二高頻訊號之部分訊號隨時間變化之第二訊號值v2(t)；定向耦合器於訊號輸入端連結輸入線，輸入線另端具第一閘門；藉由誤差項e00、e01、e10及e11計算校正面之絕對波值a1、b2，再換算為一時距內校正面上之電壓u(t)或電流i(t)。

    简体摘要： 一种具带宽校正之时距测量方法，系在一时距内校正面测量导线中高频信号之电压u(t)或电流i(t)之方法，校正面为导电链接待测对象；一第一高频信号之部分信号与一第二高频信号之部分信号借由两输出端之定向耦合器分离；定向耦合器之第一输出端可接收第一高频信号之部分信号随时间变化之第一信号值v1(t)，定向耦合器之第二输出端可接收第二高频信号之部分信号随时间变化之第二信号值v2(t)；定向耦合器于信号输入端链接输入线，输入线另端具第一闸门；借由误差项e00、e01、e10及e11计算校正面之绝对波值a1、b2，再换算为一时距内校正面上之电压u(t)或电流i(t)。