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公开(公告)号：TWI610140B
公开(公告)日：2018-01-01
申请号：TW102108858
申请日：2013-03-13
申请人： 卡爾蔡司SMT有限公司 , CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： 翔杰 印哥
CPC分类号： G02B26/0858 , G02B5/3066 , G02B19/0023 , G02B19/0095 , G03F7/70058 , G03F7/70075 , G03F7/70116 , G03F7/70191 , G03F7/70566
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公开(公告)号：TWI573175B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：TW103116066
申请日：2004-10-15
申请人： 尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人： 白石直正 , SHIRAISHI, NAOMASA
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20 , G02B27/28
CPC分类号： G03F7/70191 , G02B3/0006 , G02B5/3083 , G02B27/28 , G02B27/283 , G02B27/286 , G03F7/70108 , G03F7/70341 , G03F7/70566 , G03F7/70966
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公开(公告)号：TWI569106B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：TW103129669
申请日：2008-10-23
申请人： 尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人： 谷津修 , TANITSU, OSAMU
CPC分类号： G02B27/0927 , F21V9/14 , F21V13/02 , F21V14/003 , G02B27/0938 , G02B27/1086 , G02B27/126 , G02B27/286 , G03F7/70058 , G03F7/70116 , G03F7/70566
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公开(公告)号：TWI545619B
公开(公告)日：2016-08-11
申请号：TW099142645
申请日：2010-12-07
申请人： ASML控股公司 , ASML HOLDING N.V.
发明人： 漢森 史帝芬 喬治 , HANSEN, STEVEN GEORGE
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70125 , G03F1/144 , G03F7/70566
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公开(公告)号：TWI519816B
公开(公告)日：2016-02-01
申请号：TW100143030
申请日：2011-11-24
申请人： 尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人： 三宅範夫 , MIYAKE, NORIO , 加藤欣也 , KATO, KINYA
IPC分类号： G02B26/08 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/7015 , G02B5/3083 , G02B26/0816 , G02B27/0927 , G02B27/286 , G03F7/20 , G03F7/70075 , G03F7/70116 , G03F7/70566
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公开(公告)号：TWI500094B
公开(公告)日：2015-09-11
申请号：TW098118266
申请日：2009-06-02
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人： 凡 德 斯加 毛瑞斯 , VAN DER SCHAAR, MAURITS , 范 戴 克豪夫 馬卡斯 安德納斯 , VAN DE KERKHOF, MARCUS ADRIANUS , 慕沙 山米 , MUSA, SAMI
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70566 , G03F7/70633 , G03F9/7065 , G03F9/7076 , H01L23/544 , H01L2223/54426 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
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公开(公告)号：TWI494972B
公开(公告)日：2015-08-01
申请号：TW101102214
申请日：2005-01-12
申请人： 尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人： 谷津修 , TANITSU, OSAMU , 重松幸二 , SHIGEMATSU, KOJI , 廣田弘之 , HIROTA, HIROYUKI , 松山知行 , MATSUYAMA, TOMOYUKI
IPC分类号： H01L21/027 , G02B27/28 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70566 , F21V9/14 , F21V13/02 , G02B27/286 , G03F7/701 , G03F7/70191 , G03F7/70308
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公开(公告)号：TWI471613B
公开(公告)日：2015-02-01
申请号：TW097144703
申请日：2008-11-19
申请人： 卡爾蔡司SMT有限公司 , CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： 慕勒 羅夫 , MUELLER, RALF , 古納 托拉夫 , GRUNER, TORALF
CPC分类号： G02B5/3083 , G02B1/08 , G03F7/70141 , G03F7/70191 , G03F7/70258 , G03F7/70308 , G03F7/70566 , G03F7/70966
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公开(公告)号：TWI470294B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：TW096126307
申请日：2007-07-19
申请人： 尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人： 德久章 , TOKUHISA, AKIRA
IPC分类号： G02B6/27
CPC分类号： G03F7/70566 , G03F7/70025 , H01S3/005 , H01S3/0092 , H01S3/06754 , H01S3/1308 , H01S3/2308
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公开(公告)号：TWI464538B
公开(公告)日：2014-12-11
申请号：TW096148846
申请日：2007-12-20
申请人： 卡爾蔡司SMT有限公司 , CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： 迪克曼 , DIECKMANN, NILS , 費歐卡 , FIOLKA, DAMIAN
CPC分类号： G03F7/70216 , G02B27/281 , G02B27/286 , G03F7/70091 , G03F7/70566
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