臭氧感測器及臭氧檢測裝置
    1.
    发明专利
    臭氧感測器及臭氧檢測裝置 审中-公开
    臭氧传感器及臭氧检测设备

    公开(公告)号:TW202007960A

    公开(公告)日:2020-02-16

    申请号:TW108118178

    申请日:2019-05-27

    IPC分类号: G01N27/12

    摘要: [課題] 目的在於提供臭氧感測器及臭氧檢測裝置,即使是在常溫高濕環境、低溫高濕環境或極低溫環境等之極限環境下,亦可穩定進行臭氧檢測動作。 [解決手段] 上述課題,是由臭氧感測器來解決,其具備感測器本體,該感測器本體具有露出於外部來與含臭氧環境氣體接觸的氣體接觸面;且具有加熱器,該加熱器加熱該感測器本體之構成前述氣體接觸面的構件。

    简体摘要: [课题] 目的在于提供臭氧传感器及臭氧检测设备,即使是在常温高湿环境、低温高湿环境或极低温环境等之极限环境下,亦可稳定进行臭氧检测动作。 [解决手段] 上述课题,是由臭氧传感器来解决,其具备传感器本体,该传感器本体具有露出于外部来与含臭氧环境气体接触的气体接触面;且具有加热器,该加热器加热该传感器本体之构成前述气体接触面的构件。

    濕度感測器及濕度感測器裝置
    2.
    发明专利
    濕度感測器及濕度感測器裝置 审中-公开
    湿度传感器及湿度传感器设备

    公开(公告)号:TW201830001A

    公开(公告)日:2018-08-16

    申请号:TW107100171

    申请日:2018-01-03

    IPC分类号: G01N19/10 G01N27/12

    摘要: 提供一種濕度感測器,即便在施加的電壓發生變化或施加任意的電壓時,又使用特性不同的熱敏電阻時,也能高精度地檢出濕度。本發明的濕度感測器,具備:互相近接配置的檢測室部(2)、第1標準室部(3)、別氣體室部(4)、及第2標準室部(5);檢測室部具備:具有能將外氣導入內部空間的貫通孔的檢測用容器、及設置於檢測用容器的內部的檢測用熱敏電阻(7);第1標準室部具備:封入乾燥空氣的第1標準用容器、及設置於第1標準用容器的內部的第1標準用熱敏電阻(9);第2標準室部具備:封入乾燥空氣的第2標準用容器、及設置於第2標準用容器的內部的第2標準用熱敏電阻(13);別氣體室部具備:封入與前述乾燥空氣具有不同熱傳導度的氣體的別氣體用容器、設置於別氣體用容器的內部的別氣體用熱敏電阻(11)。

    简体摘要: 提供一种湿度传感器,即便在施加的电压发生变化或施加任意的电压时,又使用特性不同的热敏电阻时,也能高精度地检出湿度。本发明的湿度传感器,具备:互相近接配置的检测室部(2)、第1标准室部(3)、别气体室部(4)、及第2标准室部(5);检测室部具备:具有能将外气导入内部空间的贯通孔的检测用容器、及设置于检测用容器的内部的检测用热敏电阻(7);第1标准室部具备:封入干燥空气的第1标准用容器、及设置于第1标准用容器的内部的第1标准用热敏电阻(9);第2标准室部具备:封入干燥空气的第2标准用容器、及设置于第2标准用容器的内部的第2标准用热敏电阻(13);别气体室部具备:封入与前述干燥空气具有不同热传导度的气体的别气体用容器、设置于别气体用容器的内部的别气体用热敏电阻(11)。

    用於在生物感測器之傳導元件中的不可補償電阻之校正方法及具有其之裝置與系統
    3.
    发明专利
    用於在生物感測器之傳導元件中的不可補償電阻之校正方法及具有其之裝置與系統 审中-公开
    用于在生物传感器之传导组件中的不可补偿电阻之校正方法及具有其之设备与系统

    公开(公告)号:TW201821793A

    公开(公告)日:2018-06-16

    申请号:TW106136098

    申请日:2017-10-20

    IPC分类号: G01N27/07 G01N27/12

    摘要: 本發明提供用於校正生物感測器之傳導元件中之不可補償電阻在電化學分析物量測期間之效應之方法,其中此等方法包含分別將生物感測器之傳導元件之區域理論上分段成數個傳導「正方形」,及使用此資訊來藉由量測一生物感測器之傳導元件之一或多個路徑或型樣之電阻且接著除以傳導元件之該路徑或型樣中之不可補償傳導正方形之一理論數目而計算或判定該等傳導元件在一使用時間之以Ω/正方形為單位之片電阻以獲得一或多個不可補償電阻值。可藉由自一經量測阻抗之一實部減去不可補償電阻而補償、校正及/或最小化量測誤差。

    简体摘要: 本发明提供用于校正生物传感器之传导组件中之不可补偿电阻在电化学分析物量测期间之效应之方法,其中此等方法包含分别将生物传感器之传导组件之区域理论上分段成数个传导“正方形”,及使用此信息来借由量测一生物传感器之传导组件之一或多个路径或型样之电阻且接着除以传导组件之该路径或型样中之不可补偿传导正方形之一理论数目而计算或判定该等传导组件在一使用时间之以Ω/正方形为单位之片电阻以获得一或多个不可补偿电阻值。可借由自一经量测阻抗之一实部减去不可补偿电阻而补偿、校正及/或最小化量测误差。

    氣體感測器及氣體偵測方法
    4.
    发明专利
    氣體感測器及氣體偵測方法 审中-公开
    气体传感器及气体侦测方法

    公开(公告)号:TW201814267A

    公开(公告)日:2018-04-16

    申请号:TW106126519

    申请日:2017-08-07

    IPC分类号: G01N1/00 G01N5/02 G01N27/12

    摘要: 本發明之課題在於提供一種可進行精度較高之氣體偵測之氣體感測器。 本發明之氣體感測器具備第1偵測元件、第2偵測元件、第3偵測元件、及運算部。上述第1偵測元件包含具有特定構造之第1振子、及設置於上述第1振子上且吸附特定氣體之第1吸附膜,且利用上述氣體之吸附而產生共振頻率變化。上述第2偵測元件包含具有上述特定構造之第2振子、及設置於上述第2振子上且吸附上述氣體之水分之第2吸附膜,且利用上述水分而產生共振頻率變化。上述第3偵測元件包含具有上述特定構造之第3振子,且利用上述氣體之溫度而產生共振頻率變化。上述運算部係基於上述第2偵測元件之共振頻率變化與上述第3偵測元件之共振頻率變化,修正上述第1偵測元件之共振頻率變化。

    简体摘要: 本发明之课题在于提供一种可进行精度较高之气体侦测之气体传感器。 本发明之气体传感器具备第1侦测组件、第2侦测组件、第3侦测组件、及运算部。上述第1侦测组件包含具有特定构造之第1振子、及设置于上述第1振子上且吸附特定气体之第1吸附膜,且利用上述气体之吸附而产生共振频率变化。上述第2侦测组件包含具有上述特定构造之第2振子、及设置于上述第2振子上且吸附上述气体之水分之第2吸附膜,且利用上述水分而产生共振频率变化。上述第3侦测组件包含具有上述特定构造之第3振子,且利用上述气体之温度而产生共振频率变化。上述运算部系基于上述第2侦测组件之共振频率变化与上述第3侦测组件之共振频率变化,修正上述第1侦测组件之共振频率变化。

    氣體感測器的製造方法及相關的氣體感測器
    7.
    发明专利
    氣體感測器的製造方法及相關的氣體感測器 审中-公开
    气体传感器的制造方法及相关的气体传感器

    公开(公告)号:TW201632877A

    公开(公告)日:2016-09-16

    申请号:TW105107174

    申请日:2016-03-09

    IPC分类号: G01N27/12

    CPC分类号: G01N27/128 B05D7/52 G01N27/12

    摘要: 一種氣體感測器,具有:基板(7);構建在該基板(7)之基板正面(16)上的可加熱之膜片(8);至少三個佈置在該膜片(8)之膜片表面(13)上的電極(1,2,3;11;202;302;101,102,103);構建在該膜片表面(13)的一區域上的第一塗層(4),其中該等至少三個電極(1,2,3;11;202;302;101,102,103)中的至少兩個接觸該第一塗層(4);至少部分地構建在該第一塗層(4)上及該膜片表面(13)的一區域上的第二塗層(5),其中該等至少三個電極(1,2,3;11;202;302;101,102,103)中的至少兩個接觸該第二塗層(5),且其中,接觸該第二塗層(5)的該等至少兩個電極中的至少一個不同於接觸該第一塗層(4)的該等至少兩個電極。

    简体摘要: 一种气体传感器,具有:基板(7);构建在该基板(7)之基板正面(16)上的可加热之膜片(8);至少三个布置在该膜片(8)之膜片表面(13)上的电极(1,2,3;11;202;302;101,102,103);构建在该膜片表面(13)的一区域上的第一涂层(4),其中该等至少三个电极(1,2,3;11;202;302;101,102,103)中的至少两个接触该第一涂层(4);至少部分地构建在该第一涂层(4)上及该膜片表面(13)的一区域上的第二涂层(5),其中该等至少三个电极(1,2,3;11;202;302;101,102,103)中的至少两个接触该第二涂层(5),且其中,接触该第二涂层(5)的该等至少两个电极中的至少一个不同于接触该第一涂层(4)的该等至少两个电极。

    用於測量氣體混合物中二氧化碳濃度的感測器及其製造方法
    9.
    发明专利
    用於測量氣體混合物中二氧化碳濃度的感測器及其製造方法 审中-公开
    用于测量气体混合物中二氧化碳浓度的传感器及其制造方法

    公开(公告)号:TW201625938A

    公开(公告)日:2016-07-16

    申请号:TW104142925

    申请日:2015-12-21

    IPC分类号: G01N27/12

    摘要: 一種用於測量氣體混合物中二氧化碳濃度的感測器。其具有佈置於層狀第一電極(2)與層狀第二電極(4)間的介電層(3)。該第二電極(4)為複合電極,其具有至少一碳酸鹽及/或磷酸鹽作為該複合電極的第一材料以及至少一金屬作為該複合電極的第二材料。可藉由以下方法製造該感測器:將層狀第一電極(2)鍍覆於基板(1)上,將該介電層(3)鍍覆於該第一電極上(2),以及將層狀第二電極(4)鍍覆於該介電層(3)上。其中將該第二電極(4)作為複合電極進行鍍覆,其具有至少一碳酸鹽及/或磷酸鹽作為該複合電極的第一材料以及具有該複合電極的至少一第二材料,該第二材料具有大於10-2S/m的導電率。

    简体摘要: 一种用于测量气体混合物中二氧化碳浓度的传感器。其具有布置于层状第一电极(2)与层状第二电极(4)间的介电层(3)。该第二电极(4)为复合电极,其具有至少一碳酸盐及/或磷酸盐作为该复合电极的第一材料以及至少一金属作为该复合电极的第二材料。可借由以下方法制造该传感器:将层状第一电极(2)镀覆于基板(1)上,将该介电层(3)镀覆于该第一电极上(2),以及将层状第二电极(4)镀覆于该介电层(3)上。其中将该第二电极(4)作为复合电极进行镀覆,其具有至少一碳酸盐及/或磷酸盐作为该复合电极的第一材料以及具有该复合电极的至少一第二材料,该第二材料具有大于10-2S/m的导电率。

    電阻式微機電系統濕度感測器
    10.
    发明专利
    電阻式微機電系統濕度感測器 审中-公开
    电阻式微机电系统湿度传感器

    公开(公告)号:TW201432256A

    公开(公告)日:2014-08-16

    申请号:TW102147072

    申请日:2013-12-19

    IPC分类号: G01N27/12

    CPC分类号: G01N27/121

    摘要: 本發明提供一種半導體裝置,其包含:一基板;一絕緣膜,其被提供在該基板的一表面上;以及一感測膜,其係由被沉積在該絕緣膜頂端的一導體材料所形成。該感測膜定義至少一導體路徑在該絕緣膜上的一第一位置與一第二位置之間。一第一電路連接線在該絕緣層上的該第一位置處被電連接至該感測膜;以及一第二電路連接線在該第二位置處被電連接至該感測膜。一控制電路在操作上會被連接至該第一電路連接線與該第二電路連接線,用以測量該感測膜的一電阻。該感測膜的厚度使得該感測膜的電阻係數以相依於環境濕氣內含物的方式而可預測地改變。

    简体摘要: 本发明提供一种半导体设备,其包含:一基板;一绝缘膜,其被提供在该基板的一表面上;以及一传感膜,其系由被沉积在该绝缘膜顶端的一导体材料所形成。该传感膜定义至少一导体路径在该绝缘膜上的一第一位置与一第二位置之间。一第一电路连接线在该绝缘层上的该第一位置处被电连接至该传感膜;以及一第二电路连接线在该第二位置处被电连接至该传感膜。一控制电路在操作上会被连接至该第一电路连接线与该第二电路连接线,用以测量该传感膜的一电阻。该传感膜的厚度使得该传感膜的电阻系数以相依于环境湿气内含物的方式而可预测地改变。