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1.線性馬達電樞及線性馬達 LINEAR MOTOR ARMATURE AND LINEAR MOTOR 审中-公开
简体标题: 线性马达电枢及线性马达 LINEAR MOTOR ARMATURE AND LINEAR MOTOR公开(公告)号:TW201230625A
公开(公告)日:2012-07-16
申请号:TW100130693
申请日:2011-08-26
申请人: 安川電機股份有限公司
IPC分类号: H02K
CPC分类号: H02K41/031 , H02K3/24 , H02K9/005 , H02K9/22
摘要: 根據一實施例之線性馬達電樞包含電樞線圈和冷卻夾套。冷卻夾套設成環繞電樞線圈,並具有內部空間,冷卻劑供入其內。冷卻夾套形成薄板形,具有冷卻劑供應用通道以多數方式沿其厚度方向設置之結構。
简体摘要: 根据一实施例之线性马达电枢包含电枢线圈和冷却夹套。冷却夹套设成环绕电枢线圈,并具有内部空间,冷却剂供入其内。冷却夹套形成薄板形,具有冷却剂供应用信道以多数方式沿其厚度方向设置之结构。
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公开(公告)号:TWI488409B
公开(公告)日:2015-06-11
申请号:TW101143580
申请日:2012-11-21
发明人: 何世江 , HO, SE KANG , 邱國麟 , CHIU, KUO LIN , 丁家敏 , TING, CHIA MIN , 張正敏 , CHANG, CHENG MIN , 林振志 , LIN, CHEN CHIH , 黃憲章 , HUANG, HSIEN CHANG , 吳昱勳 , WU, YU HSUN
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公开(公告)号:TW200843296A
公开(公告)日:2008-11-01
申请号:TW096147734
申请日:2007-12-13
IPC分类号: H02K
摘要: 本發明揭示一種轉子繞組,其包括一經組態以與一轉子配置在一起的捲繞帶,以及由該捲繞帶之一部分所界定的至少一缺口。
简体摘要: 本发明揭示一种转子绕组,其包括一经组态以与一转子配置在一起的卷绕带,以及由该卷绕带之一部分所界定的至少一缺口。
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4.具有溫度控制熱屏蔽之微影蝕刻裝置 LITHOGRAPHIC PROJECTION APPARATUS HAVING A TEMPERATURE CONTROLLED HEAT SHIELD 失效
简体标题: 具有温度控制热屏蔽之微影蚀刻设备 LITHOGRAPHIC PROJECTION APPARATUS HAVING A TEMPERATURE CONTROLLED HEAT SHIELD公开(公告)号:TWI238292B
公开(公告)日:2005-08-21
申请号:TW090101785
申请日:2001-01-30
发明人: 艾利克 羅爾夫 羅斯拉 ERIK ROELOF LOOPSTRA , 伊姆 布 派屈克 關 YIM BUN PATRICK KWAN , 馬歇爾 强納斯 伊莎貝斯 荷柏特斯 莫珍斯 MARCEL JOHANNUS ELISABETH HUBERTUS MUITJENS , 莎妮亞 斯多拉 德 菲利茲-佛恩 SONJA THEODORA DE VRIEZE-VOORN
IPC分类号: G03F
CPC分类号: G03F7/70716 , G03F7/70725 , G03F7/70758 , G03F7/70775 , G03F7/70858 , G03F7/70875 , G03F7/70891 , H02K3/24 , H02K9/22 , H02K41/0356
摘要: 在一微影投影裝置中,一熱屏蔽可將一第一部份與一第二部份隔離。該第一部份之溫度須為一預定值,該第二部份則具有一特徵,其可影響該第一部份之溫度。該特徵可為「溫度偏離該預定值」、抑或「可提供輻射,若入射於該第一部份,則可使該第一部份之溫度偏離該預定值」。另設有熱屏蔽溫度控制裝置,其可控制該熱屏蔽之溫度,使其到達該預定值。
简体摘要: 在一微影投影设备中,一热屏蔽可将一第一部份与一第二部份隔离。该第一部份之温度须为一预定值,该第二部份则具有一特征,其可影响该第一部份之温度。该特征可为“温度偏离该预定值”、抑或“可提供辐射,若入射于该第一部份,则可使该第一部份之温度偏离该预定值”。另设有热屏蔽温度控制设备,其可控制该热屏蔽之温度,使其到达该预定值。
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公开(公告)号:TW200822499A
公开(公告)日:2008-05-16
申请号:TW096127919
申请日:2007-07-31
IPC分类号: H02K
摘要: 本發明係有關一種具轉子(1)之電動馬達,其具一轉子繞組(7),該轉子繞組設在均勻分佈於轉子(1)周壁上的溝槽(3)中,並設有一與轉子(1)連接之風扇(16),其藉延伸於溝槽(3)中,並構成一鼠籠(17)之臂桿(9)而固定在轉子(1)上。為改良該電動馬達,使其具更佳之散熱,本發明使風扇(16)之臂桿(9)與繞組(7)之間留出一溝槽通風道(12),馬達工作時風扇(16)可使空氣通過該通風道。
简体摘要: 本发明系有关一种具转子(1)之电动马达,其具一转子绕组(7),该转子绕组设在均匀分布于转子(1)周壁上的沟槽(3)中,并设有一与转子(1)连接之风扇(16),其藉延伸于沟槽(3)中,并构成一鼠笼(17)之臂杆(9)而固定在转子(1)上。为改良该电动马达,使其具更佳之散热,本发明使风扇(16)之臂杆(9)与绕组(7)之间留出一沟槽通风道(12),马达工作时风扇(16)可使空气通过该通风道。
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公开(公告)号:TW550872B
公开(公告)日:2003-09-01
申请号:TW089122610
申请日:2000-10-27
申请人: 沙迪克股份有限公司
IPC分类号: H02K
CPC分类号: H02K41/031 , H02K3/24 , Y10T29/49009 , Y10T29/49071 , Y10T29/49073
摘要: 一種線性馬達線圈組(12),包含複數個線圈(14)成一列地裝設在位移的方向,且該線圈心軸分別地垂直於該運動方向,以及一單向扁平的冷卻管(20)將複數個線圈曲折迴繞在內。該冷卻管具有在平行於該等線圈軸心方向而延伸的截面,及複數個被設置在冷卻管內用來流通冷卻劑的通孔(25)。該冷卻管具有至少相同於該等線圈的數目之空置的摺疊篋,及可將該等線圈插置在這些摺疊篋之內,該等線圈係各自分開的纏繞在該等核心之上,以及該等核心是被插置在該冷卻管的摺疊篋中。
简体摘要: 一种线性马达线圈组(12),包含复数个线圈(14)成一列地装设在位移的方向,且该线圈心轴分别地垂直于该运动方向,以及一单向扁平的冷却管(20)将复数个线圈曲折回绕在内。该冷却管具有在平行于该等线圈轴心方向而延伸的截面,及复数个被设置在冷却管内用来流通冷却剂的通孔(25)。该冷却管具有至少相同于该等线圈的数目之空置的折叠箧,及可将该等线圈插置在这些折叠箧之内,该等线圈系各自分开的缠绕在该等内核之上,以及该等内核是被插置在该冷却管的折叠箧中。
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公开(公告)号:TW465165B
公开(公告)日:2001-11-21
申请号:TW089103755
申请日:2000-03-03
申请人: 大銀微系統股份有限公司
发明人: 蕭舜興
IPC分类号: H02K
CPC分类号: H02K41/031 , F28D15/04 , H02K3/24 , H02K9/005 , H02K9/18
摘要: 本發明提供馬達一種新式散熱機構,尤其是對於線性馬達之散熱改善。由於習知之線性馬達之散熱機構製造困難、體積大以及成本高,且有冷媒滲漏造成短路之危險,本發明採用一種高熱傳導效能之導熱管,利用其體積小且不需要冷媒,且具有可以彎曲及任意連接之特性,將散熱管平均分布於線圈周圍或是矽鋼片的齒隙當中以得到較佳散熱效率。導熱管的另一端有兩種設計,其一為金屬製散熱板,第二種為冷媒迴流之金屬板。散熱板在馬達運行時可將熱量散失於空氣中,冷媒迴流之金屬板則將熱量改由冷媒迴流帶走。
简体摘要: 本发明提供马达一种新式散热机构,尤其是对于线性马达之散热改善。由于习知之线性马达之散热机构制造困难、体积大以及成本高,且有冷媒渗漏造成短路之危险,本发明采用一种高热传导性能之导热管,利用其体积小且不需要冷媒,且具有可以弯曲及任意连接之特性,将散热管平均分布于线圈周围或是矽钢片的齿隙当中以得到较佳散热效率。导热管的另一端有两种设计,其一为金属制散热板,第二种为冷媒回流之金属板。散热板在马达运行时可将热量散失于空气中,冷媒回流之金属板则将热量改由冷媒回流带走。
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公开(公告)号:TWM501047U
公开(公告)日:2015-05-11
申请号:TW102219460
申请日:2013-10-18
发明人: 楊明陸 , YANG, MING LU , 彭楊茂 , PENG, YANG-MAO , 張天恩 , ZHANG, TIAN-EN , 賈見士 , JIA, JIAN-SHI , 張衛川 , ZHANG, WEI-CHUAN
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公开(公告)号:TWI366327B
公开(公告)日:2012-06-11
申请号:TW094111685
申请日:2005-04-13
申请人: 安川電機股份有限公司
IPC分类号: H02K
摘要: 本發明是提供能用冷卻能力極高的水當作冷媒來冷卻而提高電樞繞組的長期絕緣可靠性,還可以抑制封蓋受到動子及定子的磁隙而導致的變形量之密封式線型電動機電樞及密封式線型電動機。
密封式線型電動機電樞則是以朝向長邊方向而用二個的繞組固定框(4)夾入電樞繞組(18)的兩側面的方式來固定,在封蓋(3)與繞組固定框(4)之間的空間內設有冷媒通路(5),為了使電樞繞組(18)不致因流至冷媒通路(5)之冷媒洩漏到用二個的繞組固定框(4)所夾入之電樞繞組(18)而泡在水中,在筐體(2)與繞組固定框(4)的間隙設有密封材(24),並在繞組固定框(4)的接觸冷媒之表面側張貼有防水膜。简体摘要: 本发明是提供能用冷却能力极高的水当作冷媒来冷却而提高电枢绕组的长期绝缘可靠性,还可以抑制封盖受到动子及定子的磁隙而导致的变形量之密封式线型电动机电枢及密封式线型电动机。 密封式线型电动机电枢则是以朝向长边方向而用二个的绕组固定框(4)夹入电枢绕组(18)的两侧面的方式来固定,在封盖(3)与绕组固定框(4)之间的空间内设有冷媒通路(5),为了使电枢绕组(18)不致因流至冷媒通路(5)之冷媒泄漏到用二个的绕组固定框(4)所夹入之电枢绕组(18)而泡在水中,在筐体(2)与绕组固定框(4)的间隙设有密封材(24),并在绕组固定框(4)的接触冷媒之表面侧张贴有防水膜。
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10.驅動裝置,曝光裝置,及裝置製造方法 DRIVING APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD 审中-公开
简体标题: 驱动设备,曝光设备,及设备制造方法 DRIVING APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD公开(公告)号:TW200931772A
公开(公告)日:2009-07-16
申请号:TW097131737
申请日:2008-08-20
发明人: 伊藤敦史 ITO, ATSUSHI
CPC分类号: H02K41/031 , H02K1/182 , H02K3/24 , H02K9/19 , H02K55/00 , H02K2201/18 , H02K2213/09 , Y02E40/62
摘要: 一種驅動裝置,包含具有一磁鐵的原動機;及具有一線圈的定子。該驅動裝置係設計成適於控制待提供給該線圈的電流,以引起原動機及定子之間的相對運動。定子包含一線圈固持構件,建構成可固持該線圈;一支撐構件,建構成可支撐可沿第一及第二方向移動的該線圈固持構件;一限制構件,建構成可限制該線圈固持構件沿該第一方向的運動,及允許該線圈固持構件沿該第二方向的運動;及一偏壓單元,建構成可將該線圈固持構件抵壓向該限制構件。
简体摘要: 一种驱动设备,包含具有一磁铁的原动机;及具有一线圈的定子。该驱动设备系设计成适于控制待提供给该线圈的电流,以引起原动机及定子之间的相对运动。定子包含一线圈固持构件,建构成可固持该线圈;一支撑构件,建构成可支撑可沿第一及第二方向移动的该线圈固持构件;一限制构件,建构成可限制该线圈固持构件沿该第一方向的运动,及允许该线圈固持构件沿该第二方向的运动;及一偏压单元,建构成可将该线圈固持构件抵压向该限制构件。
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