公开(公告)号：US20100119980A1

公开(公告)日：2010-05-13

申请号：US12270256

申请日：2008-11-13

申请人： M. Dalil Rahman ,  Douglas McKenzie ,  Clement Anyadeigwu

发明人： M. Dalil Rahman ,  Douglas McKenzie ,  Clement Anyadeigwu

IPC分类号： G03F7/00 ,  C08G61/00 ,  C08G65/00 ,  C08G63/02 ,  C08G16/00 ,  C08G16/02 ,  C08L65/00

CPC分类号： C08G10/02 ,  G03F7/091 ,  H01L21/0276

摘要： The present invention relates to an organic spin coatable antireflective coating composition comprising a polymer where the polymer comprises (i) at least one unit with fused aromatic rings in the backbone of the polymer of structure (1), (ii) at least one unit with of structure (2), and, (iii) at least one unit with a cyclic aliphatic moiety in the backbone of the polymer of structure (3). where, Fr1 is a substituted or unsubstituted fused aromatic ring moiety with 3 or more aromatic rings, R′ and R″ are independently selected from hydrogen, C1-C4 alkyl, Z, C1-C4alkyleneZ and where Z is substituted or unsubstituted aromatic moiety, R1 is selected from hydrogen or aromatic moiety, and B is a substituted or unsubstituted cycloaliphatic moiety. The invention further relates to a process for imaging the present composition.

摘要翻译： 本发明涉及包含聚合物的有机旋涂可涂性抗反射涂料组合物，其中聚合物包含（i）至少一个在结构（1）的聚合物的主链中具有稠合芳环的单元，（ii）至少一个单元， 的结构（2），和（iii）在结构（3）的聚合物的主链中具有至少一个具有环状脂族部分的单元。 其中，Fr1是具有3个或更多个芳环的取代或未取代的稠合芳环部分，R'和R“独立地选自氢，C 1 -C 4烷基，Z，C 1 -C 4亚烷基，并且其中Z是取代或未取代的芳族部分， R1选自氢或芳族部分，B是取代或未取代的脂环族部分。 本发明还涉及用于对本发明组合物进行成像的方法。