公开(公告)号：US07264913B2

公开(公告)日：2007-09-04

申请号：US10301462

申请日：2002-11-21

申请人： Hengpeng Wu ,  Shuji Ding-Lee ,  Zhong Xiang ,  Joseph E. Oberlander ,  Mark O. Neisser ,  Eleazar Gonzalez ,  Jainhui Shan

发明人： Hengpeng Wu ,  Shuji Ding-Lee ,  Zhong Xiang ,  Joseph E. Oberlander ,  Mark O. Neisser ,  Eleazar Gonzalez ,  Jainhui Shan

IPC分类号： G03C1/825 ,  G03C1/74 ,  G03F7/20 ,  G03F7/30 ,  G03F7/36

CPC分类号： G03F7/091 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0382 ,  Y10S430/109 ,  Y10S430/115 ,  Y10S430/12 ,  Y10S430/122

摘要： The present invention relates to a novel antireflective coating composition comprising a polymer, a crosslinking agent and an acid generator. The present invention further relates to a process for using the novel composition, particularly at 193 nm. The polymer of the present invention contains at least one unit selected from structures 1, 2 and 3, where, Y is a hydrocarbyl linking group of 1 to about 10 carbon atoms, R, R1, R′ and R″ are independently hydrogen, hydrocarbyl group of 1 to about 10 carbon atoms, halogen, —O(CO)Z, —C(CF3)2Z, —C(CF3)2(CO)OZ, —SO2CF3, —(CO)OZ, —SO3Z, —COZ, —OZ, —NZ2, —SZ, —SO2Z, —NHCOZ, —NZCOZ or —SO2NZ2, where Z is H or a hydrocarbyl group of 1 to about 10 carbon atoms, n=1–4, X is O, CO, S, COO, CH2O, CH2COO, SO2, NH, NL, OWO, OW, W, and where L and W are independently hydrocarbyl groups of 1 to about 10 carbon atoms, and m=0–3.

摘要翻译： 本发明涉及包含聚合物，交联剂和酸发生剂的新型抗反射涂料组合物。 本发明还涉及使用该组合物的方法，特别是在193nm。 本发明的聚合物含有至少一种选自结构1,2和3的单元，其中Y是1至约10个碳原子的烃基连接基团，R 1，R 1，R' 和R“独立地为氢，1至约10个碳原子的烃基，卤素，-O（CO）Z，-C（CF 3）2 Z， -C（CF 3）2（CO）OZ，-SO 2 CF 3 - ， - （CO） OZ，-SO 3 Z，-COZ，-OZ，-NZ 2，-SZ，-SO 2 Z，-NHCOZ， - NZCOZ或-SO 2 NZ 2，其中Z为H或1至约10个碳原子的烃基，n = 1-4，X为O，CO， S，COO，CH 2 O，CH 2 COO，SO 2，NH，NL，OWO，OW，W，其中L和 W独立地为1至约10个碳原子的烃基，并且m = 0-3。