公开(公告)号：US20120160112A1

公开(公告)日：2012-06-28

申请号：US13333403

申请日：2011-12-21

申请人： Eun Soo Hwang ,  Jin Sung Kim ,  Young Jeong Kim ,  Jong Woo Lee ,  Young Tae Cho ,  Dong Min Kim ,  Tae Young Ra ,  Eui Sun Choi ,  Eun Ah Park

发明人： Eun Soo Hwang ,  Jin Sung Kim ,  Young Jeong Kim ,  Jong Woo Lee ,  Young Tae Cho ,  Dong Min Kim ,  Tae Young Ra ,  Eui Sun Choi ,  Eun Ah Park

IPC分类号： B44B5/00 ,  B44C1/24 ,  B41K1/38

CPC分类号： B41K3/04 ,  B41F17/001

摘要： According to example embodiments, a printing apparatus includes a wafer delivery unit configured to move and support a wafer, an optical microscope configured to inspect the wafer, a pattern transfer unit configured to display a position of a defect on the wafer detected using the optical microscope.

摘要翻译： 根据示例性实施例，打印设备包括被配置为移动和支撑晶片的晶片传送单元，被配置为检查晶片的光学显微镜，配置为使用光学显微镜检测到的在晶片上显示缺陷的位置的图案转印单元 。