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公开(公告)号：TWI686581B
公开(公告)日：2020-03-01
申请号：TW107130401
申请日：2018-08-30
发明人： 迪努爾 伊森 , DINAUER, ETHAN , 塔塔法爾希 沙特亞 , TATAVARTHY, SATYA , 章 三紅 , ZHANG, SANHONG , 伯默爾 史考特 , BOEHMER, SCOTT
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公开(公告)号：TWI649529B
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：TW106122199
申请日：2017-07-03
发明人： 稲垣義勝 , INAGAKI, YOSHIKATSU , 川畑賢也 , KAWABATA, KENYA , 青木博史 , AOKI, HIROFUMI , 竹村大輝 , TAKEMURA, DAIKI
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公开(公告)号：TW201743379A
公开(公告)日：2017-12-16
申请号：TW106112166
申请日：2017-04-12
发明人： 卡克斯 麥克S , COX, MICHAEL S. , 偉斯特 布萊恩T , WEST, BRIAN T. , 強森 羅傑M , JOHNSON, ROGER M. , 洛正佐 研 , ROZENZON, YAN , 索瑪納 丁凱許 , SOMANNA, DINKESH , 何 文彬 , HO, DUSTIN W.
IPC分类号： H01L21/306 , C23C16/455 , C23C16/54 , F28F13/06 , F28F3/00
CPC分类号： H01J37/32844 , H01J2237/002 , H01J2237/18 , H01J2237/31701 , H01L21/67069 , Y02C20/30
摘要： 本案揭露的實施例包括減弱在半導體製程中產生的化合物之減弱系統。減弱系統包括位於電漿源下游的排氣冷卻設備。排氣冷卻設備包括至少一個冷卻板，其是用於將紊流引入到排氣冷卻設備內排氣流動的裝置。該裝置可以是複數個鰭片、具有彎曲頂部的圓柱體或具有斜角葉片的擴散器。排氣冷卻設備內的排氣的紊流使顆粒自排氣中離開，而最小化排氣冷卻設備下游的設備中形成顆粒。
简体摘要： 本案揭露的实施例包括减弱在半导体制程中产生的化合物之减弱系统。减弱系统包括位于等离子源下游的排气冷却设备。排气冷却设备包括至少一个冷却板，其是用于将紊流引入到排气冷却设备内排气流动的设备。该设备可以是复数个鳍片、具有弯曲顶部的圆柱体或具有斜角叶片的扩散器。排气冷却设备内的排气的紊流使颗粒自排气中离开，而最小化排气冷却设备下游的设备中形成颗粒。
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公开(公告)号：TW201525400A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：TW102146589
申请日：2013-12-17
申请人： 英業達股份有限公司 , INVENTEC CORPORATION
发明人： 鄭懿倫 , CHENG, YI LUN , 楊智凱 , YANG, CHIH KAI
摘要： 一種散熱模組，包含一電磁元件、一彈性件及一磁性件。電磁元件產生一週期性磁場。彈性件具有一固定端、一活動端、與可展開及收合之多個扇片。這些扇片位於固定端與活動端之間。磁性件設於活動端。磁性件受週期性磁場之磁力作用而往復位移以帶動這些扇片產生一氣流。
简体摘要： 一种散热模块，包含一电磁组件、一弹性件及一磁性件。电磁组件产生一周期性磁场。弹性件具有一固定端、一活动端、与可展开及收合之多个扇片。这些扇片位于固定端与活动端之间。磁性件设于活动端。磁性件受周期性磁场之磁力作用而往复位移以带动这些扇片产生一气流。
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公开(公告)号：TW201522890A
公开(公告)日：2015-06-16
申请号：TW102144014
申请日：2013-12-02
申请人： 蘇献欽 , SU, HSIEN CHIN
发明人： 蔡長霖 , TSAI, CHANG LIN
CPC分类号： F04B45/043 , F04B45/04 , F04B45/041 , F04B45/047 , G06F1/20 , H05K7/20172
摘要： 一種散熱裝置，包含一基板、一驅動組及一第一擺動組。驅動組設置於基板並具有一芯部，及一纏繞芯部且接收週期性電源的線圈，芯部與線圈所組成之強磁場，來產生一變化磁場。第一擺動組與驅動組間隔地設置於基板的同一表面，並具有一本體，及一設置於本體且對應驅動組的芯部位置設置的致動磁性件，本體具有一設置於基板的固定端，及一相反於固定端的自由端。藉線圈與芯部所產生的往復變化之磁場吸引或排斥致動磁性件而使致動磁性件鄰近或遠離驅動組，進而使本體能隨著致動磁性件位移而往復擺動，以達良好散熱效果。
简体摘要： 一种散热设备，包含一基板、一驱动组及一第一摆动组。驱动组设置于基板并具有一芯部，及一缠绕芯部且接收周期性电源的线圈，芯部与线圈所组成之强磁场，来产生一变化磁场。第一摆动组与驱动组间隔地设置于基板的同一表面，并具有一本体，及一设置于本体且对应驱动组的芯部位置设置的致动磁性件，本体具有一设置于基板的固定端，及一相反于固定端的自由端。藉线圈与芯部所产生的往复变化之磁场吸引或排斥致动磁性件而使致动磁性件邻近或远离驱动组，进而使本体能随着致动磁性件位移而往复摆动，以达良好散热效果。
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公开(公告)号：TWI453367B
公开(公告)日：2014-09-21
申请号：TW100117470
申请日：2011-05-18
申请人： YJS股份有限公司 , YJS CO., LTD.
发明人： 橋本昌樹 , HASHIMOTO, MASASHIGE , 村田健二 , MURATA, KENJI , 吉岡秀德 , YOSHIOKA, HIDENORI , 鈴木靖彥 , SUZUKI, YASUHIKO , 水田聖之 , MIZUTA, MASAYUKI , 西田和弘 , NISHIDA, KAZUHIRO
CPC分类号： F28D7/106 , F28F1/022 , F28F1/40 , F28F1/426 , F28F9/26 , F28F21/06 , F28F2225/02 , F28F2255/143
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公开(公告)号：TWI400421B
公开(公告)日：2013-07-01
申请号：TW099100907
申请日：2010-01-14
CPC分类号： F28F3/12 , F28D9/04 , F28F3/048 , F28F13/12 , H01L23/473 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
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公开(公告)号：TWI634306B
公开(公告)日：2018-09-01
申请号：TW106121103
申请日：2017-06-23
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